4 дюймлы SiC пластиналары 6H ярымизоляцияле SiC субстратлары, төп, тикшеренү һәм макет сыйфаты

Кыскача тасвирлама:

Ярым изоляцияләнгән кремний карбиды субстраты ярым изоляцияләнгән кремний карбиды кристалын үстергәннән соң кисү, тарту, ялтырату, чистарту һәм башка эшкәртү технологияләре ярдәмендә формалаштырыла. Эпитаксия буларак сыйфат таләпләренә туры килә торган субстратта катлам яки күп катламлы кристалл катламы үстерелә, аннары схема дизайны һәм төргәген берләштереп, микродулкынлы радиоешлык җайланмасы ясала. 2 дюймлы 3 дюймлы 4 дюймлы 6 дюймлы 8 дюймлы сәнәгать, тикшеренү һәм сынау классындагы ярым изоляцияләнгән кремний карбиды монокристалл субстратлары буларак бар.

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

Продукция спецификациясе

Дәрәҗә			Нуль MPD җитештерү дәрәҗәсе (Z дәрәҗәсе)			Стандарт җитештерү дәрәҗәсе (P дәрәҗәсе)		Ялган дәрәҗә (D дәрәҗәсе)
Диаметр			99,5 мм ~ 100,0 мм
	4H-SI		500 мкм±20 мкм			500 мкм±25 мкм
Вафли юнәлеше			Күчтән читтә: 4H-N өчен <1120 > ±0.5° юнәлешендә 4.0°, Күчтә: 4H-SI өчен <0001>±0.5°
	4H-SI		≤1 см^-2			≤5 см^-2		≤15 см^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·см					≥1E5 Ω·см
Төп яссылык ориентациясе		{10-10} ±5.0°
Башлангыч яссы озынлык		32,5 мм±2,0 мм
Икенчел яссы озынлык		18,0 мм±2,0 мм
Икенчел яссы ориентация		Кремний өске якта: Prime яссылыгыннан ±5.0° 90° CW.
Кыр чикләрен чыгару		3 мм
LTV/TTV/Bow /Warp		≤3 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm						≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm
Тупаслык			C йөзе				Полякча		Ra≤1 нм
			Си йөзе	CMP	Ra≤0.2 нм					Ra≤0,5 нм
Югары интенсивлыклы яктылык белән кырый ярылулары		Юк						Кумулятив озынлык ≤ 10 мм, бер озынлыгы ≤2 мм
Югары интенсивлыклы яктылык ярдәмендә алты почмаклы пластиналар		Тупланган мәйдан ≤0,05%						Тупланган мәйдан ≤0.1%
Югары интенсивлыклы яктылык ярдәмендә политип зоналары		Юк						Кумулятив мәйдан ≤3%
Күзгә күренеп ясалган углерод кушылмалары		Тупланган мәйдан ≤0,05%						Тупланган мәйдан ≤3%
Югары интенсивлы яктылык белән кремний өслегендәге сызыклар		Юк						Кумулятив озынлык ≤1 * пластина диаметры
Чиплар югары интенсивлыклы яктылык белән		Киңлеге һәм тирәнлеге ≥0,2 мм булырга тиеш түгел						5 рөхсәт ителә, һәрберсе ≤1 мм
Кремний өслегенең югары интенсивлык белән пычрануы		Юк
Упаковка		Күп вафлилы кассета яки бер вафлилы савыт