Ярымүткәргеч технологиянең өзлексез үсеше белән, ярымүткәргеч индустриясендә һәм хәтта фотоволтаик индустриядә, вафат субстрат яки эпитаксиаль таблицаның өслек сыйфаты таләпләре дә бик катгый. Шулай итеп, вафиннар өчен сыйфат таләпләре нинди? Алусапфир вафинмисал итеп, ваферларның өслек сыйфатын бәяләү өчен нинди күрсәткечләр кулланырга мөмкин?
Ваферларны бәяләү күрсәткечләре нинди?
Өч күрсәткеч
Сапфир ваферлары өчен аны бәяләү күрсәткечләре - калынлыкның тайпылуы (TTV), бөкләнү (җәя) һәм варп (варп). Бу өч параметр бергәләп кремний вафатының яссылыгын һәм калынлыгын күрсәтә, һәм вафинның ярылу дәрәҗәсен үлчәя ала. Вагон өслегенең сыйфатын бәяләү өчен коррупция яссылык белән кушылырга мөмкин.
Нәрсә ул TTV, BOW, Warp?
TTV (Калынлыкның гомуми үзгәреше)
TTV - ваферның максималь һәм минималь калынлыгы арасындагы аерма. Бу параметр вафин калынлыгының бердәмлеген үлчәү өчен кулланылган мөһим индекс. Ярымүткәргеч процессында вафинның калынлыгы бөтен өслектә бертөрле булырга тиеш. Usuallyлчәүләр гадәттә ваферның биш урында ясала һәм аерма исәпләнә. Ахырда, бу кыйммәт вафинның сыйфатын бәяләү өчен мөһим нигез булып тора.
Bowәя
Ярымүткәргеч җитештерүдә җәя, кысылмаган ваферның урта ноктасы белән белешмә яссылыгы арасын азат итеп, ваферның иелүен аңлата. Бу сүз, мөгаен, җәянең кәкре формасы кебек, иелгәндә предметның формасын тасвирлаудан килә. Bowәя бәясе кремний вафинның үзәге һәм кыры арасындагы тайпылышны үлчәү белән билгеләнә. Бу кыйммәт гадәттә микрометрларда күрсәтелә (µm).
Сугыш
Warp - ваферларның глобаль милеге, ирекле кысылмаган вафер белән белешмә яссылыгы арасындагы максималь һәм минималь ара арасындагы аерманы үлчәүче. Кремний вафаты өслегеннән яссылыкка кадәр булган араны күрсәтә.
TTV, Bow, Warp арасында нинди аерма бар?
TTV калынлыктагы үзгәрешләргә игътибар итә һәм вафинның бөкләнүе яки бозылуы белән борчылмый.
Bowәя, гомуми ноктага игътибар итә, нигездә үзәк ноктаның һәм кырның иелүен исәпкә алып.
Саклагыч тагын да киңрәк, шул исәптән бөтен вафин өслеген бөкләү.
Бу өч параметр кремний вафинның формасы һәм геометрик үзлекләре белән бәйле булса да, алар үлчәнәләр һәм төрлечә сурәтләнәләр, һәм аларның ярымүткәргеч процессына һәм вафер эшкәртүгә тәэсире дә төрле.
Өч параметр кечерәк булса, яхшырак һәм параметр зуррак булса, ярымүткәргеч процессына тискәре йогынты шулкадәр зур. Шуңа күрә, ярымүткәргеч практик буларак, без вафер профиль параметрларының бөтен процесс процессы өчен мөһимлеген аңларга тиеш, ярымүткәргеч процессын эшләргә, детальләргә игътибар итергә тиеш.
（Цензура）
Пост вакыты: 24-2024 июнь