8 дюймлы SiC җитештерү класслы пластина 4H-N SiC субстраты
Түбәндәге таблицада безнең 8 дюймлы SiC пластиналарының характеристикалары күрсәтелгән:
| 8 дюймлы N-типтагы SiC DSP спецификацияләре | |||||
| Сан | Әйбер | Берәмлек | Җитештерү | Тикшеренүләр | Макет |
| 1: параметрлар | |||||
| 1.1 | политип | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | өслек юнәлеше | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Электр параметры | |||||
| 2.1 | кушылма | -- | n-типтагы азот | n-типтагы азот | n-типтагы азот |
| 2.2 | каршылык | Ом ·см | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Механик параметр | |||||
| 3.1 | диаметр | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | калынлык | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Кисәк юнәлеше | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Уен тирәнлеге | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | мкм | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤10(10мм*10мм) |
| 3.6 | TTV | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Баш | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Варп | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Структура | |||||
| 4.1 | микроторба тыгызлыгы | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | металл эчтәлеге | атомнар/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Алгы сыйфат | |||||
| 5.1 | алгы як | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | өслек бизәлеше | -- | Si-йөзле CMP | Si-йөзле CMP | Si-йөзле CMP |
| 5.3 | кисәкчә | вафли | ≤100 (зурлыгы ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | тырнау | вафли | ≤5, Гомуми озынлыгы ≤200 мм | NA | NA |
| 5.5 | Кырый ватыклар/чуктырыклар/ярыклар/таплар/пычрану | -- | Юк | Юк | NA |
| 5.6 | Политип зоналары | -- | Юк | Мәйдан ≤10% | Мәйдан ≤30% |
| 5.7 | алгы билге | -- | Юк | Юк | Юк |
| 6: Арткы сыйфат | |||||
| 6.1 | арткы бизәк | -- | C-йөзле MP | C-йөзле MP | C-йөзле MP |
| 6.2 | тырнау | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Арка кимчелекләренең кырые чиплар/чигенүләр | -- | Юк | Юк | NA |
| 6.4 | Арканың тигезсезлеге | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Арткы билге | -- | Уклык | Уклык | Уклык |
| 7: кырый | |||||
| 7.1 | кырый | -- | фаска | фаска | фаска |
| 8: Пакет | |||||
| 8.1 | төргәкләү | -- | Вакуум белән Epi-ready төргәкләү | Вакуум белән Epi-ready төргәкләү | Вакуум белән Epi-ready төргәкләү |
| 8.2 | төргәкләү | -- | Күп катлы пластина кассета төргәге | Күп катлы пластина кассета төргәге | Күп катлы пластина кассета төргәге |
җентекле схема
Бәйле продуктлар
Хәбәрегезне монда языгыз һәм безгә җибәрегез