SiC керамик форма кулы / ахыр эффектор - ярымүткәргеч җитештерү өчен алдынгы төгәл эшкәртү

Кыска тасвирлау:

SiC Ceramic Fork Arm, еш керамик ахыр эффекторы дип аталалар, югары җитештерүчән төгәл эшкәртү компоненты, вафер транспорт, тигезләү һәм югары технологияле тармакларда урнашу өчен, аеруча ярымүткәргеч һәм фотоволтаик җитештерү кысаларында. Highгары чисталык кремний карбид керамикасын кулланып эшләнгән бу компонент гаҗәеп механик көчне, ультра түбән җылылык киңәюен, һәм җылылык шокына һәм коррозиягә өстен каршылыкны берләштерә.

Безгә электрон почта җибәрегез

Featuresзенчәлекләр

Диаграмма

Продукциягә күзәтү

Алюминийдан, пасовкасыз корычтан, хәтта кварцтан ясалган традицион эффекторлардан аермалы буларак, SiC керамик ахыр эффекторлары вакуум камераларында, чистарту бүлмәләрендә һәм каты эшкәртү шартларында тиңсез эш тәкъдим итә, аларны киләсе буын вафер роботларының төп өлеше итә. Пычратусыз җитештерүгә ихтыяҗ арту һәм чип җитештерүдә толерантлык белән, керамик ахыр эффекторларны куллану тиз арада тармак стандартына әверелә.

Manufactитештерү принцибы

ЯсалмаSiC керамик ахыр эффекторларыэшне дә, ныклыкны да тәэмин итүче югары төгәллек, югары чисталык процесслары сериясен үз эченә ала. Ике төп процесс гадәттә кулланыла:

Реакция белән бәйләнгән кремний карбид (RB-SiC)

Бу процесста кремний карбид порошогыннан һәм бәйләүчедән ясалган преформа эре температурада (~ 1500 ° C) эретелгән кремний белән кертелә, ул калдыклы углерод белән реакцияләнә, тыгыз, каты SiC-Si композитын барлыкка китерә. Бу ысул искиткеч үлчәмле контроль тәкъдим итә һәм зур күләмле җитештерү өчен чыгымлы.

Басымсыз синтерланган кремний карбид (SSiC)

SSiC ультра-нечкә, югары чисталыклы SiC порошогын бик югары температурада (> 2000 ° C) өстәмәләр яки бәйләүче этап кулланмыйча ясала. Бу якынча 100% тыгызлыктагы продуктка һәм SiC материаллары арасында булган иң югары механик һәм җылылык үзлекләренә китерә. Ультра-критик вафер эшкәртү кушымталары өчен идеаль.

Посттан эшкәртү

Төгәл CNC Machining: Highгары тигезлеккә һәм параллелизмга ирешә.
Faceир өсте бетү: Алмазны бизәү өслекнең тупаслыгын <0,02 ммга кадәр киметә.
Тикшерү: Optәрбер кисәкне тикшерү өчен оптик интерферометрия, CMM һәм җимергеч булмаган тест кулланыла.

Бу адымнар гарантия бирәSiC ахыр эффекторыэзлекле вафер урнаштыру төгәллеген, искиткеч планаритны һәм минималь кисәкчәләр җитештерүне тәэмин итә.

Төп үзенчәлекләр һәм өстенлекләр

Feзенчәлек	Тасвирлау
Ультра-югары каты	Викерс катылыгы> 2500 ВВ, киемгә һәм чипка каршы.
Түбән җылылык киңәюе	CTE ~ 4.5 × 10⁻⁶ / K, җылылык велосипедында үлчәм тотрыклылыгын тәэмин итә.
Химик инерция	HF, HCl, плазма газларына һәм башка коррозив агентларга чыдам.
Искиткеч җылылык шокына каршы тору	Вакуум һәм мич системаларында тиз җылыту / суыту өчен яраклы.
Rгары катгыйлык һәм көч	Озын кантильверлы винт кулларын читкә юнәлтми.
Түбән Чакыру	Ультра югары вакуум (UHV) мохит өчен идеаль.
ISO 1 класс чистарту бүлмәсе әзер	Кисәкчәләрсез эш ваферның бөтенлеген тәэмин итә.

