Титан белән кушылган сапфир кристаллы лазер таякчыкларының өслек эшкәртү ысулы

Титан асылташ кристаллары Ti:Al2O3 (легирлау концентрациясе 0,35 авырлык% Ti2O3), аларның кристалл бланклары әлеге уйлап табуның титан асылташ кристалл лазер таякчыгы өслеген эшкәртү ысулының процесс схемасына туры килә. Әлеге уйлап табуның титан асылташ кристалл лазер таякчыгы өслеген эшкәртү ысулының конкрет әзерләү адымнары түбәндәгечә:

<1> Юнәлеш кисү: титан асылташ кристалы башта ориентацияләнә, аннары әзер лазер таякчыгы зурлыгына туры китереп, якынча 0,4 - 0,6 мм эшкәртү мөмкинлеге калдырып, тетрагональ багана формасындагы бушлыкка киселә.

<2>Баганаларны тупас һәм вак итеп тарту: Багана бушлыгы тупас тарту станогында 120~180# кремний карбиды яки бор карбиды абразивлары белән тетрагональ яки цилиндрик кисемтәгә тартыла, конус һәм түгәрәкләнү хатасы ±0,01 мм.

<3> Оч өслеген эшкәртү: титан ташлы лазер тактасы ике оч өслеген бер-бер артлы эшкәртү, корыч дискта W40, W20, W10 бор карбиды белән тарту оч өслеге. Тарту процессында оч өслегенең вертикальлеген үлчәүгә игътибар итәргә кирәк.

<4> Химик-механик полировка: химик-механик полировка - полировкалау мәйданчыгындагы кристалларны алдан әзерләнгән химик гравировка эремәсе тамчылары белән полировкалау процессы. Эшкәртелгән кисәкне һәм полировкалау мәйданчыгын чагыштырма хәрәкәт һәм ышкылу өчен полировкалау, ә тикшеренү шламында химик гравировкалау матдәсе (полировкалау сыекчасы дип атала) кулланыла.

<5> Кислота белән эшкәртү: Титан асылташ таякчыклары югарыда тасвирланганча полировкаланганнан соң, 100-400°C температурада H2SO4:H3PO4 = 3:1 (v/v) катнашмасына салына һәм 5-30 минут дәвамында кислота белән эшкәртүгә алына. Максат - лазер таякчыклары өслегендәге механик өслек зыяны нәтиҗәсендә барлыкка килгән полировка процессын бетерү һәм төрле тапларны бетерү, шуның белән чиста өслекнең атом дәрәҗәсендәге шома һәм яссы, челтәр бөтенлегенә ирешү.

<6> ӨСТӘЛЕКНЕ ҖЫЛЫ ЭШКӘРТҮ: Алдагы процесс нәтиҗәсендә барлыкка килгән өслек киеренкелекләрен һәм тырналуларны бетерү һәм атом дәрәҗәсендә яссыланган өслек алу өчен, кислота белән эшкәртүдән соң титан ташлы таякчык 5 минут дәвамында деионизацияләнгән су белән юылды, һәм титан ташлы таякчык 1360±20°C температурадагы мохиткә, 1 дән 3 сәгатькә кадәр даими температурада водород атмосферасына урнаштырылды һәм өслек җылылык белән эшкәртелде.