Сапфир SiC Si өчен ион нурлы полировкалау машинасы

Сапфир SiC Si өчен ион нурларын ялтырату машинасы. Күрсәтелгән рәсем.

Кыскача тасвирлама:

Ион нурларын формалаштыру һәм ялтырату машинасы ион сиптерү принцибына нигезләнгән. Югары вакуумлы камера эчендә ион чыганагы плазма барлыкка китерә, ул тизләтелә һәм югары энергияле ион нурына әйләнә. Бу нур оптик компонент өслеген бомбага тота, атом масштабындагы материалны алып, ультра төгәл өслек төзәтүенә һәм эшкәртүенә ирешә.

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

җентекле схема

Ион нурларын ялтырату машинасы продуктына гомуми күзәтү

Контактсыз процесс буларак, ион нурларын ялтырату механик киеренкелекне бетерә һәм җир асты зыянын булдырмый, бу аны астрономия, аэрокосмик, ярымүткәргечләр һәм алдынгы тикшеренүләрдә кулланыла торган югары төгәллекле оптика җитештерү өчен идеаль итә.

Ион нурларын ялтырату машинасының эш принцибы

Ион генерациясе
Инерт газ (мәсәлән, аргон) вакуум камерасына кертелә һәм электр разряды аша ионлаштырылып, плазма барлыкка килә.

Тизәләнү һәм нур формалашуы
Ионнар берничә йөз яки мең электронвольтка (эВ) кадәр тизләтелә һәм тотрыклы, фокусланган нур ноктасы формасында формалаша.

Материалны чыгару
Ион нуры химик реакцияләр башламыйча, атомнарны өслектән физик яктан сиптерә.

Хаталарны ачыклау һәм юлны планлаштыру
Өслек фигураларыннан тайпылышлар интерферометрия ярдәмендә үлчәнә. Алып ташлау функцияләре туктау вакытын билгеләү һәм коралның оптимальләштерелгән юлларын булдыру өчен кулланыла.

Ябык цикллы төзәтү
Эшкәртү һәм үлчәүнең кабатлану цикллары RMS/PV төгәллек максатларына ирешелгәнче дәвам итә.

Ион нурларын ялтырату машинасының төп үзенчәлекләре

Универсаль өслек туры килүчәнлеге– Яссы, сферик, асферик һәм ирекле формадагы өслекләрне эшкәртә

Бик тотрыклы чыгару тизлеге– Нанометрдан түбән саннарны төзәтү мөмкинлеген бирә

Зыян китермичә эшкәртү– Җир асты кимчелекләре яки структураль үзгәрешләр юк

Даими эшчәнлек– Төрле катылыктагы материалларда бертигез яхшы эшли

Түбән/Уртача ешлык төзәтмәсе– Урта/югары ешлыклы артефактлар тудырмыйча хаталарны бетерә

Түбән хезмәт күрсәтү таләп ителә– Минималь тукталыш вакыты белән озак өзлексез эшләү

Ион нурлы полировкалау машинасының төп техник характеристикалары

Әйбер	Спецификация
Эшкәртү ысулы	Югары вакуумлы мохиттә ион сиптерүе
Эшкәртү төре	Контактсыз өслек фигурациясе һәм ялтырату
Эш кисәгенең максималь зурлыгы	Φ4000 мм
Хәрәкәт күчәрләре	3 күчәрле / 5 күчәрле
Чыгару тотрыклылыгы	≥95%
Өслек төгәллеге	PV < 10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (гадәти RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Ешлыкны төзәтү мөмкинлеге	Урта/югары ешлыклы хаталар кертмичә, түбән-урта ешлыклы хаталарны бетерә
Өзлексез эшләү	Вакуумга хезмәт күрсәтүсез 3–5 атна
Техник хезмәт күрсәтү бәясе	Түбән

Ион нурларын ялтырату машинасының эшкәртү мөмкинлекләре

Ярдәм ителгән өслек төрләре

Гади: яссы, сферик, призма

Катлаулы: Симметрик/асимметрик асфера, күчәрдән читтәге асфера, цилиндрик

Махсус: ультра-нечкә оптика, такта оптикасы, ярымсферик оптика, конформ оптикасы, фазалы пластиналар, ирекле формалы өслекләр

Ярдәм ителгән материаллар

Оптик пыяла: кварц, микрокристалл, K9 һ.б.

Инфракызыл материаллар: кремний, германий һ.б.

Металлар: Алюминий, дат басмас корыч, титан эретмәсе һ.б.

Кристаллар: YAG, монокристалл кремний карбиды һ.б.

Каты/сынучан материаллар: кремний карбиды һ.б.

Өслек сыйфаты / төгәллек

PV < 10 нм

RMS ≤ 0,5 нм

Ион нурларын ялтырату машинасын эшкәртү очракларын өйрәнү

1 нче очрак – Стандарт яссы көзге

Эшкәртмә: D630 мм кварц яссы

Нәтиҗә: PV 46,4 нм; RMS 4,63 нм

2 нче очрак – Рентген нурларын чагылдыручы көзге

Эшкәртмә: 150 × 30 мм силикон яссы

Нәтиҗә: PV 8.3 нм; RMS 0.379 нм; Авышлык 0.13 мкрад

3 нче очрак – Күзгедән читтә тору

Эшкәртмә: D326 мм күчәреннән читтәге җир көзгесе

Нәтиҗә: PV 35.9 нм; RMS 3.9 нм

Кварц күзлекләре турында еш бирелә торган сораулар

Еш бирелә торган сораулар – Ион нурларын ялтырату машинасы

1 нче сорау: Ион нурлары белән ялтырату нәрсә ул?
A1:Ион нурлары белән ялтырату - эш кисәге өслегеннән материалны алу өчен ионнарның фокусланган нурын (мәсәлән, аргон ионнарын) кулланучы контактсыз процесс. Ионнар тизләтелә һәм өслеккә юнәлтелә, бу атом дәрәҗәсендәге материалны алуга китерә, нәтиҗәдә ультра шома эшкәртүләр барлыкка килә. Бу процесс механик көчәнешне һәм җир асты зыянын бетерә, бу аны төгәл оптик компонентлар өчен идеаль итә.

2 нче сорау: Ион нурлары белән ялтырату машинасы нинди өслекләрне эшкәртә ала?
A2:...Ион нурларын ялтырату машинасыкебек гади оптик компонентларны да кертеп, төрле өслекләрне эшкәртә алаяссылыклар, сфералар һәм призмалар, шулай ук катлаулы геометрияләр кебекасфералар, күчәрдән читтәге асфералар, һәмирекле формадагы өслекләрУл, бигрәк тә, оптик пыяла, инфракызыл оптика, металлар һәм каты/сынучан материаллар кебек материалларда нәтиҗәле.

3 нче сорау: Ион нурлы полировкалау машинасы нинди материаллар белән эшли ала?
A3:...Ион нурларын ялтырату машинасытөрле материалларны ялтырата ала, шул исәптән:

Оптик пыяла: Кварц, микрокристалл, K9 һ.б.
Инфракызыл материаллар: Кремний, германий һ.б.
Металлар: Алюминий, дат басмас корыч, титан эретмәсе һ.б.
Кристалл материаллар: YAG, монокристалл кремний карбиды һ.б.
Башка каты/сынучан материаллар: Кремний карбиды һ.б.

Безнең турында

XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.