Ярымүткәргеч өчен югары чистартылган кварц ваферлары, фотоника оптик кушымталары 2 ″ 4 ″ 6 ″ 8 ″ 12 ″
Диаграмма
Кварц пыяла турында гомуми күзәтү
Кварц ваферлары бүгенге санлы дөньяны йөртә торган сансыз заманча җайланмаларның таянычы булып торалар. Смартфоныгыздагы навигациядән 5G төп станцияләренең арка сөягенә кадәр, кварц тыныч кына югары җитештерүчән электроника һәм фотоникада кирәк булган тотрыклылыкны, чисталыкны һәм төгәллекне китерә. Эластик схемага булышу, MEMS сенсорларын эшләтеп җибәрү, яки квант исәпләү өчен нигез формалаштыру, кварцның уникаль характеристикалары аны тармакларда алыштыргысыз итә.
"Сакланган Силика" яки "Кутылган Кварц", бу кварцның аморфоз фазасы (SiO2). Боросилик пыяла белән чагыштырганда, кушылган кремнийның өстәмәләре юк; Шуңа күрә ул үзенең саф формасында, SiO2 бар. Сакланган кремний гадәти пыяла белән чагыштырганда инфракызыл һәм ультрафиолет спектрында югарырак тапшыруга ия. Берләштерелгән кремний SiO2 ультрапурасын эретү һәм яңадан ныгыту ярдәмендә җитештерелә. Синтетик кушылган кремний, киресенчә, SiCl4 кебек кремнийга бай химик прекурсорлардан эшләнгән, алар газлаштырылган, аннары H2 + O2 атмосферасында оксидлаштырыла. Бу очракта барлыкка килгән SiO2 тузаны субстраттагы кремнийга кушылган. Берләштерелгән кремний блоклары ваферларга бүленәләр, аннан соң ваферлар ахыр чиктә чистартыла.
Кварц пыяла ваферның төп үзенчәлекләре һәм өстенлекләре
-
Ультра-югары чисталык (≥99.99% SiO2)
Ультра чиста ярымүткәргеч һәм фотоника процесслары өчен идеаль, анда материал пычрануны киметергә кирәк. -
Киң җылылык эш диапазоны
Криогеник температурадан 1100 ° C-га кадәр структур бөтенлекне саклый, бозылмыйча. -
Күренекле УВ һәм ИР тапшыруы
Төгәл оптик кушымталарны хуплап, тирән ультрафиолеттан (DUV) инфра-кызыл (NIR) аша искиткеч оптик ачыклык китерә. -
Түбән җылылык киңәйтү коэффициенты
Температураның үзгәрүендә үлчәмле тотрыклылыкны көчәйтә, стрессны киметә һәм процессның ышанычлылыгын яхшырта. -
Chemicalгары химик каршылык
Күпчелек кислоталарга, эшкәртүләргә, эреткечләргә инерция - аны химик агрессив мохит өчен яраклы итү. -
Faceир өсте бетү
Ультра-шома, бер яклы яки ике яклы бизәлгән бизәкләр, фотоника һәм MEMS таләпләренә туры килә.
Кварц пыяла вафер җитештерү процессы
Берләштерелгән кварц ваферлары контроль һәм төгәл адымнар аша ясала:
-
Чимал сайлау
Highгары чисталыклы табигый кварц яки синтетик SiO₂ чыганакларын сайлау. -
Эретү һәм кушылу
Кварц контроль атмосфера астында электр мичләрендә ~ 2000 ° C температурада эретелә. -
Блок формалаштыру
Эретелгән кремний каты блокларга яки инготларга суытыла. -
Вафер кисү
Төгәл бриллиант яки чыбык пыяла вагон блокларына кисү өчен кулланыла. -
Каплау һәм бизәү
Оптик, калынлык, тупаслык спецификацияләренә туры килер өчен, ике өслек тә тигезләнгән һәм бизәлгән. -
Чистарту һәм тикшерү
Ваферлар ISO класс 100/1000 чистарту бүлмәләрендә чистартыла һәм кимчелекләр һәм үлчәмле туры килү өчен катгый тикшерелә.
