Ярымүткәргечләр, фотоника оптикасы өчен югары сыйфатлы эретелгән кварц пластиналары 2″4″6″8″12″

Ярымүткәргечләр, фотоника оптик кушымталары өчен югары сыйфатлы эретелгән кварц пластиналары 2″4″6″8″12″ Күрсәтелгән рәсем

Кыскача тасвирлама:

Эретелгән кварц— шулай ук билгелеЭретелгән кремний оксиды— кремний диоксидының (SiO₂) кристалл булмаган (аморф) формасы. Боросиликаттан яки башка сәнәгать пыялаларыннан аермалы буларак, эретелгән кварц составында катнашмалар яки өстәмәләр юк, алар SiO₂ның химик яктан чиста составын тәкъдим итә. Ул ультрафиолет (УВ) һәм инфракызыл (ИК) спектрлар буенча оптик үткәрүчәнлеге белән дан тота, традицион пыяла материалларыннан өстенрәк.

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

җентекле схема

Эретелгән кремний һәм оптик кварц пыяла пластиналары-2

кушылган_кварц_вафлисы_4 дюймлы_ кушылган_крюминий_вафлисы_

Кварц пыяласына гомуми күзәтү

Кварц пластиналары бүгенге санлы дөньяны алга этәрүче сансыз заманча җайланмаларның нигезен тәшкил итә. Смартфоныгыздагы навигациядән алып 5G база станцияләренең нигезенә кадәр, кварц югары җитештерүчән электроника һәм фотоника өчен кирәкле тотрыклылыкны, сафлыкны һәм төгәллекне тыныч кына тәэмин итә. Гибкий схемаларны хуплау, MEMS сенсорларын эшләтү яки квант исәпләүләре өчен нигез булдыру булсынмы, кварцның уникаль үзенчәлекләре аны төрле тармакларда алыштыргысыз итә.

"Эрелгән кремний" яки "Эрелгән кварц", ул кварцның (SiO2) аморф фазасы. Боросиликат пыяла белән чагыштырганда, эретелгән кремний өстәмәләргә ия түгел; шуңа күрә ул саф формасында, SiO2, була. Эретелгән кремний гадәти пыяла белән чагыштырганда инфракызыл һәм ультрафиолет спектрында югарырак үткәрүчәнлеккә ия. Эретелгән кремний ультрачиста SiO2 эретү һәм кабат катыру юлы белән җитештерелә. Икенче яктан, синтетик эретелгән кремний SiCl4 кебек кремнийга бай химик прекурсорлардан ясала, алар газлаша һәм аннары H2 + O2 атмосферасында оксидлаша. Бу очракта барлыкка килгән SiO2 тузаны субстратта кремнийга эретелә. Эретелгән кремний блоклары пластиналарга киселә, аннары пластиналар ахыр чиктә ялтыратыла.

Эретелгән кремний һәм оптик кварц пыяла пластиналары

Кварц пыяла пластинасының төп үзенчәлекләре һәм өстенлекләре

Бик югары сафлык (≥99.99% SiO2)
Материалларның пычрануын минимальләштерергә тиешле ультра чиста ярымүткәргеч һәм фотоника процесслары өчен идеаль.
Киң җылылык эшләү диапазоны
1100°C тан артык криоген температурада структураның бөтенлеген саклый, кәкреләнмичә яки таркалмыйча.
Күренекле ультрафиолет һәм инфракызыл нурлар үткәрүчәнлеге
Тирән ультрафиолет (DUV) һәм якын инфракызыл (NIR) нурланышларыннан алып оптик ачыклыкка кадәр югары сыйфатлы оптик ачыклык бирә, төгәл оптик кушымталарны хуплый.
Түбән җылылык киңәю коэффициенты
Температура тирбәнешләре вакытында үлчәм тотрыклылыгын арттыра, киеренкелекне киметә һәм процессның ышанычлылыгын яхшырта.
Югары химик каршылык
Күпчелек кислоталарга, селтеләргә һәм эреткечләргә инерт, бу аны химик яктан агрессив мохит өчен бик яхшы яраклы итә.
Өслекнең сыгылмалылыгы
Фотоника һәм MEMS таләпләренә туры килә торган, бер яклы яки ике яклы ялтыратылган, ультра шома бизәкләр белән тәкъдим ителә.