Кушымталар

SiC керамик форма кулы / ахыр эффектор бик төгәллек, чисталык һәм химик каршылык таләп иткән тармакларда киң кулланыла. Төп куллану сценарийларына түбәндәгеләр керә:

Ярымүткәргеч җитештерү

Ваферны йөкләү / бушату (CVD, PVD), эфирлау (RIE, DRIE), чистарту системалары.
FOUP, кассеталар, эшкәртү кораллары арасында роботик вафер ташу.
Rылылык эшкәртү яки аннальлау вакытында югары температурада эшкәртү.

Фотовольтаик күзәнәк җитештерү

Нечкә кремний вафиннарын яки кояш субстратларын автоматлаштырылган линияләрдә нечкә ташу.

Тигез панель дисплей (FPD) индустриясе

OLED / LCD җитештерү мохитендә зур пыяла панельләрне яки субстратларны күчерү.

Катлаулы ярымүткәргеч / MEMS

GaN, SiC, һәм MEMS җитештерү линияләрендә пычрануны контрольдә тоту һәм урнаштыру төгәллеге бик мөһим.

Аның соңгы эффектор роле сизгер операцияләр вакытында кимчелексез, тотрыклы эшләүне тәэмин итүдә аеруча мөһим.

Көйләү мөмкинлекләре

Төрле җиһазларны һәм процесс таләпләрен канәгатьләндерү өчен без киң колачлау тәкъдим итәбез:

Дизайн: Ике озын, күп бармаклы, яисә бүленгән дәрәҗәдәге макетлар.
Вафер размеры: 2 дән 12 гә кадәр ваферлар.
Монтаж интерфейслары: OEM робот куллары белән туры килә.
Калынлык һәм өслек толерантлыгы: Микрон дәрәҗәсендәге яссылык һәм кыр әйләнәсе бар.
Слайдка каршы үзенчәлекләр: Куркынычсыз вагон өчен өстәмә өслек текстуралары яки капламалар.

Eachәрберсекерамик ахыр эффекторминималь корал үзгәртүләре белән төгәл фитнесны тәэмин итү өчен клиентлар белән бергә эшләнгән.

Еш бирелә торган сораулар (Сораулар)

1 нче сорау: Соңгы эффектор кушымтасы өчен SiC кварцтан ничек яхшырак?
А1:Кварц гадәттә аның чисталыгы өчен кулланылса да, аның механик каты булуы җитми һәм йөк яки температура шокы астында өзелергә мөмкин. SiC өстен көч, кием каршылыгы, җылылык тотрыклылыгы тәкъдим итә, эштән туктау һәм вафер зыянын сизелерлек киметә.

2-нче сорау: Бу керамик челтәр кулы барлык робот вафат эшкәртүчеләргә туры киләме?
А2:Әйе, безнең керамик бетү эффекторлары күпчелек эре эшкәртү системалары белән туры килә һәм төгәл инженер рәсемнәре белән сезнең робот модельләрегезгә яраклаштырыла ала.

3-нче сорау: 300 мм ваферны селкетмичә эшли аламы?
А3:.Ичшиксез. SiC-ның югары катгыйлыгы хәтта нечкә, озын vilka кулларына 300 мм ваферны куркынычсыз тотарга мөмкинлек бирә, хәрәкәт вакытында селкенмичә.

4-нче сорау: SiC керамик ахыр эффекторының типик хезмәт вакыты нинди?
А4:Дөрес куллану белән, җылылык һәм механик стресска искиткеч каршылыгы аркасында, SiC ахыр эффекторы традицион кварц яки алюминий модельләренә караганда 5-10 тапкыр озаграк дәвам итә ала.

5 нче сорау: Сез алмаштыру яки тиз прототиплау хезмәтләрен тәкъдим итәсезме?
А5:Әйе, без тиз үрнәк җитештерүне хуплыйбыз һәм CAD рәсемнәренә яки булган җиһазларның кире двигательле өлешләренә нигезләнеп алмаштыру хезмәтләрен тәкъдим итәбез.

Безнең турында

XKH югары технологияле үсештә, махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материаллар җитештерүдә, сатуда махсуслаша. Безнең продукт оптик электроника, кулланучылар электроникасы һәм армиягә хезмәт күрсәтә. Без Сапфир оптик компонентларын, кәрәзле телефон линзаларын, керамика, LT, Кремний Карбид СИС, Кварц һәм ярымүткәргеч кристалл ваферларын тәкъдим итәбез. Оста тәҗрибә һәм заманча җиһазлар белән без югары продуктлы оптоэлектрон материаллар булырга омтылып, стандарт булмаган продукт эшкәртүдә өстенлек итәбез.