4 дюймлы SiC Wafers 6H Ярым изоляцион SiC субстратлары премьер, тикшеренүләр, думи класс

Кыска тасвирлау:

Ярым изоляцияләнгән кремний карбид субстратлары ярым изоляцияләнгән кремний карбид кристаллының үсүеннән соң кисү, тарту, парлау, чистарту һәм башка эшкәртү технологияләре ярдәмендә барлыкка килә. Эпитакси кебек сыйфат таләпләренә туры килгән субстратта катлам яки күпкатлы кристалл катламы үстерелә, аннары микродулкынлы RF җайланмасы схема дизайны һәм пакетны берләштереп ясала. 2инч 3инч 4инч 6инч 8 дюймлы сәнәгать, тикшеренү һәм сынау класслы ярым изоляцияләнгән кремний карбид бер кристалл субстратлары бар.

Безгә электрон почта җибәрегез

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

Продукция спецификасы

Сыйфат			Нуль MPD җитештерү дәрәҗәсе (Z класс)			Стандарт җитештерү дәрәҗәсе (П класс)		Dummy Grade (D Grade)
Диаметр			99,5 мм ~ 100,0 мм
	4H-SI		500 μm ± 20 μm			500 μm ± 25 μm
Вафер юнәлеше			Очкыч күчәре: 4H-N өчен 4.0 ° <1120> ± 0,5 °, күчәрендә: <0001> ± 0,5 ° 4H-SI өчен
	4H-SI		C1см^-2			≤5 см^-2		≤15 см^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω · см					≥1E5 Ω · см
Беренчел фатир юнәлеше		{10-10} .0 5.0 °
Беренчел фатир озынлыгы		32,5 мм ± 2,0 мм
Икенчел фатир озынлыгы		18,0 мм ± 2,0 мм
Икенчел фатир юнәлеше		Кремний йөзе: 90 ° CW. Премьер фатирыннан .0 5.0 °
Кыр читен чыгару		3 мм
LTV / TTV / Bow / Warp		≤3 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm						≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm
Тупаслык			С йөзе				Поляк		Ra≤1 nm
			Si йөз	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Highгары интенсивлык яктылыгы аркасында кыр ярыклары		Беркем дә юк						Кумулятив озынлыгы ≤ 10 мм, бер озынлыгы≤2 мм
Heгары интенсивлык яктылыгы белән алты тәлинкәләр		Кумулятив мәйдан ≤0.05%						Кумулятив мәйдан ≤0.1%
Polгары интенсивлык яктылыгында политип өлкәләре		Беркем дә юк						Кумулятив мәйдан ≤3%
Визуаль углерод кертүләре		Кумулятив мәйдан ≤0.05%						Кумулятив мәйдан ≤3%
Highгары интенсивлык яктылыгы белән кремний өслеге сызыклары		Беркем дә юк						Кумулятив озынлык≤1 ＊ вафер диаметры
Кыр чиплары интенсивлык яктылыгы белән		None0.2 мм киңлек һәм тирәнлек рөхсәт ителмәгән						5 рөхсәт, һәрберсе ≤1 мм
Кремний өслеген югары интенсивлык белән пычрату		Беркем дә юк
Пакетлау		Күп ваферлы кассета яки бер вафер контейнер