Тулы автоматик вафер боҗрасын кисү җиһазлары Эш күләме 8инч / 12инч вафер боҗрасын кисү

Кыска тасвирлау:

XKH мөстәкыйль рәвештә тулы ярым автоматлаштырылган кыр эшкәртү системасын эшләде, алгы ярымүткәргеч җитештерү процесслары өчен эшләнгән алдынгы чишелешне күрсәтә. Бу җиһаз инновацион күп күчәрле синхрон контроль технологияне үз эченә ала һәм югары катлы шакмак системасын (максималь әйләнү тизлеге: 60,000 RPM) үз эченә ала, төгәллек кырын кисү төгәллеген ± 5μm га кадәр җиткерә. Система төрле ярымүткәргеч субстратлар белән бик яхшы ярашуны күрсәтә, шул исәптән:
1.Силикон ваферлары (Si): 8-12 дюймлы ваферларны эшкәртү өчен яраклы ；
2.Компонд ярымүткәргечләр: GaAs һәм SiC кебек өченче буын ярымүткәргеч материаллар ；
3. Махсус субстратлар: Пиезоэлектрик материал ваферлары, шул исәптән LT / LN ；

Модульле дизайн, бриллиант пычаклар һәм лазер кисүче башларны кертеп, күп кулланыла торган әйберләрне тиз алыштыруны тәэмин итә, сәнәгать стандартларыннан артып китә. Махсуслаштырылган процесс таләпләре өчен без комплекслы чишелешләр тәкъдим итәбез:
· Киселгән куллану тәэмин итүгә багышланган
Махсус эшкәртү хезмәтләре
· Процесс параметрын оптимизация чишелешләре

Безгә электрон почта җибәрегез

Featuresзенчәлекләр

Техник параметрлар

Параметр	Берәмлек	Спецификация
Максималь эш кисәге	mm	ø12 "
Эпик	Конфигурация	Бер әйбер
	Тизлек	3000–60,000 әйләнеш
	Чыгыш көче	1,8 кВт (2,4 өстәмә) 30,000 мин⁻¹
	Макс Блейд Диа.	Ø58 мм
X-күчәр	Кисү диапазоны	310 мм
Y-күчәр	Кисү диапазоны	310 мм
	Адымнарны арттыру	0.0001 мм
	Позицияләү төгәллеге	≤0.003 мм / 310 мм, ≤0.002 мм / 5 мм (бер хата)
Z-Axis	Хәрәкәт резолюциясе	0,00005 мм
Z-Axis	Кабатлану	0,001 мм
θ-күчәр	Макс әйләнеш	380 градус
Эпик тибы		Шакмак кисү өчен каты пычак белән җиһазланган бер шакмак
Кыңгырау-кисү төгәллеге	μm	± 50
Вафер позициясе төгәллеге	μm	± 50
Бер-вафер эффективлыгы	мин / вафер	8
Күп вафер эффективлыгы		Берьюлы 4 вафер эшкәртелде
Equipmentиһазларның авырлыгы	kg	≈3,200
Equipmentиһазларның үлчәмнәре (W × D × H)	mm	2730 × 1,550 × 2070

Эш принцибы

Система бу төп технологияләр ярдәмендә гаҗәеп бизәү эшенә ирешә:

1. Интеллектуаль хәрәкәт белән идарә итү системасы:
· -Гары төгәл сызыклы мотор йөртүчесе (кабатлау позициясе төгәллеге: ± 0,5μм)
Алты күчәрле синхрон контроль катлаулы траектория планлаштыруны тәэмин итә
· Реаль вакыттагы тибрәнүне басу алгоритмнары тотрыклылыкны тәэмин итә

2.Авансланган ачыклау системасы:
· Интеграль 3D лазер биеклеге сенсоры (төгәллеге: 0,1μм)
· Resolutionгары резолюцияле КД визуаль позициясе (5 мегапиксель)
Онлайн сыйфатын тикшерү модуле

3. Тулы автоматлаштырылган процесс:
· Автоматик йөкләү / чыгару (FOUP стандарт интерфейсы туры килә)
Интеллектуаль сортлау системасы
· Ябык әйләнешле чистарту җайланмасы (чисталык: 10 класс)

Типик кушымталар

Бу җиһаз ярымүткәргеч җитештерү кушымталары буенча зур кыйммәт бирә:

