Югары күләмле ярымүткәргечләр җитештерү өчен 12 дюймлы сапфир пластинасы

Кыскача тасвирлама:

12 дюймлы сапфир пластинасы зур мәйданлы, югары җитештерүчән ярымүткәргеч һәм оптоэлектрон җитештерүгә үсә барган ихтыяҗны канәгатьләндерү өчен эшләнгән. Җайланмалар архитектурасы масштаблана барган саен һәм җитештерү линияләре зуррак пластина форматларына күчкән саен, ультра зур диаметрлы сапфир субстратлары җитештерүчәнлектә, уңышны оптимальләштерүдә һәм чыгымнарны контрольдә тотуда ачык өстенлекләр бирә.

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

җентекле схема

12 дюймлы сапфир пластинасын тәкъдим итү

Югары сафлыклы монокристалл Al₂O₃-тан эшләнгән 12 дюймлы сапфир пластиналарыбыз искиткеч механик ныклыкны, җылылык тотрыклылыгын һәм өслек сыйфатын берләштерә. Оптимальләштерелгән кристалл үсеше һәм пластиналарны төгәл эшкәртү аша бу субстратлар алдынгы LED, GaN һәм махсус ярымүткәргеч кушымталар өчен ышанычлы эш сыйфаты бирә.

Материал үзенчәлекләре

Сапфир (монокристалл алюминий оксиды, Al₂O₃) үзенең күренекле физик һәм химик үзлекләре белән билгеле. 12 дюймлы сапфир пластиналары сапфир материалының барлык өстенлекләрен мирас итеп ала, шул ук вакытта күпкә зуррак кулланылышлы өслек мәйданы бирә.

Төп материал үзенчәлекләре түбәндәгеләрне үз эченә ала:

Бик югары катылык һәм тузуга чыдамлык
Бик яхшы термик тотрыклылык һәм югары эрү температурасы
Кислоталар һәм селтеләргә югары химик каршылык
Ультрафиолеттан инфракызыл дулкын озынлыгына кадәр югары оптик үтә күренмәлелек
Бик яхшы электр изоляциясе үзенчәлекләре

Бу үзенчәлекләр 12 дюймлы сапфир пластиналарын каты эшкәртү мохите һәм югары температуралы ярымүткәргеч җитештерү процесслары өчен яраклы итә.

Җитештерү процессы

12 дюймлы сапфир пластиналарын җитештерү өчен алдынгы кристалл үстерү һәм ультра төгәл эшкәртү технологияләре кирәк. Гадәти җитештерү процессы түбәндәгеләрне үз эченә ала:

Бер кристалл үсеше
Югары сафлыклы сапфир кристаллары KY яки башка зур диаметрлы кристалл үстерү технологияләре кебек алдынгы ысуллар кулланып үстерелә, бу кристаллның бердәм юнәлешен һәм түбән эчке көчәнешне тәэмин итә.
Кристалл формалаштыру һәм кисү
Сапфир коелмасы төгәл формага китерелгән һәм җир асты зыянын минимальләштерү өчен югары төгәллекле кисү җиһазлары ярдәмендә 12 дюймлы пластиналарга киселгән.
Шпатель белән бизәү һәм ялтырату
Өслекнең тигезлегенә, тигезлегенә һәм калынлыкның бер төрлелегенә ирешү өчен күп баскычлы ышку һәм химик механик полировка (CMP) процесслары кулланыла.
Чистарту һәм тикшерү
Һәр 12 дюймлы сапфир пластина җентекле чистартыла һәм катгый тикшерү уза, шул исәптән өслек сыйфаты, TTV, бөгелеш, ворсинг һәм дефектлар анализы.

Кушымталар

12 дюймлы сапфир пластиналары алдынгы һәм яңа технологияләрдә киң кулланыла, шул исәптән:

Югары куәтле һәм югары яктылыклы LED субстратлары
GaN нигезендәге көч җайланмалары һәм радиоешлык җайланмалары
Ярымүткәргеч җиһазлар йөртүче һәм изоляцияләүче субстратлар
Оптик тәрәзәләр һәм зур мәйданлы оптик компонентлар
Алдынгы ярымүткәргеч төргәкләү һәм махсус процесс ташучылар

Зур диаметр күпләп җитештерүдә югарырак җитештерүчәнлек һәм чыгымнарның нәтиҗәлелеген арттырырга мөмкинлек бирә.