Кварц пыяла вафинның үзенчәлекләре
| спек | берәмлек | 4" | 6" | 8" | 10 " | 12 " |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Диаметр / зурлык (яки квадрат) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Толерантлык (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Калынлык | mm | 0.10 яки күбрәк | 0,30 яки күбрәк | 0.40 яки күбрәк | 0.50 яки күбрәк | 0.50 яки күбрәк |
| Беренчел белешмә фатир | mm | 32.5 | 57.5 | Ярым | Ярым | Ярым |
| LTV (5 мм × 5 мм) | μm | <0,5 | <0,5 | <0,5 | <0,5 | <0,5 |
| TTV | μm | <2 | <3 | <3 | <5 | <5 |
| Bowәя | μm | ± 20 | ± 30 | ± 40 | ± 40 | ± 40 |
| Сугыш | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| ПЛТВ (5 мм × 5 мм) <0,4μм | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Кыр әйләнәсе | mm | SEMI M1.2 стандартына туры килә / IEC62276 кара | ||||
| Faceир өсте | Бер ягы бизәлгән / Ике яклы бизәлгән | |||||
| Чистартылган ягы Ра | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Арткы ягы критерийлары | μm | гомуми 0,2-0,7 яки көйләнгән | ||||
Кварц vs. Башка ачык материаллар
| Милек | Кварц пыяла | Боросилик пыяла | Сапфир | Стандарт пыяла |
|---|---|---|---|---|
| Макс Операция Темп | 00 1100 ° C. | ~ 500 ° C. | ~ 2000 ° C. | ~ 200 ° C. |
| УВ тапшыруы | Искиткеч (JGS1) | Ярлы | Яхшы | Бик ярлы |
| Химик каршылык | Яхшы | Урта | Яхшы | Ярлы |
| Чисталык | Бик югары | Түбәндән уртача | Биек | Түбән |
| Rылылык киңәюе | Бик түбән | Урта | Түбән | Биек |
| Бәясе | Уртадан югарыга | Түбән | Биек | Бик түбән |
Кварц пыяла ваферы турында сораулар
1 нче сорау: Берләштерелгән кварц белән кушылган кремний арасында нинди аерма бар?
Икесе дә SiO₂ның аморф формалары булса да, кушылган кварц гадәттә табигый кварц чыганакларыннан килеп чыга, ә кушылган кремний синтетик рәвештә җитештерелә. Функциональ рәвештә, алар охшаш эш тәкъдим итәләр, ләкин кушылган кремний чисталыгы һәм бертөрлелеге бераз югарырак булырга мөмкин.
2 нче сорау: Берләштерелгән кварц ваферларын югары вакуум шартларында кулланып буламы?
Әйе. Аларның түбән үтеп керү характеристикалары һәм югары җылылык каршылыгы аркасында, кушылган кварц вафлары вакуум системалары һәм аэрокосмик кушымталар өчен бик яхшы.
3 нче сорау: Бу ваферлар тирән UV лазер кушымталары өчен яраклымы?
.Ичшиксез. Сакланган кварц ~ 185 нмга кадәр югары үткәргечкә ия, бу DUV оптикасы, литография маскалары һәм экзимер лазер системалары өчен идеаль.
4-нче сорау: Сез вафин ясауны хуплыйсызмы?
Әйе. Сезнең махсус кушымта таләпләренә нигезләнеп, диаметр, калынлык, өслек сыйфаты, фатирлар / чатырлар, лазер паттеринг кертеп, тулы үзенчәлекне тәкъдим итәбез.
Безнең турында
XKH югары технологияле үсештә, махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материаллар җитештерүдә, сатуда махсуслаша. Безнең продукт оптик электроника, кулланучылар электроникасы һәм армиягә хезмәт күрсәтә. Без Сапфир оптик компонентларын, кәрәзле телефон линзаларын, керамика, LT, Кремний Карбид СИС, Кварц һәм ярымүткәргеч кристалл ваферларын тәкъдим итәбез. Оста тәҗрибә һәм заманча җиһазлар белән без югары продуктлы оптоэлектрон материаллар булырга омтылып, стандарт булмаган продукт эшкәртүдә өстенлек итәбез.
