Ультра төгәл SiC һава подшипнигы баскычы

Югары төгәллекле SiC һава подшипнигы баскычы күрсәтелгән рәсем

Кыскача тасвирлама:

Ярымүткәргечләр сәнәгатенең өзлексез үсеше белән, эшкәртү һәм тикшерү җиһазлары тагын да югарырак эшчәнлек таләп итә. Хәрәкәтне контрольдә тоту һәм нанометр дәрәҗәсендә позицияләү өлкәсендәге киң тәҗрибәгә нигезләнеп, без планар H-типтагы ике күчәрле ультра төгәл һава йөртүче этап эшләдек.

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

җентекле схема

Гомуми күзәтү

Чикле элементлар белән оптимальләштерелгән кремний карбиды (SiC) керамик структурасы һәм компенсацияләнгән һава үткәрү технологиясе белән эшләнгән бу сәхнә гаҗәеп төгәллек, катылык һәм динамик җавап бирә. Ул түбәндәгеләр өчен идеаль рәвештә туры килә:

Ярымүткәргечләрне эшкәртү һәм тикшерү
Микро/нано җитештерү һәм метрология
Нанометр масштабында кисү һәм ялтырату
Югары тизлекле төгәл сканерлау

Төп үзенчәлекләр

SiC һава йөртүче юлультра югары катылык һәм төгәллек өчен
Югары динамика: тизлеге 1 м/с кадәр, тизләнеше 4 г кадәр, тиз утыру
Ике приводлы Y-күчәрле гантриюгары йөк күтәрүчәнлеген һәм тотрыклылыгын тәэмин итә
Кодлаучы параметрларыоптик рәшәткә яки лазер интерферометры
Позицияләү төгәллеге: ±0,15 мкм;кабатланучанлык: ±75 нм
Оптимальләштерелгән кабель маршрутизациясечиста дизайн һәм озак вакытлы ышанычлылык өчен
Көйләнерлек конфигурацияләркушымтага хас ихтыяҗлар өчен

Бик төгәл дизайн һәм турыдан-туры йөртү, контактсыз архитектура

SiC керамик рамАлюминий эретмәсенең катылыгы ~5 × һәм җылылык киңәюе ~5 × түбәнрәк, бу югары тизлекле тотрыклылыкны һәм җылылык ныклыгын тәэмин итә.
Компенсацияләнгән һава подшипнигыҮзенчәлекле дизайн катылыкны, йөк күтәрүчәнлекне һәм хәрәкәт тотрыклылыгын арттыра.
Динамик эшчәнлек: 1 м/с тизлекне һәм 4 г тизләнешне хуплый, югары җитештерүчәнлекле процесслар өчен идеаль.
Чексез интеграцияВибрация изоляциясе системалары, әйләнү баскычлары, авыштыру модульләре һәм пластина эшкәртү платформалары белән туры килә.
Кабель белән идарә итүИяртү: Ияртү радиусын контрольдә тоту стрессны минимальләштерә һәм хезмәт итү вакытын озайта.

Үзәксез сызыклы мотор: Нуль тешле көч белән шома хәрәкәт.
Күп моторлы җайланмаЙөк яссылыгы моторын урнаштыру турылыкны, яссылыкны һәм почмак төгәллеген яхшырта.
Җылылык изоляциясеМоторлар сәхнә конструкциясеннән аерым урнаштырылган; югары йөкләнешле цикллар өчен һава яки су белән суыту мөмкинлеге өстәмә.

Спецификацияләр

Модель	400-400	500-500	600-600
Балталар	X (сканерлау) / Y (адым)	X (сканерлау) / Y (адым)	X (сканерлау) / Y (адым)
Юл (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Төгәллек (мкм)	±0.15	±0.2	±0.2
Кабатланырлык (нм)	±75	±100	±100
Чишелеш (нм)	0.3	0.3	0.3
Максималь тизлек (м/с)	1	1	1
Тизләнеш (g)	4	4	4
Турылык (мкм)	±0.2	±0.3	±0.4
Тотрыклылык (нм)	±5	±5	±5
Максималь йөкләнеш (кг)	20	20	20
Адым/Тәгәрмәч/Яв (дуга-сек)	±1	±1	±1

Сынау шартлары:

Һава белән тәэмин итү: чиста, коры; чык ноктасы ≤ 0°F; кисәкчәләр фильтрациясе ≤ 0,25 мкм; яки 99,99% азот.
Дөреслек 20±1 °C температурада, 40–60% ныграк һава торышында, сәхнә үзәгеннән 25 мм югарырак үлчәнде.

Кушымталар

Ярымүткәргеч литография, тикшерү һәм пластиналар белән эш итү
Микро/нано җитештерү һәм төгәл метрология
Югары сыйфатлы оптика җитештерү һәм интерферометрия
Аэрокосмик һәм алдынгы фәнни тикшеренүләр

Еш бирелә торган сораулар – Кремний карбиды һава подшипнигы баскычы

1. Һава йөртүче баскыч нәрсә ул?

Һавалы сәхнә, сәхнә һәм юнәлеш бирүче юл арасында басымлы һаваның юка катламын куллана, бу исәышкылусыз, тузусыз һәм бик шома хәрәкәтГадәти механик подшипниклардан аермалы буларак, ул тайпылуны бетерә, нанометр дәрәҗәсендәге төгәллекне тәэмин итә һәм озак вакытлы ышанычлылыкны тәэмин итә.

2. Ни өчен сәхнә конструкциясе өчен кремний карбидын (SiC) кулланырга кирәк?

Югары катылык: алюминий эретмәсеннән ~5 × зуррак, динамик хәрәкәт вакытында деформацияне минимальләштерә.
Түбән җылылык киңәюе: Алюминийдан ~5 тапкыр түбәнрәк, температура үзгәрешләрендә төгәллекне саклый.
ҖиңелКорыч белән чагыштырганда түбәнрәк тыгызлык, югары тизлектә һәм югары тизләнештә эшләү мөмкинлеген бирә.
Бик яхшы тотрыклылык: Югары төгәллекле урнаштыру өчен югары дәрәҗәдәге амортизация һәм катылык.

3. Сәхнәгә майлау яки хезмәт күрсәтү кирәкме?

Гадәти майлау кирәк түгел, чөнки бармеханик контакт юкТәкъдим ителгән хезмәт күрсәтү түбәндәгеләрне үз эченә ала:

Тәэмин итүчиста, коры кысылган һава яки азот
Фильтрлар һәм киптергечләрне вакытлыча тикшерү
Кабельләрне һәм суыту системаларын күзәтү

4. Һава белән тәэмин итү таләпләре нинди?

Чык ноктасы: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Кисәкчәләр фильтрациясе: ≤ 0,25 мкм
Чиста, коры һава яки 99,99% саф азот
Минималь тирбәнешле тотрыклы басым

Безнең турында

XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.