8inch SiC җитештерү дәрәҗәсе 4H-N SiC субстрат

8inch SiC җитештерү класслы вафер 4H-N SiC субстрат үзенчәлекле рәсем

Кыска тасвирлау:

8 дюймлы SiC субстратлары көчле MOSFETлар (металл оксиды ярымүткәргеч кыр эффект транзисторлары), Шоттки диодлары һәм башка ярымүткәргеч җайланмалар кебек югары көчле электрон җайланмаларда кулланыла.

Безгә электрон почта җибәрегез

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

Киләсе таблицада безнең 8inch SiC ваферлары күрсәтелә ：

8инч N тибындагы SiC DSP спеклары
Сан	Предмет	Берәмлек	Producитештерү	Тикшеренү	Думи
1: параметрлар
1.1	политип	--	4H	4H	4H
1.2	өслек юнәлеше	°	<11-20> 4 ± 0,5	<11-20> 4 ± 0,5	<11-20> 4 ± 0,5
2: Электр параметры
2.1	допант	--	азот	азот	азот
2.2	каршылык	ох · см	0.015 ~ 0.025	0.01 ~ 0.03	NA
3: Механик параметр
3.1	диаметры	mm	200 ± 0,2	200 ± 0,2	200 ± 0,2
3.2	калынлыгы	μm	500 ± 25	500 ± 25	500 ± 25
3.3	Нечкә юнәлеш	°	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5	[1- 100] ± 5
3.4	Тирәнлек	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
3.5	ЛТВ	μm	≤5 (10 мм * 10 мм)	≤5 (10 мм * 10 мм)	≤10 (10 мм * 10 мм)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bowәя	μm	-25 ~ 25	-45 ~ 45	-65 ~ 65
3.8	Сугыш	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Структура
4.1	микроп тор тыгызлыгы	ea / cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	металл эчтәлеге	атом / см2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea / cm2	≤500	0001000	NA
4.4	BPD	ea / cm2	0002000	0005000	NA
4.5	TED	ea / cm2	0007000	≤10000	NA
5.Фронт сыйфаты
5.1	фронт	--	Si	Si	Si
5.2	өслек бетү	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	кисәкчәләр	ea / wafer	≤100 (size≥0.3μm)	NA	NA
5.4	тырнау	ea / wafer	≤5, гомуми озынлыгы≤200 мм	NA	NA
5.5	Кыр фишкалар / индекслар / ярыклар / таплар / пычрану	--	Беркем дә юк	Беркем дә юк	NA
5.6	Политип өлкәләре	--	Беркем дә юк	Район ≤10%	Район ≤30%
5.7	алгы билгеләр	--	Беркем дә юк	Беркем дә юк	Беркем дә юк
6: Арткы сыйфат
6.1	артка бетү	--	Д-депутат	Д-депутат	Д-депутат
6.2	тырнау	mm	NA	NA	NA
6.3	Арткы җитешсезлекләр кыры фишкалар / индекслар	--	Беркем дә юк	Беркем дә юк	NA
6.4	Арткы тупаслык	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Арткы маркировка	--	Notch	Notch	Notch
7: кыр
7.1	кыр	--	Чамфер	Чамфер	Чамфер
8: Пакет
8.1	төрү	--	Эпи вакуум белән әзер төрү	Эпи вакуум белән әзер төрү	Эпи вакуум белән әзер төрү
8.2	төрү	--	Күп вафер кассета төрү	Күп вафер кассета төрү	Күп вафер кассета төрү