12инч тулы автоматик төгәл бәяләү җиһазлар ваферы Si / SiC & HBM (Al) өчен махсус кисү системасы.

Кыска тасвирлау:

Тулы автоматик төгәл бәяләү җиһазлары - ярымүткәргеч һәм электрон компонентлар индустриясе өчен махсус эшләнгән югары төгәллек кисү системасы. Ул микрон дәрәҗәсендә эшкәртү төгәллегенә ирешү өчен алдынгы хәрәкәт белән идарә итү технологиясен һәм интеллектуаль визуаль позицияне үз эченә ала. Бу җиһаз төрле каты һәм ватык материалларны төгәл бәяләү өчен яраклы, шул исәптән:
1.Семикүткәргеч материаллар: Кремний (Si), кремний карбид (SiC), галий арсенид (GaAs), литий танталат / литий ниобат (LT / LN) субстратлары һ.б.
2. Пакетлау материаллары: керамик субстратлар, QFN / DFN рамкалары, BGA төрү субстратлары.
3.Функциональ җайланмалар: faceир өстендәге акустик дулкын (SAW) фильтрлары, термоэлектрик суыту модуллары, WLCSP ваферлары.

XKH җиһазларның клиентларның җитештерү ихтыяҗларына туры килүен тәэмин итү өчен, материаль яраклашуны сынау һәм процессны үзләштерү хезмәтләрен күрсәтә, R&D үрнәкләре өчен дә, партия эшкәртү өчен дә оптималь карарлар китерә.


  • :
  • Featuresзенчәлекләр

    Техник параметрлар

    Параметр

    Спецификация

    Эш күләме

    Φ8 ", Φ12"

    Эпик

    Ике күчәр 1,2 / 1.8 / 2.4 / 3.0, макс 60000 әйләнеш

    Блэйд размеры

    2 "~ 3"

    Y1 / Y2 күчәре

     

     

    Бер этаплы арту: 0.0001 мм

    Позициянең төгәллеге: <0,002 мм

    Кисү диапазоны: 310 мм

    X күчәре

    Тасма тизлеге диапазоны: 0,1-600 мм / с

    Z1 / Z2 күчәре

     

    Бер этаплы арту: 0.0001 мм

    Позициянең төгәллеге: ≤ 0,001 мм

    θ күчәр

    Позициянең төгәллеге: ± 15 "

    Чистарту станциясе

     

    Әйләнү тизлеге: 100-3000 әйләнеш

    Чистарту ысулы: Авто чайкау һәм әйләндерү

    Эш көчәнеше

    3 фазалы 380В 50Гц

    Ensionsлчәмнәре (W × D × H)

    1550 × 1255 × 1880 мм

    Авырлык

    2100 кг

    Эш принцибы

    Theиһаз түбәндәге технологияләр аша югары төгәллеккә ирешә:
    1. -гары Ригидит Эпик Системасы: Төрле материал үзлекләренә яраклашу өчен бриллиант пычаклар яки лазер кисүче башлар белән җиһазландырылган әйләнү тизлеге 60,000 RPM.

    2.Multi-Axis хәрәкәтен контрольдә тоту: X / Y / Z-күчәрнең урнашу төгәллеге μ 1μm, тайпылышсыз кисү юлларын тәэмин итү өчен, югары төгәл торгыч таразалары белән парлаштырылган.

    3. Интеллектуаль визуаль тигезләү: resolutionгары резолюцияле КД (5 мегапиксель) урамнарны кисүне автоматик рәвештә таный һәм материаль бозылу яки тигезсезлек өчен компенсация бирә.

    4.Суыту һәм тузан чыгару: җылылык тәэсирен һәм кисәкчәләрнең пычрануын киметү өчен чиста су суыту системасы һәм вакуум сорау тузан чыгару.

    Кисү режимнары

    1.Блад бәяләү: Si һәм GaA кебек традицион ярымүткәргеч материаллар өчен яраклы, керф киңлеге 50–100μm.

    2.Статаль лазер бәяләү: ультра нечкә ваферлар өчен кулланыла (<100μm) яки зәгыйфь материаллар (мәсәлән, LT / LN), стресссыз аерылырга мөмкинлек бирә.

