Кремний / Кремний карбиды (SiC) пластинасы дүрт баскычлы бәйләнгән полировкалау автоматизациясе линиясе (Полировкалаудан соңгы интеграцияләнгән эшкәртү линиясе)

Кремний / Кремний карбиды (SiC) пластинасы дүрт баскычлы бәйләнгән полировкалау автоматизациясе линиясе (Полировкалаудан соңгы эшкәртү линиясе) Күрсәтелгән рәсем

Кыскача тасвирлама:

Бу дүрт баскычлы бәйләнгән полировкалау автоматизациясе линиясе - интегральләштерелгән, линия эчендәге чишелеш, ул ... өчен эшләнгән.полированиедән соңгы / CMPдан соңгыоперацияләрекремнийһәмкремний карбиды (SiC)пластиналар. Тирә-юньдә төзелгәнкерамик ташучылар (керамик пластиналар), система берничә түбән агымдагы бурычларны бер координацияләнгән линиягә берләштерә — заводларга кул белән эшкәртүне киметергә, такт вакытын тотрыклыландырырга һәм пычрануны контрольдә тотуны көчәйтергә ярдәм итә.

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

җентекле схема

Кремний / Кремний карбиды (SiC) пластинасы дүрт баскычлы бәйләнгән полировкалау автоматизациясе линиясе (Полировкалаудан соңгы интеграцияләнгән эшкәртү линиясе)4

Гомуми күзәтү

Ярым ярымүткәргечләр җитештерүдә,CMP-тан соңгы нәтиҗәле чистартукиләсе процесс алдыннан кимчелекләрне киметү өчен төп адым буларак киң танылган, һәм алдынгы ысуллар (шул исәптәнмегасоник чистарту) кисәкчәләрне бетерү эшчәнлеген яхшырту өчен еш кына фикер алышына.

Аерым алганда, SiC өчен, аныңюгары катылык һәм химик инертлыкполировкалауны катлаулы итә (еш кына материалны түбән алу тизлеге һәм өслек/аскы өслекнең зарарлану куркынычы югарырак булуы белән бәйле), бу полировкалаудан соңгы тотрыклы автоматизацияне һәм контрольдә тотылган чистарту/эшләтүне аеруча кыйммәтле итә.

Төп өстенлекләр

Түбәндәгеләрне хуплый торган бердәм интеграцияләнгән линия:

Вафлины аеру һәм җыю(шлифовкадан соң)
Керамик ташучыны буферлау / саклау
Керамик ташучыларны чистарту
Керамик тотучыларга пластина урнаштыру (ябыштыру)
Консолидацияләнгән, бер линияле операция6–8 дюймлы вафлилар

Техник характеристикалар (бирелгән мәгълүмат таблицасыннан)

Җиһазларның үлчәмнәре (озынлык × киңлек × биеклек):13643 × 5030 × 2300 мм
Электр белән тәэмин итү:AC 380 В, 50 Гц
Гомуми куәт:119 кВт
Монтаж чисталыгы:0,5 мкм < 50 данә; 5 мкм < 1 данә
Монтажлау яссылыгы:≤ 2 мкм

Үткәрүчәнлек турында белешмә (бирелгән мәгълүмат таблицасыннан)

Җиһазларның үлчәмнәре (озынлык × киңлек × биеклек):13643 × 5030 × 2300 мм
Электр белән тәэмин итү:AC 380 В, 50 Гц
Гомуми куәт:119 кВт
Монтаж чисталыгы:0,5 мкм < 50 данә; 5 мкм < 1 данә
Монтажлау яссылыгы:≤ 2 мкм

Гадәти линия агымы

Өске агымлы полировка зонасыннан керү / интерфейс
Вафлины аеру һәм җыю
Керамик ташучыларны буферлау/саклау (тактиль вакыт аралыгында аеру)
Керамик ташучыларны чистарту
Пластинаны ташучыларга урнаштыру (чисталык һәм тигезлек контроле белән)
Аша баручы процессларга яки логистикага чыгару

еш бирелә торган сораулар

1 нче сорау: Бу линия, нигездә, нинди проблемаларны хәл итә?
A: Ул пластиналарны аеру/җыю, керамик ташучыларны буферлау, ташучыларны чистарту һәм пластиналарны урнаштыруны бер координацияләнгән автоматизация линиясенә берләштереп, ялтыратудан соңгы операцияләрне гадиләштерә - кул белән тоташу нокталарын киметә һәм җитештерү ритмын тотрыклыландыра.

2 нче сорау: Кайсы пластина материаллары һәм зурлыклары хуплана?
А:Кремний һәм SiC,6–8 дюймпластиналар (бирелгән спецификация буенча).

3 нче сорау: Ни өчен сәнәгатьтә CMPдан соңгы чистартуга басым ясала?
A: Тармак әдәбиятында киләсе адым алдыннан кимчелек тыгызлыгын киметү өчен CMPдан соңгы нәтиҗәле чистартуга ихтыяҗ артуы ассызыклана; кисәкчәләрне бетерүне яхшырту өчен мегатовикка нигезләнгән ысуллар еш кына өйрәнелә.

Безнең турында

XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.