Кремний карбиды керамик тартмасы өчен соргыч, югары температуралы синтезлау өчен махсус эшкәртү.
Төп үзенчәлекләр:
1. Кремний карбиды керамик табак
- Югары катылык һәм тузуга чыдамлык: катылыгы алмазга якын, һәм пластина эшкәртүдә механик тузуга озак вакыт чыдам.
- Югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм түбән җылылык киңәю коэффициенты: тиз җылылык таралуы һәм үлчәм тотрыклылыгы, җылылык киеренкелеге аркасында килеп чыккан деформациядән саклану.
- Югары яссылык һәм өслекнең бизәлеше: Өслекнең яссылыгы микрон дәрәҗәсенә кадәр, пластина һәм диск арасында тулы бәйләнешне тәэмин итә, пычрануны һәм зыянны киметә.
Химик тотрыклылык: көчле коррозиягә чыдам, ярымүткәргечләр җитештерүдә дымлы чистарту һәм гравюралау процесслары өчен яраклы.
2. Кремний карбиды керамик трубкасы
- Югары температурага чыдамлык: Ул 1600°C тан югарырак югары температуралы мохиттә озак вакыт эшли ала, ярымүткәргеч югары температуралы процесс өчен яраклы.
Коррозиягә бик чыдам: кислоталарга, селтеләргә һәм төрле химик эреткечләргә чыдам, каты эшкәртү мохите өчен яраклы.
- Югары катылык һәм тузуга чыдамлык: кисәкчәләр эрозиясенә һәм механик тузуга каршы тора, хезмәт итү вакытын озайта.
- Югары җылылык үткәрүчәнлеге һәм түбән җылылык киңәю коэффициенты: җылылыкны тиз үткәрү һәм үлчәм тотрыклылыгы, җылылык көчәнеше аркасында килеп чыккан деформацияне яки ярылуны киметү.
Продукт параметры:
Кремний карбиды керамик табак параметры:
| (Матди милек) | (Бүлек) | (ssic) | |
| (SiC эчтәлеге) | (Авырлык)% | >99 | |
| (Уртача бөртек зурлыгы) | микрон | 4-10 | |
| (Тыгызлык) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Күренеп торган мәсамәлелек) | Vo1% | <0.5 | |
| (Викерс катылыгы) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() Бөгелү көче* (өч балл) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Кысылу көче) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Эластик модуль) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Сыну чыдамлыгы) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Җылылык үткәрүчәнлеге) | 20°ºC | Вт/(м*К) | 160 |
| (Каршылык) | 20°ºC | Ом.см | 106-108 |
(Җылылык киңәю коэффициенты) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Максималь эш температурасы) | oºC | 1700 | |
Кремний карбиды керамик трубка параметры:
| Әйберләр | Индекс |
| α-SIC | 99% мин |
| Күренмәле порашенлык | макс. 16% |
| Күплек тыгызлыгы | 2,7 г/см3 мин |
| Югары температурада бөгелү көче | 100 Мпа мин |
| Җылылык киңәю коэффициенты | K-1 4.7x10 -6 |
| Җылылык үткәрүчәнлеге коэффициенты (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Максималь эш температурасы | 1650ºC |
Төп кушымталар:
1. Кремний карбиды керамик пластинасы
- Пластинаны кисү һәм ялтырату: кисү һәм ялтырату вакытында югары төгәллек һәм тотрыклылыкны тәэмин итү өчен подшипник платформасы булып хезмәт итә.
- Литография процессы: Экспозиция вакытында югары төгәллекле позицияләүне тәэмин итү өчен пластина литография машинасына беркетелгән.
- Химик механик полировка (ХМП): полировкалау өчен терәк платформасы булып хезмәт итә, басым һәм җылылыкның тигез бүленешен тәэмин итә.
2. Кремний карбиды керамик трубкасы
- Югары температуралы мич торбасы: югары температуралы эшкәртү өчен пластиналарны йөртү өчен диффузия миче һәм оксидлаштыру миче кебек югары температуралы җиһазларда кулланыла.
- CVD/PVD процессы: Реакция камерасында подшипник трубкасы буларак, югары температураларга һәм коррозияле газларга чыдам.
- Ярымүткәргеч җиһазлар өчен аксессуарлар: җылылык алмаштыргычлар, газ торбалары һ.б. өчен, җиһазларның җылылык белән идарә итү нәтиҗәлелеген яхшырту өчен.
XKH кремний карбидлы керамик табалар, суыргычлар һәм кремний карбидлы керамик торбалар өчен тулы хезмәтләр спектрын тәкъдим итә. XKH кремний карбидлы керамик табалар һәм суыргычлар төрле зурлыктагы, формадагы һәм өслек тигезсезлегендәге клиент таләпләренә туры китереп көйләнергә мөмкин, һәм махсус каплау эшкәртүен хуплый, тузуга һәм коррозиягә чыдамлыкны арттыра; Кремний карбидлы керамик торбалар өчен XKH төрле эчке диаметр, тышкы диаметр, озынлык һәм катлаулы структураны (мәсәлән, формалы торба яки күзәнәкле торба) көйли ала, шулай ук полировкалау, антиоксидант каплау һәм башка өслек эшкәртү процессларын тәэмин итә ала. XKH клиентларның ярымүткәргечләр, светодиодлар һәм фотоэлектриклар кебек югары дәрәҗәдәге җитештерү өлкәләренең таләпчән таләпләрен канәгатьләндерү өчен кремний карбидлы керамик продуктларның эшләү өстенлекләреннән тулысынча файдалана алуларын тәэмин итә.
җентекле схема
