Кремний диоксид ваферы SiO2 ваферы калын полировкаланган, премьер һәм сынау дәрәҗәсе

Кыска тасвирлау:

Термаль оксидлаштыру кремний вафинны оксидлаштыручы агентлар һәм кремний диоксиды (SiO2) катламы ясау өчен җылылык комбинациясенә китерү нәтиҗәсе .Безнең компания кремний диоксиды оксиды кисәкләрен клиентлар өчен төрле параметрлар белән көйли ала, яхшы сыйфат белән;оксид катламының калынлыгы, компактлыгы, бердәмлеге һәм каршылык кристалл ориентациясе барысы да милли стандартлар нигезендә тормышка ашырыла.

Безгә электрон почта җибәрегез

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

Вафин тартма белән таныштыру

Продукция	Rылылык оксиды (Si + SiO2) ваферлары
Producитештерү ысулы	LPCVD
Faceир өсте бизәү	SSP / DSP
Диаметр	2инч / 3инч / 4инч / 5инч / 6инч
Тип	P тибы / N тибы
Оксидлаштыру катламы	100нм ~ 1000нм
Ориентация	<100> <111>
Электр каршылыгы	0,001-25000 (Ω • см)
Заявка	Синхротрон нурланыш үрнәге йөртүче өчен кулланыла, субстрат буларак PVD / CVD каплау, магнитрон чәчү үсеш үрнәге, XRD, SEM,Атом көче, инфракызыл спектроскопия, флуоресцент спектроскопия һәм башка анализ сынау субстратлары, молекуляр нур эпитаксиаль үсеш субстратлары, кристалл ярымүткәргечләрнең рентген анализы.

Кремний оксиды вафиннары - кремний вокзал өслегендә кислород яки су парлары ярдәмендә үскән температурада (800 ° C ~ 1150 ° C) атмосфера басымы мич торбасы җайланмалары белән җылылык оксидлаштыру процессын кулланып.Процессның калынлыгы 50 нанометрдан 2 микронга кадәр, процесс температурасы 1100 градуска кадәр, үсеш ысулы "дым кислород" һәм "коры кислород" ике төргә бүленә.Rылылык оксиды - "үскән" оксид катламы, ул бертөрлелеге, яхшырак тыгызлыгы һәм диэлектрик көче CVD урнаштырылган оксид катламнарына караганда югары сыйфатка китерә.

Коры кислород оксидлашуы

Кремний кислород белән реакцияләнә һәм оксид катламы гел субстрат катламына таба хәрәкәт итә.Коры оксидлашу 850 дән 1200 ° C температурада, түбән үсеш темплары белән башкарылырга тиеш, һәм MOS изоляцияләнгән капка үсеше өчен кулланылырга мөмкин.Qualityгары сыйфатлы, ультра-нечкә кремний оксиды катламы кирәк булганда, коры оксидлашу дымлы оксидлашуга караганда өстенрәк.Коры оксидлаштыру сыйфаты: 15нм ~ 300нм.

2. Дым оксидлашуы

Бу ысул су парларын куллана, югары температура шартларында мич торбасына кереп оксид катламы барлыкка китерә.Дым кислородны оксидлаштыру тыгызлыгы коры кислород оксидлашуына караганда бераз начаррак, ләкин коры кислород оксидлашуы белән чагыштырганда, аның өстенлеге - аның үсеш темплары югары, 500нмнан артык кино үсеше өчен яраклы.Дым оксидлаштыру сыйфаты: 500нм ~ 2µм.

AEMD атмосфера басымын оксидлаштыру мич трубасы - Чехиянең горизонталь мич трубасы, ул югары процесс тотрыклылыгы, яхшы кино бердәмлеге һәм кисәкчәләрнең өстен контроле белән характерлана.Кремний оксиды мич трубасы бер трубага 50 ваферга кадәр эшкәртә ала, ваферлар арасындагы бердәмлек белән.