12 дюймлы SiC субстрат N тибы Зур размерлы югары күрсәткечле RF кушымталары
Техник параметрлар
12 дюйм Кремний Карбид (SiC) субстрат спецификасы | |||||
Сыйфат | ZeroMPD җитештерү Сыйфат (Z класс) | Стандарт җитештерү Сыйфат (П класс) | Dummy Grade (D класс) | ||
Диаметр | 3 0 0 мм ~ 1305 мм | ||||
Калынлык | 4H-N | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 750μm ± 15 μm | 750μm ± 25 μm | |||
Вафер юнәлеше | Очкыч күчәре: 4H-N өчен 4.0 ° <1120> ± 0,5 °, күчәрендә: <0001> ± 0,5 ° 4H-SI өчен | ||||
Микропип тыгызлыгы | 4H-N | ≤0.4см-2 | C4см-2 | C25см-2 | |
4H-SI | C5см-2 | C10см-2 | C25см-2 | ||
Каршылык | 4H-N | 0.015 ~ 0.024 Ω · см | 0.015 ~ 0.028 Ω · см | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω · см | ≥1E5 Ω · см | |||
Беренчел фатир юнәлеше | {10-10} .0 5.0 ° | ||||
Беренчел фатир озынлыгы | 4H-N | N / A. | |||
4H-SI | Notch | ||||
Кыр читен чыгару | 3 мм | ||||
LTV / TTV / Bow / Warp | ≤5μm / ≤15μm / ≤35 μm / ≤55 μm | ≤5μm / ≤15μm / ≤35 □ μm / ≤55 □ μm | |||
Тупаслык | Поляк Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Highгары интенсивлык яктылыгы аркасында кыр ярыклары Heгары интенсивлык яктылыгы белән алты тәлинкәләр Polгары интенсивлык яктылыгында политип өлкәләре Визуаль углерод кертүләре Highгары интенсивлык яктылыгы белән кремний өслеге сызыклары | Беркем дә юк Кумулятив мәйдан ≤0.05% Беркем дә юк Кумулятив мәйдан ≤0.05% Беркем дә юк | Кумулятив озынлыгы ≤ 20 мм, бер озынлыгы≤2 мм Кумулятив мәйдан ≤0.1% Кумулятив мәйдан ≤3% Кумулятив мәйдан ≤3% Кумулятив озынлык≤1 × вафер диаметры | |||
Highгары интенсивлык яктылыгы | None0.2 мм киңлек һәм тирәнлек рөхсәт ителмәгән | 7 рөхсәт, һәрберсе ≤1 мм | |||
(TSD) Винтовка винтасы | 00500 см-2 | N / A. | |||
(BPD) Төп самолетның урнашуы | 0001000 см-2 | N / A. | |||
Кремний өслеген югары интенсивлык яктылыгы белән пычрату | Беркем дә юк | ||||
Пакетлау | Күп ваферлы кассета яки бер вафер контейнер | ||||
Искәрмәләр: | |||||
1 Кимчелекләр чикләре читтән чыгару өлкәсеннән кала бөтен вафер өслегенә кагыла. 2Сызыкларны Si йөзендә генә тикшерергә кирәк. 3 Дислокация мәгълүматлары KOH чистартылган ваферлардан гына. |
Төп үзенчәлекләр
1.
2. Perгары җитештерүчәнлек материалы: Кремний карбидының югары температурага каршы торуы һәм югары ватылу кыры көче 12 дюймлы субстратны югары көчәнешле һәм югары ешлыклы кушымталар өчен идеаль итә, мәсәлән, EV инвертерлары һәм тиз корылма системалары.
3.
4. erгары җылылык белән идарә итү: кремнийга нигезләнгән материалларга караганда яхшырак җылылык үткәрүчәнлеге белән, 12 дюймлы субстрат югары көчле җайланмаларда җылылык таралуны эффектив хәл итә, җиһазларның гомер озынлыгын озайта.
Төп кушымталар
1.
2.
3.Сәнәгать энергиясе белән тәэмин итү: Кояш инвертерларында һәм акыллы челтәрләрдә 12 дюймлы субстрат энергия югалтуын киметкәндә югары көчәнешләргә каршы тора ала.
4. Кулланучылар электроникасы: Киләчәк тиз зарядлагычлар һәм мәгълүмат үзәгенең электр белән тәэмин итү компакт зурлыкка һәм югары эффективлыкка ирешү өчен 12 дюймлы SiC субстратларын кулланырга мөмкин.
XKH хезмәтләре
Без 12 дюймлы SiC субстратлары (12 дюймлы кремний карбид субстратлары) өчен махсуслаштырылган эшкәртү хезмәтләрендә махсуслашабыз, шул исәптән:
1.
2. Эпитаксиаль үсеш ярдәме: чип җитештерүне тизләтү өчен югары сыйфатлы эпитаксиаль вафер хезмәтләре.
3.
4. Техник консалтинг: материаль сайлаудан оптимизациягә кадәр чишелешләр, клиентларга SiC эшкәртү проблемаларын җиңәргә булышу.
Масса-күләм җитештерү яки махсуслаштырылган көйләү өчен, безнең 12 дюймлы SiC субстрат хезмәтләре сезнең проект ихтыяҗларына туры килә, технологик алгарышны көчәйтә.


