Эчтәлек
1. FOUPның гомуми күзәтүе һәм төп функцияләре
2. FOUP структурасы һәм дизайн үзенчәлекләре
3. FOUP классификациясе һәм куллану күрсәтмәләре
4. Ярымүткәргеч җитештерүдә FOUP операцияләре һәм әһәмияте
5. Техник проблемалар һәм киләчәк үсеш тенденцияләре
6.XKH-ның махсуслаштырылган чишелешләре һәм хезмәт күрсәтү
Ярымүткәргеч җитештерү процессында, фронтны ачу бердәм под (FOUP) - ваферларны саклау, ташу һәм саклау өчен кулланылган критик контейнер. Аның эчке өлеше 25 мм 300 мм ваферны сыйдыра ала, һәм аның төп компонентларына алгы контейнер һәм ачу һәм ябу өчен махсус ишек каркасы керә. FOUP - 12инч вафер фаблар эчендә автоматлаштырылган транспорт системасында төп ташучы. Ул гадәттә ябык хәлдә ташыла һәм җиһаз йөкләү портына этәрелгәндә генә ачыла, ваферларны җиһазның йөкләү / чыгару портына күчерергә мөмкинлек бирә.
FOUP дизайны микро-мохит таләпләренә яраклаштырылган. Анда вафер кертү өчен арткы урыннар бар, һәм капка махсус ачкычның кыскычына туры китерелгән. Вафер белән эш итүче роботлар 1 класслы чиста һава мохитендә эшлиләр, тапшыру вакытында ваферлар пычранмасын. Моннан тыш, FOUP процесс кораллары арасында автоматлаштырылган материал эшкәртү системасы (AMHS) аша күчерелә. Заманча вафер фаблар күбесенчә транспорт өчен тимер юл системаларын кулланалар, ә берничә иске фаб җир өстендә автоматлаштырылган идарә итү машиналарын (AGV) куллана ала.
FOUP автоматлаштырылган вафер күчерүне генә түгел, саклау функциясен дә хезмәт итә. Күпчелек җитештерү адымнары аркасында, ваферлар бөтен процесс агымын тәмамлау өчен берничә ай кирәк булырга мөмкин. Monthlyгары айлык җитештерү күләме белән берлектә, бу фаб эчендә дистәләгән мең ваферның теләсә кайсы вакытта транзит яки вакытлыча саклагычта булуын аңлата. Саклау вакытында, FOUPлар вакыт-вакыт азот белән чистартыла, пычраткыч матдәләр ваферлар белән элемтәгә кермәсен өчен, чиста һәм ышанычлы җитештерү процессын тәэмин итәләр.
1. ФУПның функцияләре һәм әһәмияте
FOUP-ның төп функциясе - ваферларны тышкы шок һәм пычранудан саклау, аеруча күчерү вакытында уңышка тәэсир итүдән саклану. Бу газны чистарту һәм җирле атмосфера белән идарә итү (LAC) кебек ысуллар ярдәмендә дымны эффектив рәвештә кисәтә, киләсе җитештерү адымын көткәндә вафиннар куркынычсыз хәлдә кала. Аның мөһерләнгән һәм контрольдә тотылган системасы кирәкле кушылмаларга һәм элементларга гына керергә мөмкинлек бирә, ВОКларның, кислородның, дымның ваферларга тискәре йогынтысын сизелерлек киметә.
25 вафер белән тулы FOUP авырлыгы 9 килограммга кадәр булганлыктан, аны ташу автоматлаштырылган материал эшкәртү системасына (AMHS) таянырга тиеш. Моны җиңеләйтү өчен, FOUP плиталар, кадаклар, тишекләрнең төрле комбинацияләре белән эшләнгән, җиңел танып белү һәм классификацияләү өчен RFID электрон тэглары белән җиһазландырылган. Бу автоматлаштырылган эшкәртү кул белән эшләүне таләп итми, хата ставкаларын киметә һәм җитештерү процессының куркынычсызлыгын һәм төгәллеген арттыра.
