TGV нәрсә ул?
TGV, (Пыяла аша), пыяла нигезендә тишекләр ясау технологиясе. Гади итеп әйткәндә, TGV - пыяла идәнендә интеграль схемалар төзү өчен пыяланы тишә, тутыра һәм өскә һәм аска тоташтыра торган биек бина. Бу технология киләсе буын 3D упаковкалау өчен төп технология дип санала.
TGVның үзенчәлекләре нинди?
1. Төзелеше: TGV - пыяла нигезендә ясалган вертикаль үтеп керүче тишек. Тишек стенасына үткәргеч металл катлам урнаштыру нәтиҗәсендә электр сигналларының өске һәм аскы катламнары үзара тоташа.
2. Җитештерү процессы: TGV җитештерүе нигезне алдан эшкәртүне, тишекләр ясауны, металл катламын урнаштыруны, тишекләрне тутыруны һәм яссылау этапларын үз эченә ала. Гадәти җитештерү ысуллары - химик эшкәртү, лазер белән бораулау, электрокаплау һ.б.
3. Куллану өстенлекләре: Традицион металл аша үтүче белән чагыштырганда, TGV кечерәк зурлык, югарырак үткәргеч тыгызлыгы, яхшырак җылылык тарату һ.б. өстенлекләргә ия. Микроэлектроникада, оптоэлектроникада, MEMSта һәм югары тыгызлыктагы тоташтыруның башка өлкәләрендә киң кулланыла.
4. Үсеш тенденциясе: Электрон продуктларның миниатюризация һәм югары интеграциягә таба үсеше белән TGV технологиясенә игътибар һәм куллану арта бара. Киләчәктә аны җитештерү процессы оптимальләштереләчәк, ә аның күләме һәм җитештерүчәнлеге яхшырачак.
TGV процессы нәрсә ул:
1. Пыяла нигезен әзерләү (а): Пыяла нигезен башта ук әзерләгез, аның өслеге тигез һәм чиста булуын тәэмин итегез.
2. Пыяла бораулау (b): Пыяла нигезендә үтеп керү тишеге ясау өчен лазер кулланыла. Тишекнең формасы, гадәттә, конус формасында була, һәм бер яктан лазер белән эшкәрткәннән соң, ул әйләндерелә һәм икенче яктан эшкәртелә.
3. Тишек стенасын металллаштыру (c): Металлаштыру тишек стенасында башкарыла, гадәттә PVD, CVD һәм башка процесслар ярдәмендә, тишек стенасында Ti/Cu, Cr/Cu һ.б. кебек үткәргеч металл орлык катламы барлыкка китерә.
4. Литография (d): Пыяла нигез өслеге фоторезист белән капланган һәм фотобизәкләр ясалган. Каплау кирәк булмаган өлешләрне ачык калдырыгыз, шулай итеп, каплау кирәк булган өлешләр генә ачык калсын.
5. Тишек тутыру (e): Тулы үткәрүче юл булдыру өчен пыяла тишекләр аша тутыру өчен бакырны гальватик рәвештә каплау. Гадәттә, тишек тулысынча тишекләрсез тутырылырга тиеш. Диаграммадагы Cu тулысынча тутырылмаганлыгын исәпкә алыгыз.
6. Субстратның яссы өслеге (f): Кайбер TGV процесслары тутырылган пыяла субстратның өслеген тигезли, бу субстратның өслегенең тигез булуын тәэмин итә, бу аннан соңгы процесс адымнары өчен уңайлы.
7. Саклагыч катлам һәм терминал тоташтыргычы (g): Пыяла нигез өслегендә саклагыч катлам (мәсәлән, полиимид) барлыкка килә.
Кыскасы, TGV процессының һәр адымы бик мөһим һәм төгәл контроль һәм оптимизация таләп итә. Хәзерге вакытта без, кирәк булса, TGV пыяла тишек аша технология тәкъдим итәбез. Зинһар, безнең белән элемтәгә керергә курыкмагыз!
(Югарыдагы мәгълүмат Интернеттан алынган, цензураланган)
Бастырылган вакыты: 2024 елның 25 июне