8 дюймлы P/N-типтагы кремний пластинасы (100) 1-100Ω макет рециркуляция субстраты
Вафли тартмасын тәкъдим итү
8 дюймлы кремний пластинасы - еш кулланыла торган кремний субстрат материалы һәм интеграль микросхемалар җитештерү процессында киң кулланыла. Мондый кремний пластиналары гадәттә төрле интеграль микросхемалар, шул исәптән микропроцессорлар, хәтер чиплары, сенсорлар һәм башка электрон җайланмалар ясау өчен кулланыла. 8 дюймлы кремний пластиналары гадәттә чагыштырмача зур күләмле чиплар ясау өчен кулланыла, аларның өстенлекләре арасында зуррак өслек мәйданы һәм бер кремний пластинасында күбрәк чиплар ясау мөмкинлеге бар, бу җитештерү нәтиҗәлелеген арттыра. 8 дюймлы кремний пластинасы шулай ук яхшы механик һәм химик үзлекләргә ия, бу зур күләмле интеграль микросхемалар җитештерү өчен яраклы.
Продукция үзенчәлекләре
8" P/N тибындагы, ялтыратылган силикон пластинасы (25 данә)
Ориентация: 200
Каршылык: 0.1 - 40 ом•см (Ул партиядән партиягә үзгәрергә мөмкин)
Калынлыгы: 725+/- 20 мкм
Прайм/Монитор/Тест дәрәҗәсе
МАТЕРИАЛ ҮЗЕНЧӘЛЕКЛӘРЕ
| Параметр | Характеристик |
| Төре/Коштыргыч | P, Бор N, Фосфор N, Сурьма N, Мышьяк |
| Ориентацияләр | <100>, <111> клиентның таләпләренә туры китереп юнәлешләрне кисү |
| Кислород күләме | 1019ppmA Клиент спецификациясе буенча махсус чыдый торган чикләүләр |
| Углерод күләме | < 0,6 ppmA |
МЕХАНИК ҮЗЕНЧӘЛЕКЛӘР
| Параметр | Прайм | Монитор/А тесты | Сынау |
| Диаметр | 200±0.2 мм | 200 ± 0,2 мм | 200 ± 0,5 мм |
| Калынлыгы | 725±20µm (стандарт) | 725±25µm (стандарт) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 мкм | 725±50µm (стандарт) |
| TTV | < 5 мкм | < 10 мкм | < 15 мкм |
| Баш | < 30 мкм | < 30 мкм | < 50 мкм |
| Төрү | < 30 мкм | < 30 мкм | < 50 мкм |
| Кырларны түгәрәкләү | Ярым-җитештерү юлы белән йөкләнгән | ||
| Билгеләү | Башлангыч ярым-фатирлы йортлар гына, ярым-стильле фатирлар Джейда яссы, очлыклы йортлар | ||
| Параметр | Прайм | Монитор/А тесты | Сынау |
| Алгы як критерийлары | |||
| Өслек торышы | Химик механик яктан чистартылган | Химик механик яктан чистартылган | Химик механик яктан чистартылган |
| Өслекнең катылыгы | < 2 А° | < 2 А° | < 2 А° |
| Пычрану >0.3 мкм зурлыктагы кисәкчәләр | = 20 | = 20 | = 30 |
| Томан, чокырлар Әфлисун кабыгы | Юк | Юк | Юк |
| Saw, Marks Стриацияләр | Юк | Юк | Юк |
| Арткы як критерийлары | |||
| Ярыклар, тырнак аяклары, пычкы эзләре, таплар | Юк | Юк | Юк |
| Өслек торышы | Каустик белән бизәлгән | ||
җентекле схема





