Highгары температурага каршы торучы Wafer ташучы өчен SiC керамик подшипкасы
Кремний карбид керамик поднос (SiC подшипка)
Кремний карбид (SiC) материалына нигезләнгән югары җитештерүчән керамик компонент, ярымүткәргеч җитештерү һәм LED җитештерү кебек алдынгы сәнәгать кушымталары өчен эшләнгән. Аның төп функцияләре вафер ташучы булып хезмәт итү, эшкәртү платформасы яки югары температуралы процесс ярдәме, җылылык үткәрүчәнлеген, югары температурага каршы торуны, процессның бердәмлеген һәм продукт җитештерүчәнлеген тәэмин итү өчен химик тотрыклылыкны үз эченә ала.
Төп үзенчәлекләр
1. Термаль күрсәткеч
- Highгары җылылык үткәрүчәнлеге: 140–300 Ватт / м · К, традицион графиттан (85 Вт / м · К) шактый узып, җылылыкның тиз таралу мөмкинлеген бирә һәм җылылык стрессын киметә.
- Түбән җылылык киңәйтү коэффициенты: 4.0 × 10⁻⁶ / ℃ (25-1000 ℃), кремний белән тыгыз туры килә (2,6 × 10⁻⁶ / ℃), җылылык деформациясе куркынычын киметә.
2. Механик үзлекләр
- Stгары көч: Флексур көч ≥320 MPa (20 ℃), кысылуга һәм тәэсиргә чыдам.
- Hardгары катылык: Мох катылыгы 9.5, бриллианттан соң икенче урында, өстен киемгә каршы тору тәкъдим итә.
3. Химик тотрыклылык
- Коррозиягә каршы тору: көчле кислоталарга чыдам (мәсәлән, HF, H₂SO₄), эшкәртү мохите өчен яраклы.
- Магнит булмаган: төгәл инструментларга комачауламас өчен, магнитның эчке сизгерлеге <1 × 10⁻⁶ emu / g.
4. Экстремаль әйләнә-тирә толерантлык
- Temгары температураның ныклыгы: 1600–1900 Long кадәр озак вакытлы эш температурасы; 2200 up кадәр кыска вакытлы каршылык (кислородсыз мохит).
- Rылылык шокына каршы тору: температураның кинәт үзгәрүенә (ΔT> 1000 ℃) ярылмыйча каршы тора.
Кушымталар
| Куллану кыры | Конкрет сценарийлар | Техник кыйммәт |
| Ярымүткәргеч җитештерү | Вафер эфиры (ICP), нечкә пленка (MOCVD), CMP полировкасы | Highгары җылылык үткәрүчәнлеге бердәм температура кырларын тәэмин итә; түбән җылылык киңәюе вафер битен киметә. |
| LED җитештерү | Эпитаксиаль үсеш (мәсәлән, GaN), вафер бәяләү, төрү | Күп типтагы кимчелекләрне баса, LED яктылык эффективлыгын һәм гомер озынлыгын арттыра. |
| Фотовольта сәнәгате | Кремний вафин синтеринг мичләре, PECVD җиһазлары ярдәм итә | Temperatureгары температура һәм җылылык шокына каршы тору җиһазларның гомер озынлыгын озайта. |
| Лазер һәм оптика | Powerгары көчле лазер суыту субстратлары, оптик система ярдәм итә | Highгары җылылык үткәрүчәнлеге оптик компонентларны тотрыклыландырып, тиз җылылык таратырга мөмкинлек бирә. |
| Аналитик кораллар | TGA / DSC үрнәк ияләре | Түбән җылылык сыйдырышлыгы һәм тиз җылылык реакциясе үлчәү төгәллеген яхшырта. |
Өстенлекләр
- Комплекслы күрсәткеч: rылылык үткәрүчәнлеге, көче, коррозиягә каршы торуы алумина һәм кремний нитрид керамикасыннан күпкә артыграк, бик оператив таләпләрне канәгатьләндерә.
- Designиңел дизайн: тыгызлыгы 3,1–3,2 г / см³ (корычның 40%), инерцион йөкне киметү һәм хәрәкәт төгәллеген арттыру.
