SiO₂ Кварц Ваферы Кварц Ваферлары SiO₂ MEMS Температурасы 2 ″ 3 ″ 4 ″ 6 ″ 8 ″ 12 ″
Диаграмма
Кереш сүз
Кварц ваферлары электроника, ярымүткәргеч һәм оптика өлкәләрен үстерүдә алыштыргысыз роль уйныйлар. Сезнең GPS белән идарә итүче смартфоннарда табылган, 5G челтәрен эшләтеп торган югары ешлыклы база станцияләренә урнаштырылган һәм киләсе ген микрочиплар, кварц ваферлары җитештерү коралларына интеграцияләнгән. Бу югары чисталык субстратлары квант исәпләүдән алып алдынгы фотоникага кадәр бар нәрсәдә яңалыклар булдырырга мөмкинлек бирә. Earthирнең иң күп файдалы казылмаларыннан алынган булуына карамастан, кварц ваферлары төгәллек һәм эш башкару гадәттән тыш стандартларына эшләнгән.
Кварц ваферлары нәрсә ул
Кварц ваферлары нечкә, түгәрәк дисклар ультра-саф синтетик кварц кристаллыннан ясалган. 2 дән 12 дюймга кадәр булган стандарт диаметрларда бар, кварц вафлары гадәттә калынлыгы 0,5 мм дан 6 мм га кадәр. Тәртипсез призматик кристалларны барлыкка китерүче табигый кварцлардан аермалы буларак, синтетик кварц катгый контрольдә тотылган лаборатория шартларында үстерелә, бердәм кристалл структуралар җитештерә.
Кварц ваферларының хас кристалллыгы чагыштыргысыз химик каршылык, оптик ачыклык, югары температура һәм механик стресс астында тотрыклылык тәэмин итә. Бу үзенчәлекләр кварц ваферларын мәгълүмат тапшыру, сизү, исәпләү һәм лазер нигезендәге технологияләрдә кулланылган төгәл җайланмалар өчен төп компонент итәләр.
Кварц ваферы спецификасы
| Кварц тибы | 4 | 6 | 8 | 12 |
|---|---|---|---|---|
| Размер | ||||
| Диаметр (дюйм) | 4 | 6 | 8 | 12 |
| Калынлык (мм) | 0.05–2 | 0.25-5 | 0.3-5 | 0.4-5 |
| Диаметр толерантлыгы (дюйм) | ± 0.1 | ± 0.1 | ± 0.1 | ± 0.1 |
| Калынлык толерантлыгы (мм) | Custзенчәлекле | Custзенчәлекле | Custзенчәлекле | Custзенчәлекле |
| Оптик үзлекләр | ||||
| Рекактив индекс @ 365 nm | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 |
| Рекактив индекс @ 546.1 нм | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 |
| Рекактив индекс @ 1014 nm | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 |
| Эчке тапшыру (1250-1650 нм) | > 99,9% | > 99,9% | > 99,9% | > 99,9% |
| Гомуми тапшыру (1250-1650 нм) | > 92% | > 92% | > 92% | > 92% |
| Машина сыйфаты | ||||
| TTV (Калынлыкның гомуми үзгәреше, µm) | <3 | <3 | <3 | <3 |
| Тигезлек (µm) | ≤15 | ≤15 | ≤15 | ≤15 |
| Faceир өсте тупаслыгы (nm) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Әя (µm) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| Физик үзенчәлекләр | ||||
| Тыгызлыгы (г / см³) | 2.20 | 2.20 | 2.20 | 2.20 |
| Яшьләр модуле (GPa) | 74.20 | 74.20 | 74.20 | 74.20 |
| Мох каты | 6-7 | 6-7 | 6-7 | 6-7 |
| Кисү модулусы (GPa) | 31.22 | 31.22 | 31.22 | 31.22 |
| Писсон коэффициенты | 0.17 | 0.17 | 0.17 | 0.17 |
| Компрессив көч (GPa) | 1.13 | 1.13 | 1.13 | 1.13 |
| Керү көче (MPa) | 49 | 49 | 49 | 49 |
| Диэлектрик констант (1 МГц) | 3.75 | 3.75 | 3.75 | 3.75 |
| Rылылык үзенчәлекләре | ||||
| Штурм ноктасы (10¹⁴.⁵ Па) | 1000 ° C. | 1000 ° C. | 1000 ° C. | 1000 ° C. |
| Аннальинг ноктасы (10¹³ Па) | 1160 ° C. | 1160 ° C. | 1160 ° C. | 1160 ° C. |
| Йомшарту ноктасы (10⁷.⁶ Па) | 1620 ° C. | 1620 ° C. | 1620 ° C. | 1620 ° C. |
Кварц Вафер кушымталары
Кварц ваферлары тармаклар буенча кирәкле кушымталарны канәгатьләндерү өчен махсус эшләнгән:
Электроника һәм RF җайланмалары
- Кварц ваферлары кварц кристалл резонаторлары һәм смартфоннар, GPS берәмлекләре, санаклар һәм чыбыксыз элемтә җайланмалары өчен сәгать сигналларын бирүче осиллаторларның үзәге.