Куллану кыры	Процесс материаллары	Техник өстенлекләр
IC җитештерү	8/12 "Кремний вафиннары	Литографик тигезләнүне көчәйтә
Электр җайланмалары	SiC / GaN Wafers	Кыр җитешсезлекләрен булдырмый
MEMS сенсорлары	SOI Wafers	Deviceайланманың ышанычлылыгын тәэмин итә
RF җайланмалары	GaAs Wafers	Highгары ешлыклы эшне яхшырта
Алга киткән упаковка	Реконструкцияләнгән Ваферлар	Пакетның уңышын арттыра

Featuresзенчәлекләр

Highгары эшкәртү эффективлыгы өчен дүрт станция конфигурациясе ；
2.ТАИКО боҗрасын дебондлау һәм бетерү ；
3. Төп куллану материаллары белән югары ярашу ；
4.Мульти-ох синхрон бизәү технологиясе кырның төгәл киселүен тәэмин итә ；
5. Тулы автоматлаштырылган процесс агымы хезмәт чыгымнарын сизелерлек киметә ；
6.Костомизацияләнгән эш өстәленең дизайны махсус структураларны тотрыклы эшкәртергә мөмкинлек бирә ；

Функцияләр

1. Ринг-тамчы ачыклау системасы ；
2.Автоматик эш өстәлен чистарту ；
3. Интеллектуаль UV дебондинг системасы ；
4. Операция журналын язу ；
5. Заводны автоматлаштыру модулын интеграцияләү ；

Хезмәт күрсәтү

XKH сезнең җитештерү сәяхәтегездә җиһазларның эшләвен һәм оператив эффективлыгын арттыру өчен эшләнгән комплекслы, тулы тормыш циклы ярдәме күрсәтә.
1. Хосусыйлаштыру хезмәтләре
· Equipmentиһазларны конфигурацияләү: Безнең инженер коллективы клиентлар белән тыгыз хезмәттәшлек итә, система параметрларын оптимальләштерү (кисү тизлеге, пычак сайлау һ.б.) конкрет материаль үзенчәлекләргә (Si / SiC / GaAs) һәм процесс таләпләренә нигезләнеп.
· Процесс үсешенә булышу: кырның тупаслыгын үлчәү һәм җитешсезлекләр картасын кертеп, җентекле анализ отчетлары белән үрнәк эшкәртү тәкъдим итәбез.
· Кулланучыларның хезмәттәшлеге: роман материаллары өчен (мәсәлән, Ga₂O₃), без куллану өчен махсус плиталар / лазер оптикасын үстерү өчен әйдәп баручы кулланучылар белән хезмәттәшлек итәбез.

2. Профессиональ техник ярдәм
· Сайтка багышланган ярдәм: критик этаплар өчен сертификатланган инженерларны билгеләгез (гадәттә 2-4 атна):
Equipmentиһазларны калибрлау һәм эшкәртү процессы
Оператор компетенциясен укыту
ISO 5 класс бүлмәсе интеграцияләү өчен кулланма
· Прогнозлы хезмәт күрсәтү: квартал саен сәламәтлекне тибрәнү анализы һәм планлаштырылган эштән туктату өчен серво мотор диагностикасы белән тикшерәләр.
· Дистанцион мониторинг: IoT платформасы (JCFront Connect®) аша автоматлаштырылган аномалия хәбәрләре белән реаль вакыттагы җиһазларның эшләвен күзәтү.

3. Кыйммәтле хезмәтләр
Белем базасы процессы: Төрле материаллар өчен расланган 300+ расланган рецептларга керегез (квартал саен яңартыла).
· Технологик mл картасын тигезләү: Киләчәктә җиһаз / программа тәэминаты яңарту юллары белән инвестицияләрегезне раслый (мәсәлән, ЯИ нигезендә җитешсезлекләрне ачыклау модуле).
· Ашыгыч ярдәм: гарантияләнгән 4 сәгатьлек дистанцион диагностика һәм сайтта 48 сәгатьлек интервенция (глобаль яктырту).

4. Хезмәт инфраструктурасы
Эшчәнлек гарантиясе: SLA ярдәме белән җавап бирү вакыты белән equipment98% җиһаз эшенә контракт килешү.

Даими камилләштерү

Без ике еллык клиентларны канәгатьләндерү буенча тикшерүләр үткәрәбез һәм хезмәт күрсәтүне көчәйтү өчен Kaizen инициативаларын тормышка ашырабыз. Безнең фәнни-тикшеренү коллективы җиһазны яңартуга кыр күзаллауларын тәрҗемә итә - программа тәэминатын яхшырту 30% клиентларның фикереннән килә.