2. FOUP структурасы һәм классификациясе
FOUP-ның типик үлчәмнәре якынча 420 мм, тирәнлеге 335 мм, биеклеге 335 мм. Аның төп структур компонентлары үз эченә ала: өстән күтәрү өчен югары OHT (гөмбә башы); equipmentиһазларга керү өчен алгы ишек; төрле пычрату дәрәҗәләре булган процесс өлкәләрен аеру өчен еш төсле тоткычлар. хәбәр карталарын урнаштыру өчен карточка өлкәсе; һәм FOUP өчен уникаль идентификатор булып хезмәт итүче аскы RFID теге, кораллар һәм өстән күтәргечләр аны танырга мөмкинлек бирә. База шулай ук кораллар белән туры килү һәм процесс өлкәләрен аеру өчен дүрт идентификация һәм урнаштыру тишекләре белән җиһазландырылган.
Куллану нигезендә, FOUPлар өч төргә бүленәләр: PRD (җитештерү өчен), ENG (инженер вафлары өчен), һәм MON (монитор ваферлары өчен). PRD FOUPs продукт җитештерү өчен кулланылырга мөмкин, ENG төрләре R&D яки экспериментлар өчен яраклы, һәм MON төрләре CMP һәм DIFF кебек адымнар өчен процесс мониторингына багышланган. Әйтергә кирәк, PRD FOUPлар ENG һәм MON максатларында, һәм ENG төрләре MON өчен кулланылырга мөмкин, ләкин кире операция сыйфат куркынычын тудыра.
Пычрату дәрәҗәсе буенча классификацияләнгән FOUPларны FE FOUP (алгы процесс, металлсыз), BE FOUP (арткы процесс, металл бар), һәм NI FOUP, CU FOUP, CO FOUP кебек махсус металл процесслар өчен махсуслаштырырга мөмкин. Төрле процесслар өчен FOUPлар гадәттә ян тоткычларның яки ишек такталарының төсе белән аерылып торалар. Фронтовик процесслардан FOUPлар арткы процессларда кулланылырга мөмкин, ләкин арткы FOUPлар беркайчан да алгы процессларда кулланылырга тиеш түгел, чөнки бу пычрану куркынычына китерәчәк.
Ярымүткәргеч җитештерүдә төп ташучы буларак, FOUP, югары автоматлаштыру һәм катгый пычрату контроле аша, җитештерү процессында вафиннарның куркынычсызлыгын һәм чисталыгын тәэмин итә, аны заманча вафер фабларында алыштыргысыз инфраструктура итә.
Йомгаклау
XKH клиентларга югары махсуслаштырылган Front-Opening Unified Pod (FOUP) чишелешләре белән тәэмин итәргә, сезнең процесс таләпләренә һәм җиһаз интерфейс спецификацияләренә ныклап буйсынырга әзер. Алга киткән материаль технологияләрне һәм төгәл җитештерү процессларын кулланып, без һәр FOUP продуктының һава үткәрүчәнлеген, чисталыгын, механик тотрыклылыгын тәэмин итәбез. Безнең техник коллектив тирән сәнәгать тәҗрибәсенә ия, сайлап алу консультациясеннән, структур оптимизациядән алып чистарту һәм хезмәт күрсәтүгә кадәр - FOUP һәм сезнең автоматлаштырылган материал эшкәртү системасы (AMHS), шулай ук эшкәртү җиһазлары арасында бердәм интеграцияне һәм нәтиҗәле хезмәттәшлекне тәэмин итү өчен, тулы тормыш циклы ярдәме тәкъдим итә. Без төп максат итеп вафиннар куркынычсызлыгын һәм җитештерү күләмен арттыруны өстен күрәбез. Инновацион продуктлар һәм бөтен техник хезмәтләр ярдәмендә без сезнең ярымүткәргеч җитештерү процесслары өчен ныклы гарантия бирәбез, ахыр чиктә җитештерү нәтиҗәлелеген һәм продукт җитештерүчәнлеген күтәрәбез.
Пост вакыты: Сентябрь-08-2025