SiO2 юка пленкалы термик оксид кремний пластинасы 4 дюйм 6 дюйм 8 дюйм 12 дюйм

Оксидлаштырылган кремний пластиналарын җитештерүнең төп процессы гадәттә түбәндәге этапларны үз эченә ала: монокристалл кремний үстерү, пластиналарга кисү, шомарту, чистарту һәм оксидлаштыру.

Монокристалл кремний үстерү: Беренчедән, монокристалл кремний югары температураларда Чохральски ысулы яки Флоат-зона ысулы кебек ысуллар белән үстерелә. Бу ысул югары сафлык һәм челтәр бөтенлеге белән кремний монокристалларын әзерләү мөмкинлеген бирә.

Кисәкләргә турау: Үскән монокристалл кремний гадәттә цилиндрик формада була һәм аны пластина нигезе буларак куллану өчен юка пластиналарга кисәргә кирәк. Кисү гадәттә алмаз кискеч белән башкарыла.

Шлифовкалау: Киселгән пластинаның өслеге тигез булмаска мөмкин һәм тигез өслек алу өчен химик-механик шлифовкалау кирәк.

Чистарту: Ясалган пластина пычрак һәм тузанны бетерү өчен чистартыла.

Оксидлаштыру: Ниһаять, кремний пластиналары югары температуралы мичкә оксидлаштыру өчен салына, бу кремний диоксидының саклагыч катламын формалаштыра, аның электр үзлекләрен һәм механик ныклыгын яхшырта, шулай ук ​​интеграль схемаларда изоляция катламы булып хезмәт итә.

Оксидлаштырылган кремний пластиналарының төп кулланылышына интеграль схемалар җитештерү, кояш батареялары җитештерү һәм башка электрон җайланмалар җитештерү керә. Кремний оксиды пластиналары ярымүткәргеч материаллар өлкәсендә киң кулланыла, чөнки алар бик яхшы механик үзлекләренә, үлчәмле һәм химик тотрыклылыгына, югары температураларда һәм югары басымда эшли алу сәләтенә, шулай ук ​​яхшы изоляция һәм оптик үзлекләренә ия.

Аның өстенлекләренә тулы кристалл структурасы, саф химик составы, төгәл үлчәмнәре, яхшы механик үзлекләре һ.б. керә. Бу үзенчәлекләр кремний оксиды пластиналарын югары җитештерүчән интеграль схемалар һәм башка микроэлектрон җайланмалар җитештерү өчен аеруча яраклы итә.