Кварц пыяла пластинасын җитештерү процессы

Эретелгән кварц пластиналары берничә контрольдә тотылган һәм төгәл адымнар ярдәмендә җитештерелә:

Чимал сайлау
Югары сафлыклы табигый кварц яки синтетик SiO₂ чыганакларын сайлау.
Эрү һәм кушылу
Кварцны электр мичләрендә контрольдә тотылган атмосферада якынча 2000°C температурада эретә, бу исә кушылмаларны һәм күбекләрне бетерү өчен кулланыла.
Блок формалаштыру
Эретелгән кремний диоксиды каты блокларга яки коелмаларга суытыла.
Вафли кисү
Коймаларны пластина бланкларына кисү өчен төгәл алмаз яки чыбык пычкылар кулланыла.
Шпатель белән бизәү һәм ялтырату
Ике өслек тә оптик, калынлык һәм тигезсезлек таләпләренә төгәл туры килерлек итеп яссыланган һәм ялтыратылган.
Чистарту һәм тикшерү
Пластиналар ISO 100/1000 класслы чиста бүлмәләрдә чистартыла һәм җитешсезлекләр һәм үлчәм туры килүенә катгый тикшерү үткәрелә.

Кварц пыяла пластинасының үзенчәлекләре

спецификация	берәмлек	4"	6"	8"	10"	12"
Диаметр / зурлык (яки квадрат)	mm	100	150	200	250	300
Толерантлык (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
Калынлыгы	mm	0,10 яки күбрәк	0,30 яки аннан да күбрәк	0,40 яки аннан да күбрәк	0,50 яки аннан да күбрәк	0,50 яки аннан да күбрәк
Беренчел белешмә яссы	mm	32.5	57.5	Ярым-очлыклы	Ярым-очлыклы	Ярым-очлыклы
LTV (5мм×5мм)	мкм	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5
TTV	мкм	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Баш	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Варп	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5мм×5мм) < 0.4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Кырларны түгәрәкләү	mm	SEMI M1.2 стандартына туры килә / IEC62276 стандартына карагыз
Өслек төре		Бер яклы ялтыратылган / Ике яклы ялтыратылган
Ясалган ягы Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Арткы як критерийлары	мкм	гомуми 0.2-0.7 яки шәхсиләштерелгән

Кварц һәм башка үтә күренмәле материаллар

Милек	Кварц пыяласы	Боросиликат пыяла	Сапфир	Стандарт пыяла
Максималь эш температурасы	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Ультрафиолет тапшыру	Бик яхшы (JGS1)	Ярлы	Яхшы	Бик ярлы
Химик каршылык	Бик яхшы	Уртача	Бик яхшы	Ярлы
Сафлык	Бик югары	Түбәннән уртачага кадәр	Югары	Түбән
Җылылык киңәюе	Бик түбән	Уртача	Түбән	Югары
Бәясе	Уртачадан югарыга кадәр	Түбән	Югары	Бик түбән

Кварц пыяла пластинасы турында еш бирелә торган сораулар

1 нче сорау: Эретелгән кварц һәм эретелгән кремний диоксиды арасында нинди аерма бар?
Икесе дә SiO₂ аморф формалары булса да, эретелгән кварц гадәттә табигый кварц чыганакларыннан килеп чыга, ә эретелгән кремний синтетик рәвештә җитештерелә. Функциональ яктан алар охшаш эшчәнлек күрсәтәләр, ләкин эретелгән кремний бераз югарырак сафлыкка һәм бер төрлелеккә ия булырга мөмкин.

2 нче сорау: Эретелгән кварц пластиналарын югары вакуумлы мохиттә кулланырга мөмкинме?
Әйе. Газ чыгару үзлекләре түбән һәм җылылыкка чыдам булу сәбәпле, эретелгән кварц пластиналары вакуум системалары һәм аэрокосмик кушымталар өчен бик яхшы.

3 нче сорау: Бу пластиналар тирән ультрафиолет лазер куллану өчен яраклымы?
Әлбәттә. Эретелгән кварцның югары үткәрүчәнлеге ~185 нм га кадәр, бу аны DUV оптикасы, литография битлекләре һәм эксимер лазер системалары өчен идеаль итә.

4 нче сорау: Сез заказ буенча пластина ясауны хуплыйсызмы?
Әйе. Сезнең куллану таләпләрегезгә нигезләнеп, без диаметр, калынлык, өслек сыйфаты, яссылыклар/уемнар һәм лазер белән бизәү кебек тулы көйләүләрне тәкъдим итәбез.

Безнең турында

XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.

Эшкәртү өчен сапфир вафлисы өчен югары сыйфатлы чимал сапфир субстраты 5