Ярымүткәргечле лазер күтәрү җиһазлары
җентекле схема
Лазер күтәрү җиһазлары продуктларына гомуми күзәтү
Ярымүткәргечле лазер күтәрү җиһазы ярымүткәргеч материалларны эшкәртүдә алдынгы коелмаларны сирәкләтү өчен киләсе буын чишелешен тәкъдим итә. Механик тарту, алмаз чыбык кисү яки химик-механик планаризациягә нигезләнгән традицион пластина ысулларыннан аермалы буларак, бу лазер нигезендәге платформа күп күләмле ярымүткәргеч коелмалардан ультра-нечкә катламнарны аеру өчен контактсыз, җимерми торган альтернатива тәкъдим итә.
Галлий нитриды (GaN), кремний карбиды (SiC), сапфир һәм галлий арсениды (GaAs) кебек сынучан һәм югары кыйммәтле материаллар өчен оптимальләштерелгән Semiconductor Laser Lift-Off Equipment кристалл коесыннан турыдан-туры пластина масштаблы пленкаларны төгәл кисү мөмкинлеген бирә. Бу алдынгы технология материал калдыкларын сизелерлек киметә, җитештерүчәнлекне яхшырта һәм субстратның бөтенлеген арттыра - болар барысы да көч электроникасы, радиоешлык системалары, фотоника һәм микродисплейлар өлкәсендәге киләсе буын җайланмалары өчен бик мөһим.
Автоматлаштырылган идарә итүгә, нур формалаштыруга һәм лазер-материал үзара бәйләнешен анализлауга басым ясап, Ярымүткәргеч Лазер Лифт-Офф җиһазы ярымүткәргеч җитештерү эш процессларына шома интеграцияләнерлек итеп эшләнгән, шул ук вакытта фәнни-тикшеренү һәм эшләнмәләрнең сыгылмалылыгын һәм күпләп җитештерү масштаблануын тәэмин итә.
Лазер күтәрү җиһазларының технологиясе һәм эшләү принцибы
Ярымүткәргечле Лазер Лифт-Офф җиһазлары тарафыннан башкарыла торган процесс донор коемасын бер яктан югары энергияле ультрафиолет лазер нуры ярдәмендә нурландырудан башлана. Бу нур билгеле бер эчке тирәнлеккә, гадәттә инженер интерфейс буйлап, нык юнәлтелгән, анда оптик, җылылык яки химик контраст аркасында энергия сеңдерү максимальләштерелә.
Бу энергия сеңдерү катламында локаль җылыту тиз микрошартлауга, газ киңәюенә яки фазаара катламның (мәсәлән, стрессор пленкасы яки корбан оксиды) таркалуына китерә. Бу төгәл контрольдә тотылган бозылу дистәләгән микрометр калынлыктагы өске кристалл катламның нигез коелмасыннан чиста аерылуына китерә.
Ярымүткәргечле лазер күтәрү җиһазы хәрәкәт белән синхронлаштырылган сканерлау башларын, программалаштырыла торган z-күчәр белән идарә итүне һәм реаль вакыт режимындагы рефлектометрияне куллана, һәр импульс энергияне максатлы яссылыкта төгәл җиткерүен тәэмин итә. Җиһаз шулай ук аерылуның шомалыгын арттыру һәм калдык көчәнешне минимальләштерү өчен шартлау режимы яки күп импульслы мөмкинлекләр белән конфигурацияләнергә мөмкин. Иң мөһиме, лазер нуры материал белән физик яктан беркайчан да бәйләнештә булмагач, микроярыклар, бөгелү яки өслек ватылу куркынычы кискен кими.
Бу лазер белән сирәкләндерү ысулын, бигрәк тә субмикронлы TTV (тулы калынлык үзгәрүе) белән ультра яссы, ультра нечкә пластиналар кирәк булган кушымталарда, уен кагыйдәләрен үзгәртә.