12 дюймлы сапфир вафлиларының өстенлекләре

Пластинага югарырак җайланма чыгару өчен зуррак куллану мәйданы
Процессларның эзлеклелеге һәм бердәмлеге яхшырды
Зур күләмле җитештерүдә бер җайланма өчен чыгымнарның кимүе
Зур күләмле эшкәртү өчен бик яхшы механик ныклык
Төрле кушымталар өчен көйләнергә мөмкин булган спецификацияләр

Үзгәртү вариантлары

Без 12 дюймлы сапфир пластиналары өчен уңайлы көйләү тәкъдим итәбез, шул исәптән:

Кристалл ориентациясе (C-яссылыгы, A-яссылыгы, R-яссылыгы һ.б.)
Калынлык һәм диаметрга чыдамлылык
Бер яклы яки ике яклы полировка
Кырый профиле һәм фаска дизайны
Өслекнең тигезлеге һәм тигезлеге таләпләре

Параметр	Спецификация	Искәрмәләр
Вафли диаметры	12 дюйм (300 мм)	Стандарт зур диаметрлы пластина
Материал	Монокристалллы сапфир (Al₂O₃)	Югары сафлыклы, электрон/оптик дәрәҗә
Кристалл юнәлеше	C-яссылыгы (0001), A-яссылыгы (11-20), R-яссылыгы (1-102)	Өстәмә юнәлешләр бар
Калынлыгы	430–500 мкм	Сорау буенча махсус калынлык тәкъдим ителә
Калынлыкка чыдамлылык	±10 мкм	Алга киткән җайланмалар өчен катгый түземлелек
Гомуми калынлык үзгәрүе (TTV)	≤10 мкм	Вафли буйлап бердәм эшкәртүне тәэмин итә
Баш	≤50 мкм	Бөтен пластина буенча үлчәнгән
Варп	≤50 мкм	Бөтен пластина буенча үлчәнгән
Өслек бизәлеше	Бер яклы ялтыратылган (SSP) / Ике яклы ялтыратылган (DSP)	Югары оптик сыйфатлы өслек
Өслекнең тигезсезлеге (Ra)	≤0,5 нм (ялтыратылган)	Эпитаксиаль үсеш өчен атом дәрәҗәсендәге шомалык
Кырый профиле	Фаза / Түгәрәк кырый	Эшкәртү вакытында ватылуны булдырмас өчен
Ориентация төгәллеге	±0,5°	Эпитаксиаль катламның тиешенчә үсүен тәэмин итә
Дефект тыгызлыгы	<10 см⁻²	Оптик тикшерү ярдәмендә үлчәнгән
Яссылык	≤2 мкм / 100 мм	Бердәм литография һәм эпитаксиаль үсешне тәэмин итә
Чисталык	100 нче класс – 1000 нче класс	Чиста бүлмә белән туры килә
Оптик тапшыру	>85% (УФ–ИК)	Дулкын озынлыгына һәм калынлыгына бәйле

12 дюймлы сапфир вафлисы турында еш бирелә торган сораулар

1 нче сорау: 12 дюймлы сапфир пластинасының стандарт калынлыгы нинди?
A: Стандарт калынлык 430 мкм дан 500 мкм га кадәр. Шулай ук, клиент таләпләренә туры китереп, махсус калынлыклар да җитештерелергә мөмкин.

2 нче сорау: 12 дюймлы сапфир пластиналары өчен нинди кристалл ориентацияләре бар?
Җ: Без C-яссылык (0001), A-яссылык (11-20) һәм R-яссылык (1-102) ориентацияләрен тәкъдим итәбез. Башка ориентацияләрне җайланманың билгеле бер таләпләренә нигезләнеп көйләргә мөмкин.

3 нче сорау: Пластинаның гомуми калынлык үзгәреше (TTV) нинди?
A: Безнең 12 дюймлы сапфир пластиналары гадәттә TTV ≤10 мкм га ия, бу югары сыйфатлы җайланмалар ясау өчен пластина өслегенең бөтен өлешендә бердәмлекне тәэмин итә.

Безнең турында

XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.