SiC сапфир Si GAAs пластинасы өчен кремний карбиды керамик патрон
җентекле схема
Кремний карбиды (SiC) керамик патронга гомуми күзәтү
...Кремний карбиды керамик патронярымүткәргечләрне тикшерү, пластиналар ясау һәм тоташтыру кушымталары өчен эшләнгән югары җитештерүчәнлекле платформа. Алдынгы керамик материаллардан эшләнгән, шул исәптәнагломерланган SiC (SSiC), реакция белән бәйләнгән SiC (RSiC), кремний нитриды, һәмалюминий нитриды— ул тәкъдим итәюгары катылык, түбән җылылык киңәюе, бик яхшы тузуга чыдамлык һәм озын хезмәт итү вакыты.
Төгәл инженерия һәм иң заманча полировка ярдәмендә, патрон нәтиҗә бирәсубмикронлы яссылык, көзге сыйфатындагы өслекләр һәм озак вакытлы үлчәмле тотрыклылык, бу аны мөһим ярымүткәргеч процесслар өчен идеаль чишелеш итә.
Төп өстенлекләр
-
Югары төгәллек
Яссылык эчендә контрольдә тотыла0,3–0,5 мкм, пластина тотрыклылыгын һәм процессның төгәллеген тәэмин итү. -
Көзгеләрне ялтырату
казанышларга ирешәRa 0,02 мкмөслекнең тигезсезлеген, пластина тырналуларын һәм пычрануны минимальләштерә - ультра чиста мохит өчен идеаль. -
Ультра җиңел
Кварц яки металл субстратларга караганда ныграк, ләкин җиңелрәк, хәрәкәтне контрольдә тотуны, җавап бирүчәнлекне һәм позицияләү төгәллеген яхшырта. -
Югары катылык
Гаҗәеп Янг модуле авыр йөкләнешләр астында үлчәм тотрыклылыгын һәм югары тизлектә эшләүне тәэмин итә. -
Түбән җылылык киңәюе
CTE кремний пластиналарына бик туры килә, җылылык киеренкелеген киметә һәм процессның ышанычлылыгын арттыра. -
Күренекле тузуга чыдамлык
Бик каты булу, хәтта озак вакытлы, югары ешлыклы куллану вакытында да, яссылыкны һәм төгәллекне саклый.
Җитештерү процессы
-
Чимал әзерләү
Контрольдә тотылган кисәкчәләр зурлыгы һәм бик түбән катнашмалар белән югары чисталыктагы SiC порошоклары. -
Формалаштыру һәм пломбалау
кебек техникаларбасымсыз пломбалау (SSiC) or реакция бәйләнеше (RSiC)тыгыз, бердәм керамик субстратлар җитештерә. -
Төгәл эшкәртү
CNC белән эшкәртү, лазер белән кисү һәм ультра төгәл эшкәртү ±0,01 мм түземлелеккә һәм ≤3 мкм параллелизмга ирешә. -
Өслек эшкәртү
Ra 0,02 мкм га кадәр күп баскычлы тарту һәм ялтырату; коррозиягә чыдамлык яки шәхси ышкылу үзенчәлекләре өчен өстәмә каплаулар бар. -
Тикшерү һәм сыйфат контроле
Интерферометрлар һәм катылыкны тикшерү җайланмалары ярымүткәргечләр өчен махсуслаштырылган таләпләргә туры килүен тикшерә.
Техник характеристикалар
| Параметр | Бәя | Берәмлек |
|---|---|---|
| Яссылык | ≤0.5 | мкм |
| Вафли зурлыклары | 6'', 8'', 12'' (заказ буенча заказ бирергә мөмкин) | — |
| Өслек төре | Штифт төре / Боҗра төре | — |
| Эңгәл биеклеге | 0,05–0,2 | mm |
| Минималь штифт диаметры | ϕ0.2 | mm |
| Минималь штифт аралыгы | 3 | mm |
| Минималь герметик боҗра киңлеге | 0.7 | mm |
| Өслекнең тигезсезлеге | Ra 0.02 | мкм |
| Калынлыкка чыдамлылык | ±0,01 | mm |
| Диаметрга чыдамлылык | ±0,01 | mm |
| Параллелизмга түземлелек | ≤3 | мкм |
Төп кушымталар
-
Ярымүткәргечле пластиналарны тикшерү җиһазлары
-
Пластиналар ясау һәм күчерү системалары
-
Вафлины бәйләү һәм төргәкләү кораллары
-
Алдынгы оптоэлектрон җайланмалар җитештерү
-
Бик тигез, бик чиста өслекләр таләп итә торган төгәллекле кораллар
Сорау-җавап – Кремний карбиды керамик патрон
1 нче сорау: SiC керамик патроннары кварц яки металл патроннары белән ничек чагыштырыла?
A1: SiC патроннары җиңелрәк, катырак һәм кремний пластиналарына якын CTEга ия, бу термик деформацияне минимальләштерә. Алар шулай ук югарырак тузуга чыдамлык һәм озаграк хезмәт итү мөмкинлеге бирә.
2 нче сорау: Нинди яссылыкка ирешеп була?
A2: Эчендә контрольдә тотыла0,3–0,5 мкм, ярымүткәргечләр җитештерүнең катгый таләпләрен канәгатьләндерә.
3 нче сорау: Өслек пластиналарны тырнап бетерәчәкме?
A3: Юк — көзге белән ялтыратылганRa 0,02 мкм, тырналмыйча эшкәртүне һәм кисәкчәләр барлыкка килүен киметүне тәэмин итә.
4 нче сорау: Нинди пластина зурлыклары хуплана?
A4: Стандарт зурлыклар6 дюйм, 8 дюйм һәм 12 дюйм, көйләү мөмкинлеге белән.
5 нче сорау: Термик каршылык нинди?
A5: SiC керамикасы термик цикл вакытында минималь деформация белән югары температурада бик яхшы эшләү мөмкинлеге бирә.
Безнең турында
XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.









