N-типтагы SiC композит субстратлары, диаметры 6 дюйм, югары сыйфатлы монокристалл һәм түбән сыйфатлы субстрат
N-типтагы SiC композит субстратлары Гомуми параметрлар таблицасы
| 项目Әйберләр | 指标Спецификация | 项目Әйберләр | 指标Спецификация |
| 直径Диаметр | 150±0.2 мм | 正 面 (硅 面) 粗 糙 度 Алгы (Si-бит) тупаслыгы | Ra≤0.2нм (5μm*5μm) |
| 晶型Политип | 4H | Читтәге ватыклар, тырналган урыннар, ярыклар (күз белән карау) | Юк |
| 电阻率Каршылык | 0.015-0.025 Ом ·см | 总厚度变化TTV | ≤3 мкм |
| Күчерү катламы калынлыгы | ≥0.4 мкм | 翘曲度Варп | ≤35 мкм |
| 空洞Буш | ≤5ea/пластина (2мм>D>0.5мм) | 总厚度Калынлыгы | 350±25μm |
"N-тип" билгеләмәсе SiC материалларында кулланыла торган легирлау төрен аңлата. Ярымүткәргеч физикасында легирлау ярымүткәргечкә аның электр үзлекләрен үзгәртү өчен махсус рәвештә катнашмалар кертүне үз эченә ала. N-тип легирлау материалга тискәре заряд йөртүче концентрациясен бирә торган ирекле электроннарның артык күп булуын тәэмин итүче элементларны кертә.
N-типтагы SiC композит субстратларының өстенлекләре түбәндәгеләрне үз эченә ала:
1. Югары температурада эшләү: SiC югары җылылык үткәрүчәнлегенә ия һәм югары температураларда эшли ала, бу аны югары куәтле һәм югары ешлыклы электрон кушымталар өчен яраклы итә.
2. Югары ватылу көчәнеше: SiC материаллары югары ватылу көчәнешенә ия, бу аларга электр ватылусыз югары электр кырларына түзәргә мөмкинлек бирә.
3. Химик һәм әйләнә-тирә мохиткә чыдамлык: SiC химик яктан чыдам һәм каты әйләнә-тирә мохит шартларына чыдам, шуңа күрә ул катлаулы кушымталарда куллану өчен яраклы.
4. Энергия югалтуларын киметү: Традицион кремний нигезендәге материаллар белән чагыштырганда, SiC субстратлары энергияне нәтиҗәлерәк үзгәртү мөмкинлеген бирә һәм электрон җайланмаларда энергия югалтуларын киметә.
5. Киң зона: SiC киң зонага ия, бу югарырак температураларда һәм югарырак куәт тыгызлыгында эшли алырлык электрон җайланмалар эшләү мөмкинлеген бирә.
Гомумән алганда, N-типтагы SiC композит субстратлары югары җитештерүчән электрон җайланмалар эшләү өчен зур өстенлекләр бирә, бигрәк тә югары температуралы эшләү, югары куәт тыгызлыгы һәм нәтиҗәле энергия үзгәртү мөһим булган кушымталарда.