C-Plane DSP TTV өчен 156 мм 159 мм 6 дюймлы сапфир пластинасы
Спецификация
| Әйбер | 6 дюймлы C-формасындагы (0001) сапфир пластиналары | |
| Кристалл материаллар | 99,999%, югары сафлыклы, монокристалл Al2O3 | |
| Дәрәҗә | Prime, Epi-Ready | |
| Өслек юнәлеше | C-япшаклык (0001) | |
| C-яссылыгының M күчәренә таба почмагы 0,2 +/- 0,1° | ||
| Диаметр | 100.0 мм +/- 0.1 мм | |
| Калынлыгы | 650 мкм +/- 25 мкм | |
| Төп яссылык ориентациясе | C-яссылыгы (00-01) +/- 0.2° | |
| Бер яклы ялтыратылган | Алгы өслек | Эпи-полишланган, Ra < 0,2 нм (AFM буенча) |
| (SSP) | Арткы өслек | Вак җир, Ra = 0,8 мкм - 1,2 мкм |
| Ике яклы ялтыратылган | Алгы өслек | Эпи-полишланган, Ra < 0,2 нм (AFM буенча) |
| (DSP) | Арткы өслек | Эпи-полишланган, Ra < 0,2 нм (AFM буенча) |
| TTV | < 20 мкм | |
| БӘЙ | < 20 мкм | |
| ВАРАФ | < 20 мкм | |
| Чистарту / Төргәкләү | 100 нче класслы чиста бүлмәләрне чистарту һәм вакуум төргәкләү, | |
| Бер кассета төргәгендә яки бер кисәкле төргәктә 25 данә. | ||
Килопулос ысулы (KY ысулы) хәзерге вакытта Кытайның күп компанияләре тарафыннан электроника һәм оптика тармакларында куллану өчен сапфир кристаллары җитештерү өчен кулланыла.
Бу процесс барышында югары сафлыктагы алюминий оксиды 2100 градус Цельсийдан югарырак температурада тигельдә эретелә. Гадәттә тигель вольфрам яки молибденнан ясала. Төгәл юнәлтелгән орлык кристалы эретелгән алюминий оксидына чумдырыла. Орлык кристалы әкрен генә өскә тартыла һәм бер үк вакытта әйләндерелергә мөмкин. Температура градиентын, тарту тизлеген һәм суыту тизлеген төгәл контрольдә тотып, эретмәдән зур, монокристалллы, диярлек цилиндрик коелма җитештерергә мөмкин.
Монокристалл сапфир коелмалары үстерелгәннән соң, алар цилиндрик стерженьнарга бораулана, аннары алар кирәкле тәрәзә калынлыгына киселә һәм, ниһаять, кирәкле өслек бизәлешен алганчы ялтыратыла.
җентекле схема