- Аларның түбән җылылык киңәюе һәм югары Q-факторы кварц ваферларын югары тотрыклы вакыт схемалары һәм RF фильтрлары өчен камил итә.
Оптоэлектроника һәм имидж
- Кварц вафиннары искиткеч UV һәм IR тапшыруны тәкъдим итә, аларны оптик линзалар, нур бүлүчеләре, лазер тәрәзәләре, детекторлар өчен идеаль итә.
- Аларның нурланышка каршы торуы югары энергия физикасында һәм космик коралларда кулланырга мөмкинлек бирә.
Ярымүткәргеч һәм MEMS
- Кварц ваферлары югары ешлыктагы ярымүткәргеч схемалар өчен субстратлар булып хезмәт итәләр, аеруча GaN һәм RF кушымталарында.
- MEMS (Микро-Электро-Механик Системалар) кварц ваферлары механик сигналларны пиезоэлектрик эффект аша электр сигналына әйләндерәләр, гироскоплар һәм акселерометрлар кебек сенсорларны булдыралар.
Алга киткән җитештерү һәм лабораторияләр
- Purгары чисталыклы кварц вафлары химик, биомедицина һәм фотоник лабораторияләрдә оптик күзәнәкләр, УВ куветлары һәм югары температуралы үрнәк эшкәртү өчен киң кулланыла.
- Аларның экстремаль мохит белән туры килүе аларны плазма камералары һәм чүпләү кораллары өчен яраклы итә.
Кварц ваферлары ничек ясалган
Кварц ваферлары өчен ике төп җитештерү маршруты бар:
Кварц ваферлары
Берләштерелгән кварц ваферлары табигый кварц гранулаларын аморф стаканга эретеп, аннары каты блокны нечкә ваферларга кисеп ясыйлар. Бу кварц ваферлары тәкъдим итә:
- УВ ачыклыгы
- Киң җылылык эш диапазоны (> 1100 ° C)
- Искиткеч җылылык шокына каршы тору
Алар литография җиһазлары, югары температуралы мичләр, оптик тәрәзәләр өчен идеаль, ләкин кристалл тәртибе булмаганлыктан пиезоэлектрик кушымталар өчен яраксыз.
Мәдәниятле Кварц Ваферлары
Мәдәниятле кварц вафиннары синтетик яктан төгәл такталар ориентациясе белән кимчелексез кристалллар чыгару өчен үстерелә. Бу ваферлар кирәкле кушымталар өчен эшләнгән:
- Төгәл киселгән почмаклар (X-, Y-, Z-, AT-кисү һ.б.)
- Highгары ешлыктагы осиляторлар һәм SAW фильтрлары
- Оптик поляризаторлар һәм алдынгы MEMS җайланмалары
Производство процессы автоклавларда орлыклы үсүне үз эченә ала, аннары кисү, ориентация, аннальлау һәм бизәү.
Әйдәп баручы Кварц Ваферы
Highгары төгәл кварц ваферларында махсуслашкан глобаль тәэмин итүчеләр:
- Герей(Германия) - кушылган һәм синтетик кварц
- Шин-Эцу Кварц(Япония) - югары чисталыклы вафер чишелешләре
- WaferPro(АКШ) - киң диаметрлы кварц ваферлары һәм субстратлар
- Корт Кристалле(Германия) - синтетик кристалл ваферлар
Кварц ваферларының үсеш роле
Кварц ваферлары барлыкка килүче технология ландшафтында мөһим компонентлар булып үсешен дәвам итәләр:
- Миниатюризация- Кварц ваферлары компакт җайланма интеграциясе өчен катырак толерантлык белән эшләнәләр.
