6 дюймлы N-типтагы яки P-типтагы силикон пластинасы CZ Si пластинасы
Вафли тартмасын тәкъдим итү
Кремний пластинасының техник характеристикалары:
6 дюймлы кремний пластинасы үсеше: CZ, MCZ, FZ.
6 Кремний пластинасы дәрәҗәсе: Прайм, Тест, Манекен һ.б.
6 дюймлы силикон пластина диаметры: 6 дюйм/150 мм.
6 дюймлы силикон пластина калынлыгы: 200 ~ 3000 мкм.
6 дюймлы силикон пластинасы. Эшкәртү: киселгән, капланган, уеп ясалган, SSP, DSP һ.б.
6 дюймлы кремний пластинасы ориентациясе: (100) (111) (110) (531) (553) һ.б.
6 дюймлы силикон пластинасы. Кисү: 4 градуска кадәр.
6 дюймлы кремний пластинасы төре/кошылма: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Эчке.
6 дюймлы кремний пластинасы Каршылык: CZ/MCZ: 0,001 дән 1000 ом-см га кадәр. FZ: 20к ом-см га кадәр.
6 дюймлы кремний пластинасы. Нечкә пленкалар: (а) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. һ.б., Каплау калынлыгы 20.000A/5% кадәр.
(b) LPCVD/PECVD: Оксид, Нитрид, SiC һ.б., Каплау калынлыгы 200.000A/3% кадәр.
(c) Кремний эпитаксиаль пластиналар һәм эпитаксиаль хезмәтләр (SOS, GaN, GOI һ.б.).
6 дюймлы кремний пластинасы. Эш процесслары: a.DSP, ультра нечкә, ультра яссы һ.б.
b.Киметү, арткы өлешне тарту, ваклап турау һ.б.c. MEMS.
2010 елдан бирле Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd компаниясе клиентларына 4 дюймлы кремний пластиналы комплекслы чишелешләр тәкъдим итәргә омтыла, шул исәптән тигез пластиналы Dummy Wafer, тест дәрәҗәсе пластиналы Test Wafer, продукт дәрәҗәсе Prime Wafer пластиналы, шулай ук махсус пластиналы оксид пластиналы Oxide, нитрид Si3N4 пластиналы, алюминий белән капланган пластиналы, бакыр белән капланган кремний пластиналы, SOI пластиналы, MEMS Glass, шәхсиләштерелгән ультра калын һәм ультра яссы пластиналы һ.б., зурлыгы 50 мм-300 мм га кадәр, һәм без ярымүткәргеч пластиналарны бер яклы/ике яклы ялтырату, сирәкләү, турау, MEMS һәм башка эшкәртү һәм шәхсиләштерү хезмәтләре белән тәэмин итә алабыз.
җентекле схема







