MOS яки SBD җитештерү тикшеренүләре һәм макет сорты өчен 6 дюймлы 150 мм кремний карбиды SiC пластиналары 4H-N тибында
Кушымта кырлары
6 дюймлы кремний карбидыннан ясалган монокристалл субстрат күп тармакларда мөһим роль уйный. Беренчедән, ул ярымүткәргечләр сәнәгатендә көч транзисторлары, интеграль схемалар һәм көч модульләре кебек югары куәтле электрон җайланмалар җитештерү өчен киң кулланыла. Аның югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм югары температурага чыдамлыгы җылылыкны яхшырак таратуга мөмкинлек бирә, нәтиҗәдә нәтиҗәлелек һәм ышанычлылык арта. Икенчедән, кремний карбид пластиналары яңа материаллар һәм җайланмалар эшләү өчен тикшеренү өлкәләрендә бик мөһим. Моннан тыш, кремний карбид пластинасы оптоэлектроника өлкәсендә, шул исәптән светодиодлар һәм лазер диодлары җитештерүдә киң кулланыла.
Продукциянең спецификацияләре
6 дюймлы кремний карбидыннан ясалган монокристалл субстратның диаметры 6 дюйм (якынча 152,4 мм). Өслекнең тигезсезлеге Ra < 0,5 нм, ә калынлыгы 600 ± 25 мкм. Субстратны, клиент таләпләренә нигезләнеп, N-типтагы яки P-типтагы үткәрүчәнлек белән көйләргә мөмкин. Моннан тыш, ул гаҗәеп механик тотрыклылык күрсәтә, басымга һәм тибрәнүләргә чыдам.
| Диаметр | 150±2.0 мм (6 дюйм) | ||||
| Калынлыгы | 350 мкм±25 мкм | ||||
| Ориентация | Күчтә: <0001>±0.5° | Күчтән читтә: 1120±0.5° юнәлешендә 4.0° | |||
| Политип | 4H | ||||
| Каршылык (Ω·см) | 4H-N | 0.015 ~ 0.028 Ω · см / 0.015 ~ 0.025охм · см | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Төп яссы ориентация | {10-10}±5.0° | ||||
| Беренчел яссы озынлык (мм) | 47,5 мм±2,5 мм | ||||
| Кырый | фаска | ||||
| TTV/Bow /Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM алгы өлеше (Si-face) | Полякча Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0.5 нм | |||||
| LTV | ≤3μm (10мм * 10мм) | ≤5μm (10мм * 10мм) | ≤10μm (10мм * 10мм) | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ||
| Әфлисун кабыгы/чукраклар/ярыклар/пычрану/таплар/сызыклар | Юк | Юк | Юк | ||
| эчтән киселгән урыннар | Юк | Юк | Юк | ||
6 дюймлы кремний карбиды монокристалл субстраты - ярымүткәргечләрдә, тикшеренүләрдә, һәм оптоэлектроника тармакларында киң кулланыла торган югары сыйфатлы материал. Ул җылылык үткәрүчәнлеге, механик тотрыклылык һәм югары температурага чыдамлык күрсәтә, бу аны югары куәтле электрон җайланмалар җитештерү һәм яңа материаллар тикшеренүләре өчен яраклы итә. Без төрле клиентларның ихтыяҗларын канәгатьләндерү өчен төрле спецификацияләр һәм көйләү вариантлары тәкъдим итәбез.Кремний карбид пластиналары турында тулырак мәгълүмат алу өчен безнең белән элемтәгә керегез!
җентекле схема