- Freгары ешлыклы электроника- Яңа кварц вафер дизайннары 6W һәм радар өчен mmWave һәм THz доменнарына этәрәләр.
- Киләсе Ген Сенсинг- Автоном автомобильләрдән IoT сәнәгатенә кадәр, кварц нигезендәге сенсорлар мөһимрәк булып китәләр.
Кварц ваферлары турында еш бирелә торган сораулар
1. Кварц ваферы нәрсә ул?
Кварц ваферы - кристалл кремний диоксидыннан (SiO₂) ясалган нечкә, яссы диск, гадәттә стандарт ярымүткәргеч зурлыкларда җитештерелә (мәсәлән, 2 ", 3", 4 ", 6", 8 ", яки 12"). Highгары чисталыгы, җылылык тотрыклылыгы, оптик ачыклыгы белән билгеле булган кварц вафаты субстрат яки ташучы буларак ярымүткәргеч эшкәртү, MEMS җайланмалары, оптик системалар, вакуум процесслары кебек кулланыла.
2. Кварц белән кремний гел арасында нинди аерма бар?
Кварц - кремний диоксидның кристалл каты формасы (SiO₂), кремний гел - аморф һәм күзәнәкле SiO₂ формасы, гадәттә дымны үзләштерү өчен десикант буларак кулланыла.
- Кварц каты, ачык һәм электрон, оптик һәм сәнәгать кушымталарында кулланыла.
- Силикат гели кечкенә бөртекләр яки гранулалар булып күренә һәм беренче чиратта, упаковка, электроника һәм саклауда дымны контрольдә тоту өчен кулланыла.
3. Кварц кристаллары нәрсә өчен кулланыла?
Кварц кристаллары пиезоэлектрик үзлекләре аркасында электроника һәм оптикада киң кулланыла (алар механик стресс астында электр корылмасы ясыйлар). Гомуми кушымталар:
- Осиляторлар һәм ешлык белән идарә итү(мәсәлән, кварц сәгатьләре, сәгатьләр, микроконтрольлар)
- Оптик компонентлар(мәсәлән, линзалар, дулкын такталары, тәрәзәләр)
- Резонаторлар һәм фильтрларRF һәм элемтә җайланмаларында
- Сенсорларбасым, тизләнеш яки көч өчен
- Ярымүткәргеч эшкәртүсубстратлар яки эшкәртү тәрәзәләре
4. Ни өчен кварц микрочипларда кулланыла?
Кварц микрочип белән бәйле кушымталарда кулланыла, чөнки ул тәкъдим итә:
- Rылылык тотрыклылыгыдиффузия һәм аннальинг кебек югары температуралы процесслар вакытында
- Электр изоляцияседиэлектрик үзлекләре аркасында
- Химик каршылыкярымүткәргеч эшкәртүдә кулланылган кислоталарга һәм эреткечләргә
- Ensionлчәм төгәллегеһәм ышанычлы литографик тигезләү өчен түбән җылылык киңәюе
- Кварц үзе ярымүткәргеч материал буларак кулланылмаса да (кремний кебек), ул ясалма мохиттә, аеруча мичләрдә, палаталарда, фотомаск субстратларында мөһим роль уйный.
Безнең турында
XKH югары технологияле үсештә, махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материаллар җитештерүдә, сатуда махсуслаша. Безнең продукт оптик электроника, кулланучылар электроникасы һәм армиягә хезмәт күрсәтә. Без Сапфир оптик компонентларын, кәрәзле телефон линзаларын, керамика, LT, Кремний Карбид СИС, Кварц һәм ярымүткәргеч кристалл ваферларын тәкъдим итәбез. Оста тәҗрибә һәм заманча җиһазлар белән без югары продуктлы оптоэлектрон материаллар булырга омтылып, стандарт булмаган продукт эшкәртүдә өстенлек итәбез.