    Типик кушымталар

    Бер-берсенә туры килә торган материал Куллану кыры Эшкәртү таләпләре
    Кремний (Si) IC, MEMS сенсорлары 10гары төгәл кисү, чип <10μм
    Кремний Карбид (SiC) Энергия җайланмалары (MOSFET / диодлар) Аз зыянны кисү, җылылык белән идарә итү оптимизациясе
    Галлиум Арсенид (GaAs) RF җайланмалары, оптоэлектрон чиплар Микро-яракны профилактикалау, чисталык белән идарә итү
    LT / LN субстратлары SAW фильтрлары, оптик модульаторлар Стресссыз кисү, пиезоэлектрик үзлекләрен саклау
    Керамик субстратлар Энергия модуллары, LED төрү Hardгары каты материал эшкәртү, кыр тигезлеге
    QFN / DFN рамкалары Алга киткән упаковка Күп чиплы синхрон кисү, эффективлыкны оптимизацияләү
    WLCSP Wafers Вафер дәрәҗәсендәге төрү Ультра-нечкә ваферларның зыянсыз бәяләү (50μм)

     

    Уңай яклары

    1. collгары тизлекле кассета рамкасын бәрелешне кисәтү сигнализациясе, тиз күчерү позициясе һәм көчле хаталарны төзәтү мөмкинлеге.

    2. Оптимальләштерелгән икеле шакмак кисү режимы, эффективлыкны якынча 80% ка яхшырту.

    3.

    4. Тулы автоматлаштырылган йөкләү / чыгару, урнаштыру позициясе, тигезләү кисү, һәм керф инспекциясе, операторның (ОП) эш авырлыгын сизелерлек киметә.

    5.Гантри стилендәге шакмакны монтажлау структурасы, минималь икешәр ара аралыгы 24 мм, бу икеле шакмак кисү процесслары өчен киңрәк җайлашу мөмкинлеген бирә.

    Featuresзенчәлекләр

    1. -гары төгәллек контакт булмаган биеклекне үлчәү.

    2.Мульти-вафер икеле плитка кисү.

    3.Автоматик калибрлау, керф инспекциясе, плитаның өзелүен ачыклау системалары.

    4. Сайланучы автоматик тигезләү алгоритмнары белән төрле процессларга ярдәм итә.

    5.Фаль үз-үзен төзәтү функциясе һәм реаль вакытта күп позицияле мониторинг.

    6. Беренче тапкыр тикшерү мөмкинлеге.

    7. Заводны автоматлаштыру модуллары һәм башка факультатив функцияләр.

    Бер-берсенә туры килә торган материаллар

    Тулы автоматлаштырылган төгәл бәяләү җиһазлары 4

    Equipmentиһаз хезмәтләре

    Без җиһазлар сайлаудан алып озак вакытлы хезмәт күрсәтүгә кадәр тулы ярдәм күрсәтәбез:

    (1) izedзләштерелгән үсеш
    · Материаль үзенчәлекләргә нигезләнеп пычак / лазер кисү чишелешләрен тәкъдим итегез (мәсәлән, SiC катылыгы, GaAs бриттлыгы).

    · Кисү сыйфатын тикшерү өчен бушлай үрнәк тест тәкъдим итегез (чипинг, керф киңлеге, өслекнең тупаслыгы һ.б.).

    2) Техник әзерлек
    · Төп укыту: Equipmentиһазлар белән эшләү, параметрларны көйләү, регуляр хезмәт күрсәтү.
    Алдынгы курслар: Катлаулы материаллар өчен процесс оптимизациясе (мәсәлән, LT субстратларын стресссыз кисү).

    (3) Сатудан соң ярдәм
    · 24/7 onseавап: Ерак диагностика яки урында ярдәм.
    · Запас частьлар белән тәэмин итү: Запасланган шакмаклар, пычаклар, тиз алыштыру өчен оптик компонентлар.
    · Профилактик хезмәт: төгәллекне саклау һәм хезмәт срогын озайту өчен регуляр калибрлау.

    90bf3f9d-353c-408a-a804-56eb276dea24_ 副本

    Безнең өстенлекләр

    ✔ Сәнәгать тәҗрибәсе: 300+ глобаль ярымүткәргеч һәм электроника җитештерүчеләренә хезмәт күрсәтү.
    ✔ Cutting-Edge Technology: Төгәл сызыклы күрсәтмәләр һәм серво системалары тармакның алдынгы тотрыклылыгын тәэмин итә.
    ✔ Глобаль сервис челтәре: Локальләштерелгән ярдәм өчен Азия, Европа һәм Төньяк Америкада яктырту.
    Сынау яки сорау алу өчен безнең белән элемтәгә керегез!

    440fd943-e805-4ae7-93bf-0e32b7bc6dfd
    395d7b7e-d6a8-4f5e-8301-8a2669815b5c

  • Алдагы:
  • Киләсе:

  • Хәбәрегезне монда языгыз һәм безгә җибәрегез