Кремний карбид керамик поднос соры Кремний карбид керамик торба югары температураны синтеринг заказы белән тәэмин итә
Төп үзенчәлекләр:
1. Кремний карбид керамик поднос
- قاتتىقлык һәм киемгә каршы тору: катылыгы бриллиантка якын, һәм вафер эшкәртүдә механик киемгә озак тора ала.
- malгары җылылык үткәрүчәнлеге һәм түбән җылылык киңәйтү коэффициенты: җылылыкның тиз таралуы һәм үлчәм тотрыклылыгы, җылылык стрессы аркасында деформациядән саклану.
- flatгары яссылык һәм өслек бетүе: surfaceир өслегенең яссылыгы микрон дәрәҗәсенә кадәр, вафер белән диск арасында тулы контактны тәэмин итә, пычрануны һәм зыянны киметә.
Химик тотрыклылык: Ярымүткәргеч җитештерүдә дымны чистарту һәм чистарту процессы өчен яраклы коррозиягә каршы тору.
2. Кремний карбид керамик трубасы
- temperatureгары температурага каршы тору: 1600 ° C-тан югары температурада озак эшләргә мөмкин, ярымүткәргеч югары температура процессы өчен яраклы.
Искиткеч коррозиягә каршы тору: кислоталарга, эшкәртүләргә һәм төрле химик эреткечләргә чыдам, катлаулы процесс шартлары өчен яраклы.
- قاتتىقлык һәм киемгә каршы тору: кисәкчәләр эрозиясенә һәм механик киемгә каршы тору, хезмәт срогын озайту.
- malгары җылылык үткәрүчәнлеге һәм җылылык киңәюенең түбән коэффициенты: җылылыкның тиз үткәрелүе һәм үлчәмле тотрыклылык, җылылык стрессы аркасында деформация яки ярылуны киметү.
Продукция параметры ：
Кремний карбид керамик поднос параметры:
| (Материаль милек) | (Бүлек) | (ssic) | |
| (SiC эчтәлеге) | (Вт)% | > 99 | |
| (Ашлыкның уртача күләме) | микрон | 4-10 | |
| (Тыгызлыгы) | кг / дм3 | > 3.14 | |
| (Күренгән күзәнәк) | Vo1% | <0,5 | |
| (Викерс каты) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| * () Флексур көч * (өч балл) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Кысу көче) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Эластик модуль) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Сынык каты) | MPa / m '% | 3.5 | |
| (Rылылык үткәрүчәнлеге) | 20 ° ºС | W / (m * K) | 160 |
| (Каршылык) | 20 ° ºС | Ohm.cm | 106-108 |
(Rылылык киңәйтү коэффициенты) | a (RT ** ... 80ºC) | К-1 * 10-6 | 4.3 |
(Максималь эш температурасы) | oºC | 1700 | |
Кремний карбид керамик труба параметры:
| Предметлар | Индекс |
| α-СИС | 99% мин |
| Күрәсең | 16% макс |
| Күпчелек тыгызлык | 2.7г / см3 мин |
| Highгары температурада бөкләнү көче | 100 Mpa мин |
| Rылылык киңәю коэффициенты | К-1 4.7х10 -6 |
| Rылылык үткәрүчәнлеге коэффициенты (1400ºC) | 24 Вт / мк |
| Макс. Эш температурасы | 1650ºC |
Төп кушымталар:
1. Кремний карбид керамик тәлинкә
- Вафер кисү һәм бизәү: кисү һәм бизәү вакытында югары төгәллекне һәм тотрыклылыкны тәэмин итү өчен платформа булып хезмәт итә.
- Литография процессы: Вафин литография машинасында урнаштырылган, экспозиция вакытында югары төгәл урнашуны тәэмин итү.
- Химик механик полировка (CMP): бердәм басым һәм җылылык таратуны тәэмин итеп, полосаларны бизәү өчен таяныч мәйданчыгы булып эшли.
2. Кремний карбид керамик трубасы
- temperatureгары температуралы мич трубасы: диффузия миче һәм оксидлашу миче кебек югары температуралы җиһазларда югары температураны эшкәртү өчен вафер йөртү өчен кулланыла.
- CVD / PVD процессы: реакция камерасында тоткыч труба буларак, югары температураларга һәм коррозив газларга чыдам.
- Ярымүткәргеч җиһаз аксессуарлары: җылылык алмаштыргычлар, газүткәргечләр һ.б. өчен, җиһазларның җылылык белән идарә итү эффективлыгын күтәрү өчен.
XKH кремний карбид керамик савытлары, сорау касәләре һәм кремний карбид керамик торбалары өчен махсус хезмәтләрнең тулы спектрын тәкъдим итә. Кремний карбид керамик савытлары һәм сорау касәләре, XKH төрле зурлыктагы, форма һәм өслекнең тупаслыгы клиент таләпләренә туры китереп көйләнә ала, һәм махсус каплауны эшкәртүгә ярдәм итә, киемгә каршы торуны һәм коррозиягә каршы торуны көчәйтә; Кремний карбид керамик трубалары өчен XKH төрле эчке диаметрны, тышкы диаметрны, озынлыкны һәм катлаулы структураны көйли ала (формалы труба яки күзәнәк торба кебек), һәм полировка, антиоксидация каплау һәм өслекне эшкәртү процессларын тәэмин итә ала. XKH клиентларның кремний карбид керамик продуктларының җитештерүчәнлек өстенлекләреннән тулысынча файдалана алуын тәэмин итә, ярымүткәргечләр, подшипниклар һәм фотоволтаика кебек югары җитештерү өлкәләренең таләпләрен канәгатьләндерү өчен.
Диаграмма