- Озын гомер һәм ышанычлылык: хезмәт вакыты 1600 at 5 елдан артып китә, эш вакытын киметә һәм оператив чыгымнарны 30% ка киметә.
- Custзләштерү: катлаулы геометрияләрне (мәсәлән, күзәнәк сорау касәләре, күп катламлы подшипниклар) төгәл кушымталар өчен яссылык хата <15 μm белән тәэмин итә.
Техник үзенчәлекләр
| Параметр категориясе | Күрсәткеч |
| Физик үзенчәлекләр | |
| Тыгызлыгы | ≥3.10 г / см³ |
| Флексур көч (20 ℃) | 320-410 MPa |
| Rылылык үткәрүчәнлеге (20 ℃) | 140–300 Вт / (м · К) |
| Rылылык киңәйтү коэффициенты (25-1000 ℃) | 4.0 × 10⁻⁶ / ℃ |
| Химик үзлекләр | |
| Кислота каршылыгы (HF / H₂SO₄) | 24 сәгать чумганнан соң коррозия юк |
| Машина төгәллеге | |
| Тигезлек | ≤15 μm (300 × 300 мм) |
| Faceир өсте тупаслыгы (Ра) | ≤0.4 μm |
XKH хезмәтләре
XKH махсус үсеш, төгәл эшкәртү, катгый сыйфат контроле белән тулы сәнәгать чишелешләрен тәкъдим итә. Гадәттәгечә үсеш өчен, ул югары чисталык (> 99,999%) һәм күзәнәкле (30-50% порозитик) материал чишелешләрен тәкъдим итә, ярымүткәргеч һәм аэрокосмос кебек кушымталар өчен катлаулы геометрияне оптимальләштерү өчен 3D модельләштерү һәм симуляция белән парлаштырылган. Төгәл эшкәртү тәртипкә китерелгән процесс буенча бара: порошок эшкәртү → изостатик / коры басу → 2200 ° C синтеринг → CNC / бриллиант тарту → инспекция, нанометр дәрәҗәсендәге полировка һәм ± 0.01 мм үлчәмле толерантлык. Сыйфат контроле тулы процесс сынауларын (XRD составы, SEM микросруктурасы, 3 балллы бөкләү) һәм техник ярдәм (процесс оптимизациясе, 24/7 консультация, 48 сәгатьлек үрнәк китерү), алдынгы сәнәгать ихтыяҗлары өчен ышанычлы, югары җитештерүчән компонентлар китереп үз эченә ала.
Еш бирелә торган сораулар (Сораулар)
1. С: Кайсы тармакларда кремний карбид керамик савытлары кулланыла?
:: Ярымүткәргеч җитештерүдә (вафер эшкәртү), кояш энергиясе (PECVD процесслары), медицина җиһазлары (МРИ компонентлары), һәм аэрокосмос (югары температуралы өлешләр) бик эссе каршылык һәм химик тотрыклылык аркасында киң кулланыла.
2. С: Кремний карбид кварц / пыяла савытлардан ничек өстен чыга?
:: Higherгары җылылык шокына каршы тору (1800 ° C кадәр, кварцның 1100 ° C), магнит интерфейсы һәм озын гомер озынлыгы (5+ ел, кварцның 6-12 айы).
3. С: Кремний карбид савытлары кислоталы мохит белән эш итә аламы?
К: Әйе. HF, H2SO4, һәм NaOH <0.01 мм коррозия белән чыдам, аларны химик чистарту һәм вафер чистарту өчен идеаль итә.
4. С: Кремний карбид подшипкалары автоматизациягә туры киләме?
К: Әйе. Вакуум алу һәм робот эшкәртү өчен эшләнгән, өслеге яссылыгы <0.01 мм, автоматлаштырылган фабларда кисәкчәләр пычранмасын өчен.
5. С: Традицион материалларга каршы бәяне чагыштыру нәрсә ул?
:: Higherгары күтәрелеш бәясе (3-5х кварц), ләкин озын гомер озынлыгы, эш вакытының кимүе һәм югары җылылык үткәрүчәнлегеннән энергия саклау аркасында 30-50% түбән TCO.
