Тулысынча автоматик рәвештә пластина боҗраларын кисү җиһазы Эш зурлыгы 8 дюйм/12 дюйм пластина боҗраларын кисү

Кыскача тасвирлама:

XKH компаниясе тулысынча автоматик рәвештә пластина кырыйларын кисү системасын мөстәкыйль рәвештә эшләде, ул алгы өлеш ярымүткәргечләр җитештерү процесслары өчен эшләнгән алдынгы чишелеш булып тора. Бу җиһаз инновацион күп күчәрле синхрон идарә итү технологиясен үз эченә ала һәм югары катылыктагы шпиндель системасына ия (максималь әйләнү тизлеге: 60,000 RPM), ±5μm кадәр кисү төгәллеге белән кырыйларны кисүне тәэмин итә. Система төрле ярымүткәргеч субстратлар белән бик яхшы туры килүчәнлекне күрсәтә, шул исәптән, ләкин моның белән генә чикләнмичә:
1. Кремний пластиналары (Si): 8-12 дюймлы пластиналарны кырый белән эшкәртү өчен яраклы;
2.Катнаш ярымүткәргечләр: GaAs һәм SiC кебек өченче буын ярымүткәргеч материаллар;
3. Махсус субстратлар: LT/LN кебек пьезоэлектрик материал пластиналары;

Модульле дизайн алмаз пычаклар һәм лазер кисү башлары кебек күп төрле чыгым материалларын тиз алыштыруны тәэмин итә, һәм аларның туры килүчәнлеге сәнәгать стандартларыннан артып китә. Махсуслаштырылган процесс таләпләре өчен без түбәндәгеләрне үз эченә алган комплекслы чишелешләр тәкъдим итәбез:
· Махсус кисү чыгым материаллары белән тәэмин итү
· Заказ буенча эшкәртү хезмәтләре
· Процесс параметрларын оптимальләштерү чишелешләре

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

Техник параметрлар

Параметр	Берәмлек	Спецификация
Эшкәрткечнең максималь зурлыгы	mm	ø12"
Шпиндель	Конфигурация	Бер шпиндель
	Тизлек	3000–60000 әйләнү/мин
	Чыгару көче	30,000 мин⁻¹ тизлектә 1,8 кВт (2,4 өстәмә)
	Макс Блейд Диаметры.	Ø58 мм
X күчәре	Кисү диапазоны	310 мм
Y күчәре	Кисү диапазоны	310 мм
	Адымны арттыру	0,0001 мм
	Позицияләү төгәллеге	≤0,003 мм/310 мм, ≤0,002 мм/5 мм (бер хата)
Z күчәре	Хәрәкәт чишелеше	0,00005 мм
Z күчәре	кабатланырлык	0,001 мм
θ күчәре	Максималь әйләнү	380 градус
Шпиндель төре		Бер шпиндельле, боҗра кисү өчен каты пычак белән җиһазландырылган
Боҗра кисү төгәллеге	мкм	±50
Вафли урнаштыру төгәллеге	мкм	±50
Бер пластиналы нәтиҗәлелек	мин/вафли	8
Күп катлы пластиналы нәтиҗәлелек		Бер үк вакытта 4кә кадәр пластина эшкәртелә
Җиһазлар авырлыгы	kg	≈3,200
Җиһазларның үлчәмнәре (К × Т × Биеклек)	mm	2730 × 1550 × 2070

Эш принцибы

Система түбәндәге төп технологияләр ярдәмендә гаҗәеп кисү нәтиҗәләренә ирешә:

1. Акыллы хәрәкәт белән идарә итү системасы:
· Югары төгәллекле сызыклы мотор җайланмасы (кабатлау төгәллеге: ±0,5 мкм)
· Катлаулы траектория планлаштыруын тәэмин итүче алты күчәрле синхрон идарә итү
· Кисү тотрыклылыгын тәэмин итүче реаль вакыт режимындагы тибрәнүне басу алгоритмнары

2. Алга киткән ачыклау системасы:
· Интегральләштерелгән 3D лазер биеклек сенсоры (төгәллек: 0,1 мкм)
· Югары сыйфатлы CCD визуаль позицияләү (5 мегапиксель)
· Онлайн сыйфат тикшерү модуле

3. Тулысынча автоматлаштырылган процесс:
· Автоматик йөкләү/бушату (FOUP стандарт интерфейсы белән туры килә)
· Акыллы сортлау системасы
· Ябык цикллы чистарту җайланмасы (чисталык: 10 нчы класс)

Гадәти кушымталар

Бу җиһаз ярымүткәргеч җитештерү кушымталарында зур файда китерә:

