4инч 6инч Литий ниобат бер кристалл фильм LNOI ваферы
LNOI материалларын әзерләү процессы, нигездә, түбәндәге дүрт адымга бүленә
)
(2) Ион имплантацияләнгән литий ниобат материалы кремний субстратына оксид катламы белән бәйләнгән, бәйләү структурасын формалаштыра;
(3) Ул ион имплантациясе кертелгән җитешсезлекләрне эволюцияләү һәм ярыклар барлыкка китерү өчен бәйләү структурасы яндырылды. Ниһаять, литий ниобат җитешсезлек катламы буенча аерылып, калдыклы литий ниобат кисәкләрен һәм LNOI ваферларын барлыкка китерде.
LNOI ваферының кушымталары һәм өстенлекләре
1 - Литий ниобат пиезоэлектрик фильмнар (LNOI) югары пиезоэлектрик коэффициентына һәм диэлектрик тотрыклыга ия, алар механик энергияне электр энергиясенә яки электр энергиясен механик энергиягә әйләндерә ала. Шуңа күрә ул сенсорлар өлкәсендә киң кулланыла, мәсәлән, басым сенсорлары, тизләнеш сенсорлары, температура сенсорлары һ.б. Моннан тыш, литий ниобат пиезоэлектрик пленка шулай ук акустик җайланмаларда һәм тибрәнү җайланмаларында кулланылырга мөмкин, мәсәлән, пиезоэлектрик керамик трансдуктер комплексы пиезоэлектрик керамик фильтр.
2-Литий ниобат пиезоэлектрик пленкасының тотрыклылыгы да аның өстенлекләренең берсе. Аның кристалл структурасы тотрыклылыгы һәм химик инерция аркасында литий ниобат пиезоэлектрик пленка югары температурада, югары дымлылыкта, көчле кислотада, көчле алкалы һәм башка каты шартларда коррозиягә каршы тору һәм ныклык белән эшли ала.
3-Литий ниобат пиезоэлектрик фильм - искиткеч җитештерүчәнлек һәм тотрыклылык белән яңа пиезоэлектрик материал, һәм куллану перспективасы зур. Фән һәм технологиянең өзлексез үсеше белән, литий ниобат пиезоэлектрик фильм күбрәк шәһәрләрдә кулланылачак, бу кешеләр тормышына уңайлыклар һәм яңалыклар китерәчәк.