Сапфир SiC Si өчен Ion Beam Polishing Machine
Диаграмма
Ион нурларын бизәү машинасына продукт
Ион нурларын фигуралау һәм бизәү машинасы ион чәчү принцибына нигезләнгән. Vгары вакуум камерасы эчендә ион чыганагы плазма ясый, ул югары энергияле ион нурына тизләнә. Бу нур оптик компонент өслеген бомбардировать итә, атом масштабындагы материалны ультра-төгәл өслекне төзәтүгә һәм бизәүгә ирешә.
Контакт булмаган процесс буларак, ион нурларын полировкалау механик стрессны юкка чыгара һәм җир асты зыяныннан саклый, астрономия, аэрокосмос, ярымүткәргечләрдә һәм алдынгы тикшеренү кушымталарында кулланылган югары төгәл оптика җитештерү өчен идеаль итә.
Ион нурларын бизәү машинасының эш принцибы
Ион буын
Инерт газы (мәсәлән, аргон) вакуум камерасына кертелә һәм плазманы формалаштыру өчен электр агымы аша ионлаштырыла.
Тизләнү һәм нур формалашуы
Ионнар берничә йөз яки мең электрон вольтка (eV) тизләнәләр һәм тотрыклы, тупланган нур ноктасына әвереләләр.
Материалны бетерү
Ион нуры физик яктан атомнарны химик реакцияләр кертмичә чәчә.
Хаталарны ачыклау һәм юл планлаштыру
Figureир өстендәге фигуралар тайпылышлары интерферометрия белән үлчәнәләр. Чыгару функцияләре яшәү вакытын билгеләү һәм оптимальләштерелгән корал юлларын булдыру өчен кулланыла.
Ябык әйләнешне төзәтү
Эшкәртү һәм үлчәүнең итератив цикллары RMS / PV төгәл максатларга ирешкәнче дәвам итә.
Ион нурларын бизәү машинасының төп үзенчәлекләре
Универсаль өслекнең туры килүе- Тигез, сферик, асферик һәм ирекле формалар
Ультра-тотрыклы бетерү ставкасы- Суб-нанометр фигурасын төзәтергә мөмкинлек бирә
Зыянсыз эшкәртү- Noир асты җитешсезлекләре яки структур үзгәрешләр юк
Эзлекле чыгыш- Төрле каты материалларда бер үк дәрәҗәдә эшли
Түбән / Урта ешлыкны төзәтү- Урта / югары ешлыктагы экспонатлар ясамыйча хаталарны бетерә
Түбән хезмәт күрсәтү таләбе- Минималь эш вакыты белән озын өзлексез эш
Ион нурларын бизәү машинасының төп техник үзенчәлекләре
| Предмет | Спецификация |
| Эшкәртү ысулы | Ион югары вакуумлы мохиттә |
| Эшкәртү төре | Контакт булмаган өслекне сурәтләү һәм бизәү |
| Максималь эш күләме | 0004000 мм |
| Хәрәкәт күчәре | 3-күчәр / 5-күчәр |
| Чыгару тотрыклылыгы | ≥95% |
| Faceир өслегенең төгәллеге | ПВ <10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (типик RMS <1 nm; PV <15 nm) |
| Ешлыкны төзәтү мөмкинлеге | Урта / югары ешлык хаталарын кертмичә, түбән - урта ешлык хаталарын бетерә |
| Даими операция | Вакуумсыз 3-5 атна |
| Хезмәт күрсәтү бәясе | Түбән |
Ион нурларын эшкәртү машинасының эшкәртү мөмкинлекләре
Ярдәмле өслек төрләре
Гади: яссы, сферик, призма
Комплекс: Симметрик / асимметрик афера, күчтән тыш аспир, цилиндрик
Махсус: Ультра-нечкә оптика, плитка оптикасы, ярымшар оптика, конформаль оптика, фаз тәлинкәләре, ирекле форма өслеге
Ярдәмләнгән материаллар
Оптик пыяла: Кварц, микрокристалл, K9 һ.б.
Инфракызыл материаллар: Кремний, германий һ.б.
Металллар: Алюминий, дат басмаган корыч, титан эретмәсе һ.б.
Кристаллар: ЯГ, бер кристалл кремний карбид һ.б.
Каты / ватык материаллар: Кремний карбид һ.б.
Faceир өсте сыйфаты / төгәллек
ПВ <10 нм
RMS ≤ 0,5 нм
Ион нурларын бизәү машинасының очракларын эшкәртү
1 нче очрак - стандарт яссы көзге
Эш кисәге: D630 мм кварц яссы
Нәтиҗә: ПВ 46,4 нм; RMS 4.63 nm
2 нче очрак - рентген рефлектив көзге
Эш кисәге: 150 × 30 мм кремний яссы
Нәтиҗә: ПВ 8.3 нм; RMS 0.379 nm; 0,13 µрад
3 нче очрак - Октан тыш көзге
Эш кисәге: D326 мм күчтәнәч җир көзгесе
Нәтиҗә: ПВ 35,9 нм; RMS 3.9 nm
Кварц стаканнары турында сораулар
Сораулар - Ион нурларын бизәү машинасы
1 нче сорау: Ион нурларын бизәү нәрсә ул?
А1:Ион нурларын бизәү - контакт булмаган процесс, ул эш кисәгеннән материалны чыгару өчен, ионның тупланган нурын (аргон ионнары кебек) куллана. Ионнар тизләштерелә һәм өслеккә юнәлтелә, атом дәрәҗәсендәге материалны чыгаруга китерә, нәтиҗәдә ультра-шома бетү. Бу процесс механик стрессны һәм җир асты зыянын бетерә, төгәл оптик компонентлар өчен идеаль итә.
2 нче сорау: Ион нурларын полировкалау машинасы нинди өслекләрне эшкәртә ала?
А2:.Әр сүзнеңИон нурларын бизәү машинасыкебек гади оптик компонентларны да кертеп, төрле өслекләрне эшкәртә алафатирлар, сфералар, призларкебек катлаулы геометрия кебекафералар, читтән тыш афералар, һәмирекле формалар. Бу оптик пыяла, инфракызыл оптика, металл һәм каты / ватык материаллар кебек материалларда аеруча эффектив.
3 нче сорау: Ion Beam Polishing Machine нинди материаллар белән эшли ала?
А3:.Әр сүзнеңИон нурларын бизәү машинасытөрле материалларны чистарта ала, шул исәптән:
-
Оптик пыяла: Кварц, микрокристалл, К9 һ.б.
-
Инфракызыл материаллар: Кремний, германий һ.б.
-
Металл: Алюминий, дат басмаган корыч, титан эретмәсе һ.б.
-
Бәллүр материаллар: ЯГ, бер кристалл кремний карбид һ.б.
-
Башка каты / ватык материаллар: Кремний карбид һ.б.
Безнең турында
XKH югары технологияле үсештә, махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материаллар җитештерүдә, сатуда махсуслаша. Безнең продукт оптик электроника, кулланучылар электроникасы һәм армиягә хезмәт күрсәтә. Без Сапфир оптик компонентларын, кәрәзле телефон линзаларын, керамика, LT, Кремний Карбид СИС, Кварц һәм ярымүткәргеч кристалл ваферларын тәкъдим итәбез. Оста тәҗрибә һәм заманча җиһазлар белән без югары продуктлы оптоэлектрон материаллар булырга омтылып, стандарт булмаган продукт эшкәртүдә өстенлек итәбез.