Кушымта кыры	Процесс материаллары	Техник өстенлекләр
интеграль интеграль җитештерү	8/12" кремний пластиналары	Литография тигезләнешен яхшырта
Көч җайланмалары	SiC/GaN пластиналары	Кырыйдагы кимчелекләрне булдырмый
MEMS сенсорлары	SOI вафлилары	Җайланманың ышанычлылыгын тәэмин итә
Радиоелемтәләр җайланмалары	GaAs вафлилары	Югары ешлыклы эшчәнлекне яхшырта
Алдынгы упаковка	Реконструкцияләнгән вафлилар	Төргәкләү уңышын арттыра

Үзенчәлекләр

1. Югары эшкәртү нәтиҗәлелеге өчен дүрт станцияле конфигурация;
2. TAIKO боҗрасын тотрыклы рәвештә аеру һәм алу;
3. Төп чыгым материаллары белән югары дәрәҗәдә туры килүчәнлек;
4. Күп күчәрле синхрон кисү технологиясе төгәл кырый кисүне тәэмин итә;
5. Тулысынча автоматлаштырылган процесс агымы хезмәт чыгымнарын сизелерлек киметә;
6. Шәхси эш өстәле дизайны махсус конструкцияләрне тотрыклы эшкәртү мөмкинлеген бирә;

Функцияләр

1. Боҗра төшүен ачыклау системасы;
2. Эш өстәлен автоматик чистарту;
3. Акыллы ультрафиолет нурларын бетерү системасы;
4. Операция журналын теркәү;
5. Завод автоматизациясе модулен интеграцияләү;

Хезмәт күрсәтү йөкләмәсе

XKH җитештерү процессы дәвамында җиһазларның эшчәнлеген һәм эксплуатация нәтиҗәлелеген максимальләштерү өчен эшләнгән комплекслы, тулы тормыш циклы ярдәме хезмәтләрен күрсәтә.
1. Үзгәртү хезмәтләре
· Җиһазларның шәхси конфигурациясе: Безнең инженерлык командасы билгеле бер материал үзенчәлекләренә (Si/SiC/GaAs) һәм процесс таләпләренә нигезләнеп, система параметрларын (кисү тизлеге, пычак сайлау һ.б.) оптимальләштерү өчен клиентлар белән тыгыз хезмәттәшлек итә.
· Процессларны эшләүгә ярдәм: Без кырыйларның тигезсезлеген үлчәү һәм кимчелекләрне картага төшерү кебек җентекле анализ отчетлары белән үрнәкләрне эшкәртү тәкъдим итәбез.
· Чыгым материалларын бергәләп эшләү: Яңа материаллар (мәсәлән, Ga₂O₃) өчен, без куллану өчен махсус пычаклар/лазер оптикасы эшләү максатыннан әйдәп баручы чыгым материаллары җитештерүчеләр белән хезмәттәшлек итәбез.

2. Профессиональ техник ярдәм
· Урында махсус ярдәм: Сертификатлы инженерларны мөһим үсеш этаплары өчен (гадәттә 2-4 атна) билгеләгез, алар түбәндәгеләрне үз эченә ала:
Җиһазларны калибрлау һәм процессны көйләү
Оператор компетенциясен өйрәтү
ISO 5 класслы чиста бүлмә интеграциясе буенча күрсәтмә
· Фаразлау буенча техник хезмәт күрсәтү: Планлаштырылмаган эшләмәү вакытын булдырмас өчен, квартал саен вибрация анализы һәм сервомотор диагностикасы белән сәламәтлекне тикшерү.
· Дистанцион мониторинг: Автоматик аномалияләр турында кисәтүләр ярдәмендә безнең IoT платформасы (JCFront Connect®) аша җиһазларның эшчәнлеген реаль вакытта күзәтү.

3. Өстәмә кыйммәт бирүче хезмәтләр
· Процесслар турында белем базасы: Төрле материаллар өчен 300+ расланган кисү рецептларына керү мөмкинлеге (квартал саен яңартыла).
· Технологияләр юл картасын тигезләү: Аппарат/программа тәэминатын яңарту юллары белән инвестицияләрегезне киләчәккә ышанычлы итегез (мәсәлән, ясалма интеллект нигезендәге кимчелекләрне ачыклау модуле).
· Гадәттән тыш хәлләрдә ярдәм: 4 сәгатьлек дистанцион диагностика һәм 48 сәгатьлек урында ярдәм күрсәтү гарантияләнә (бөтен дөнья буенча).

4. Хезмәт күрсәтү инфраструктурасы
· Эшчәнлек гарантиясе: SLA белән тәэмин ителгән җавап вакыты белән җиһазларның ≥98% эшләү вакытына килешү йөкләмәсе.

Даими камилләштерү

Без ел саен ике тапкыр клиентларның канәгатьлеген тикшерү үткәрәбез һәм хезмәт күрсәтүне яхшырту өчен Кайдзен инициативаларын гамәлгә ашырабыз. Безнең тикшеренүләр һәм эшләнмәләр командасы кыр белемнәрен җиһазларны яңартуга күчерә - микропрограмманы яхшыртуның 30% ы клиентларның фикерләреннән килә.