Ярымүткәргечләр технологиясенең өзлексез үсеше белән, ярымүткәргечләр сәнәгатендә һәм хәтта фотоэлектрик сәнәгатьтә дә, пластина нигезенең яки эпитаксиаль катламның өслек сыйфатына таләпләр дә бик катгый. Димәк, пластиналар өчен сыйфат таләпләре нинди?сапфир валфетыМисал итеп, пластиналарның өслек сыйфатын бәяләү өчен нинди күрсәткечләрне кулланып була?
Вафлиларны бәяләү күрсәткечләре нинди?
Өч күрсәткеч
Сапфир пластиналары өчен аның бәяләү күрсәткечләре - гомуми калынлык тайпылышы (TTV), бөгелү (Bow) һәм варп (Warp). Бу өч параметр бергә кремний пластинасының яссылыгын һәм калынлык бердәмлеген чагылдыра, һәм пластинаның дулкынлану дәрәҗәсен үлчи ала. Гофрлануны яссылык белән берләштереп, пластина өслегенең сыйфатын бәяләргә мөмкин.
TTV, BOW, Warp нәрсә ул?
TTV (Тулы калынлык үзгәрүе)
TTV - пластинаның максималь һәм минималь калынлыгы арасындагы аерма. Бу параметр пластина калынлыгының бердәмлеген үлчәү өчен кулланыла торган мөһим индекс. Ярымүткәргеч процессында пластинаның калынлыгы бөтен өслектә бик бердәм булырга тиеш. Үлчәүләр гадәттә пластинаның биш урынында үткәрелә һәм аерма исәпләнә. Ниһаять, бу кыйммәт пластинаның сыйфатын бәяләү өчен мөһим нигез булып тора.
Баш
Ярымүткәргечләр җитештерүдә "бу" пластинаның бөгелүен аңлата, ул кысылмаган пластинаның урта ноктасы белән эталон яссылыгы арасындагы араны азат итә. Бу сүз, мөгаен, әйбернең бөкләнгәндәге формасын тасвирлаудан килеп чыккан, мәсәлән, броняның кәкре формасын. "Бу" кыйммәте кремний пластинасының үзәге һәм кырые арасындагы тайпылышны үлчәү юлы белән билгеләнә. Бу кыйммәт гадәттә микрометрларда (µm) күрсәтелә.
Варп
Варп - пластиналарның глобаль үзлеге, ул ирекле кысылмаган пластина уртасы белән эталон яссылыгы арасындагы максималь һәм минималь ара аермасын үлчи. Кремний пластина өслегеннән яссылыкка кадәр араны күрсәтә.
TTV, Bow һәм Warp арасында нинди аерма бар?
TTV калынлык үзгәрешләренә игътибар итә һәм пластинаның бөгелүенә яки бозылуына игътибар итми.
Җәя гомуми бөгелүгә игътибар итә, нигездә, үзәк ноктаның һәм кырыйның бөгелүен исәпкә ала.
Варплау тулырак, шул исәптән пластина өслеген бөкләү һәм боргалау.
Бу өч параметр кремний пластинасының формасы һәм геометрик үзлекләре белән бәйле булса да, алар төрлечә үлчәнә һәм тасвирлана, һәм аларның ярымүткәргеч процессына һәм пластина эшкәртүгә йогынтысы да төрлечә.
Өч параметр кечерәк булган саен, яхшырак, ә параметр зуррак булган саен, ярымүткәргеч процессына тискәре йогынты зуррак була. Шуңа күрә, ярымүткәргеч белгече буларак, без бөтен процесс процессы өчен пластина профиле параметрларының мөһимлеген аңларга, ярымүткәргеч процессын башкарырга һәм детальләргә игътибар итәргә тиеш.
(цензура)
Бастырылган вакыты: 2024 елның 24 июне