Dia300x1.0mmt Калынлык Сапфир Ваферы C-План SSP / DSP
Вафер тартмасы белән таныштыру
Бәллүр материаллар | Al2O3ның 99,999%, югары чисталык, монокристалл, Al2O3 | |||
Бәллүр сыйфат | Керүләр, блок билгеләре, игезәкләр, төс, микро-күбекләр һәм таралу үзәкләре юк | |||
Диаметр | 2инч | 3инч | 4инч | 6инч ~ 12инч |
50,8 ± 0,1 мм | 76,2 ± 0,2 мм | 100 ± 0,3 мм | Стандарт җитештерү нигезләмәләре нигезендә | |
Калынлык | 430 ± 15µм | 550 ± 15µм | 650 ± 20µм | Клиент тарафыннан көйләнә ала |
Ориентация | C- яссылык (0001) М-самолетка (1-100) яки А-самолетка (1 1-2 0) 0,2 ± 0,1 ° /0.3 Febru0.1°, R-яссылык (1-1 0 2), А-яссылык (1 1-2 0), М-яссылык (1-1 0 0), теләсә нинди юнәлеш, теләсә нинди почмак | |||
Беренчел яссы озынлык | 16,0 ± 1 мм | 22,0 ± 1,0 мм | 32,5 ± 1,5 мм | Стандарт җитештерү нигезләмәләре нигезендә |
Беренчел яссы юнәлеш | А-самолет (1 1-2 0) ± 0,2 ° | |||
TTV | ≤10µм | ≤15µм | ≤20µм | ≤30µм |
ЛТВ | ≤10µм | ≤15µм | ≤20µм | ≤30µм |
ТИР | ≤10µм | ≤15µм | ≤20µм | ≤30µм |
Баш | ≤10µм | ≤15µм | ≤20µм | ≤30µм |
Сугыш | ≤10µм | ≤15µм | ≤20µм | ≤30µм |
Алгы бит | Эпи-чистартылган (Ра <0,2нм) |
* Bowәя: Белешмә яссылыгыннан ирекле, кысылмаган ваферның урта өслегенең үзәк ноктасының тайпылышы, анда белешмә яссылыгы тигез өчпочмакның өч почмагы белән билгеләнә.
* Сугыш: югарыда билгеләнгән белешмә яссылыгыннан ирекле, кысылмаган ваферның уртача өслегенең максималь һәм минималь аралары арасындагы аерма.
Киләсе буын ярымүткәргеч җайланмалары һәм эпитаксиаль үсеш өчен югары сыйфатлы продуктлар һәм хезмәтләр:
Flatгары тигезлек дәрәҗәсе (контрольдә тотылган ТТВ, җәя, винт һ.б.)
Qualityгары сыйфатлы чистарту (аз кисәкчәләр пычрануы, түбән металл пычрануы)
Субстрат бораулау, чокырлау, кисү һәм арткы полировка
Чисталык һәм субстрат формасы кебек мәгълүматларны беркетү (өстәмә)
Әгәр дә сапфир субстратларына ихтыяҗыгыз булса, зинһар өчен элемтәгә керергә ирек бирегез :
почта :eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Без сезгә асапка кайтырбыз!