Ике станция квадрат машина монокристалл кремний чыбык эшкәртү 6/8/12 дюйм өслеге яссылыгы Ra≤0.5μm
Equipmentиһаз үзенчәлекләре :
(1) Ике станция синхрон эшкәртү
· Ике тапкыр эффективлык: Бер үк вакытта ике кремний чыбыкны эшкәртү (Ø6 "-12") җитештерүчәнлекне 40% -60% ка арттыра, Симплекс җиһазлары.
· Бәйсез контроль: stationәрбер станция төрле кремний таяк спецификацияләренә яраклашу өчен кисү параметрларын (киеренкелек, туклану тизлеге) мөстәкыйль көйли ала.
2) -гары төгәл кисү
· Ensionлчәмнең төгәллеге: квадрат барның ераклыкка чыдамлыгы ± 0,15 мм, диапазоны ≤0.20 мм.
· Faceир өсте сыйфаты: кырыйның өзелүе <0,5 мм, аннан соң тарту күләмен киметегез.
3) Интеллектуаль контроль
· Адаптив кисү: кремний таяк морфологиясенә реаль вакытта мониторинг, кисү юлын динамик көйләү (мәсәлән, иелгән кремний таягын эшкәртү кебек).
· Мәгълүматны эзләү: MES системасы докингына булышу өчен, һәр кремний таякның эшкәртү параметрларын яздырыгыз.
(4) Аз кулланыла торган бәя
Алмаз чыбык куллану: ≤0.06м / мм (кремний таяк озынлыгы), чыбык диаметры ≤0.30 мм.
· Салкын әйләнеш: Фильтрлау системасы хезмәт срогын озайта һәм калдыклы сыеклыкны утильләштерүне киметә.
Технология һәм үсеш өстенлекләре:
(1) Технологияне оптимизацияләү
- Күп сызыклы кисү: 100-200 бриллиант сызыклары параллель кулланыла, һәм кисү тизлеге ≥40 мм / мин.
- Тырышлыкны контрольдә тоту: чыбык өзелү куркынычын киметү өчен ябык әйләнешне көйләү системасы (± 1N).
2) Сөйләшүне киңәйтү
- Материаль адаптация: P-тип / N тибындагы монокристалл кремнийга булышу, TOPCon, HJT һәм башка югары эффектив батарея кремний чыбыклары белән туры килә.
- Синексик зурлык: кремний таяк озынлыгы 100-950 мм, квадрат таяк ягы 166-233 мм көйләнә.
3) Автоматизацияне яңарту
- Роботны йөкләү һәм бушату: кремний чыбыкларын автоматик йөкләү / бушату, ≤3 минут.
- Интеллектуаль диагностика: Планлаштырылган эш вакытын киметү өчен прогнозлы хезмәт.
(4) Тармак җитәкчелеге
- Вафер ярдәме: square100μm ультра-нечкә кремнийны квадрат таяклар белән эшкәртә ала, фрагментлашу дәрәҗәсе <0,5%.
- Энергия куллануны оптимизацияләү: Кремний чыбыкның берәмлеге өчен энергия куллану 30% ка кими (традицион җиһазларга каршы).
Техник параметрлар :
Параметр исеме | Индекс бәясе |
Эшкәртелгән барлар саны | 2 кисәк / комплект |
Эшкәртү озынлыгы озынлыгы | 100 ~ 950 мм |
Маржа диапазоны | 166 ~ 233 мм |
Кисү тизлеге | ≥40 мм / мин |
Алмаз чыбык тизлеге | 0 ~ 35м / с |
Алмаз диаметры | 0,30 мм яки аннан да азрак |
Сызыклы куллану | 0,06 м / мм яки аннан да азрак |
Бер-берсенә туры килә торган түгәрәк таяк диаметры | Тәмамланган квадрат таякның диаметры + 2 мм, үтеп керү тизлеген тәэмин итегез |
Кырның өзелүен контрольдә тоту | Чимал кыры ≤0.5 мм, чабу юк, өслекнең югары сыйфаты |
Арка озынлыгы бердәмлеге | Проекция диапазоны <1,5 мм, кремний таягын бозудан кала |
Машина үлчәмнәре (бер машина) | 4800 × 3020 × 3660 мм |
Гомуми бәяләнгән көч | 56 кВт |
Equipmentиһазларның үлгән авырлыгы | 12т |
Эшкәртү төгәллеге индексы таблицасы :
Төгәл пункт | Толерантлык диапазоны |
Квадрат бар маржа толерантлыгы | ± 0,15 мм |
Квадрат бар кыры | ≤0.20 мм |
Квадрат таякның һәр ягына почмак | 90 ° ± 0.05 ° |
Квадрат таякның яссылыгы | ≤0.15 мм |
Робот позициянең төгәллеген кабатлый | ± 0.05 мм |
XKH хезмәтләре:
XKH моно-кристалл кремний ике станцияле машиналар өчен тулы цикллы хезмәтләр күрсәтә, шул исәптән җиһазларны көйләү (эре кремний таяклары белән туры килә), процессны эксплуатацияләү (параметрларны оптимизацияләү), оператив күнегүләр һәм сатудан соң ярдәм (төп өлешләр белән тәэмин итү, дистанцион диагностика), клиентларның югары уңышка ирешүен тәэмин итү (> 99%) һәм аз кулланыла торган чыгымнар җитештерү, һәм техник яңартулар (мәсәлән, AI кисү оптимизациясе). Тапшыру вакыты 2-4 ай.
Диаграмма