Ярымүткәргеч лазер күтәрү җиһазы параметры
| Дулкын озынлыгы | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| Пульс киңлеге | Наносекунд, Пикосекунд, Фемтосекунд |
| Оптик система | Стационар оптик система яки Гальвано-оптик система |
| XY этабы | 500 мм × 500 мм |
| Эшкәртү диапазоны | 160 мм |
| Хәрәкәт тизлеге | Макс. 1000 мм/сек |
| кабатланырлык | ±1 мкм яки аннан кимрәк |
| Абсолют позиция төгәллеге: | ±5 мкм яки аннан кимрәк |
| Вафли зурлыгы | 2–6 дюйм яки шәхси заказ буенча |
| Идарә итү | Windows 10, 11 һәм PLC |
| Электр белән тәэмин итү көчәнеше | AC 200 В ±20 В, бер фазалы, 50/60 кГц |
| Тышкы үлчәмнәр | 2400 мм (киңлек) × 1700 мм (тереңлек) × 2000 мм (биеклек) |
| Авырлык | 1000 кг |
Лазер күтәрү җиһазларының сәнәгать кулланылышы
Ярымүткәргечле лазер күтәрү җиһазлары төрле ярымүткәргеч өлкәләрендә материалларны әзерләү ысулын тиз үзгәртә:
- Лазер күтәрү җиһазларының вертикаль GaN көч җайланмалары
Күпләп җитештерелгән коелмалардан ультра-нечкә GaN-on-GaN пленкаларын аеру вертикаль үткәрүчәнлек архитектурасын һәм кыйммәтле субстратларны кабат куллану мөмкинлеген бирә.
- Шоттки һәм MOSFET җайланмалары өчен SiC пластиналарын нечкәләштерү
Астар яссылыгын саклап калып, җайланма катламы калынлыгын киметә — тиз алыштырыла торган көч электроникасы өчен идеаль.
- Лазер күтәрү җиһазларының сапфир нигезендәге LED һәм дисплей материаллары
Нечкә, термик яктан оптимальләштерелгән микро-LED җитештерүне тәэмин итү өчен җайланма катламнарын сапфир бульоннарыннан нәтиҗәле аерырга мөмкинлек бирә.
- III-V Лазер күтәрү җиһазларының материал инженериясе
Алга киткән оптоэлектрон интеграция өчен GaAs, InP һәм AlGaN катламнарын аеруны җиңеләйтә.
- Нечкә пластиналы интеграль схема һәм сенсор җитештерү
Басым сенсорлары, акселерометрлар яки фотодиодлар өчен юка функциональ катламнар җитештерә, анда күләм җитештерүчәнлек өчен киртә булып тора.
- Сыгылмалы һәм үтә күренмәле электроника
Сыгылмалы дисплейлар, кияргә мөмкин булган схемалар һәм үтә күренмәле акыллы тәрәзәләр өчен яраклы ультра-нечкә субстратлар әзерли.
Бу өлкәләрнең һәрберсендә ярымүткәргеч лазер күтәрү җиһазлары миниатюризацияләү, материалларны кабат куллану һәм процессларны гадиләштерүдә мөһим роль уйный.
Лазер күтәрү җиһазлары турында еш бирелә торган сораулар (FAQ)
1 нче сорау: Ярымүткәргеч лазер күтәрү җиһазын кулланып мин нинди минималь калынлыкка ирешә алам?
A1:Гадәттә, материалга карап, 10–30 микрон арасында була. Бу процесс үзгәртелгән җайланмалар белән нечкәрәк нәтиҗәләргә китерергә мөмкин.
2 нче сорау: Моны бер үк коелмадан берничә пластина кисү өчен кулланып буламы?
A2:Әйе. Күп кенә клиентлар бер күпләп җитештерелгән коелмадан берничә юка катламны серияле рәвештә алу өчен лазер белән күтәрү ысулын кулланалар.
3 нче сорау: Югары куәтле лазер белән эшләү өчен нинди куркынычсызлык чаралары кертелгән?
A3:1 нче класслы корпуслар, блоклау системалары, нурны саклау һәм автоматик сүндерү системалары - болар барысы да стандарт.
4 нче сорау: Бу система бриллиант чыбыклы пычкылар белән бәясе ягыннан ничек чагыштырыла?
A4:Башлангыч капиталь чыгымнар югарырак булырга мөмкин, ләкин лазер ярдәмендә эшкәртү чыгымнары, субстрат зыяны һәм эшкәртүдән соңгы этаплар кискен киметә - озак вакытлы перспективада гомуми милек чыгымнарын (TCO) киметә.
5 нче сорау: Процессны 6 дюймлы яки 8 дюймлы коелмаларга кадәр масштабларга мөмкинме?
A5:Әлбәттә. Платформа тигез нур таралышы һәм зур форматлы хәрәкәт баскычлары белән 12 дюймга кадәр төп катламнарны хуплый.
Безнең турында
XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр өчен хезмәт күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.










