SiC Орлык Каплау-Яптыру-Бәйләү-Беләштерү Интегральләштерелгән Чишелеш

SiC Орлык каплавы–Япкычлау–Бәйләү–Япкычлау Интегральләштерелгән чишелеш Күрсәтелгән рәсем

Кыскача тасвирлама:

SiC орлыкларын берләштерүне операторга бәйле эштән кабатланырлык, параметрларга нигезләнгән процесска әйләндерегез: контрольдә тотылган ябыштыргыч катлам калынлыгы, һава мендәрен басу белән үзәкне тигезләү, вакуум белән күбекләрне чистарту һәм температура/басым белән көйләнерлек карбонизация консолидациясе. 6/8/12 дюймлы җитештерү сценарийлары өчен эшләнгән.

Безгә электрон почта җибәрегез

Үзенчәлекләр

җентекле схема

SiC 晶体生长炉 SiC Бәллүр үсеш миче SiC орлык каплау - бәйләү - Синтеринг интеграль чишелеш

SiC 喷胶机 SiC каплау машинасы SiC орлык каплау–ябыштыру–синтерлау интегральләштерелгән чишелеш

Төгәл сиптерү каплавы • Үзәкне тигезләү • Вакуум ярдәмендә күбекләрне чистарту • Карбонлаштыру/бөлештерү ярдәмендә консолидацияләү

Продукциягә гомуми күзәтү

Бу нәрсә

Бу интеграцияләнгән чишелеш SiC кристалл үсешенең югары баскычы өчен эшләнгән, анда орлык/пластина графит кәгазе/графит пластинасына (һәм бәйле интерфейсларга) тоташтырылган. Ул процесс циклын түбәндәге аша яба:

Каплау (спрей ябыштыргыч) → Ябыштыру (тигезләү + пресслау + вакуум белән күбекләрне чистарту) → Җыю/Камту (ныгыту һәм катыру)

Ябыштыргыч формалашуны, күбекләрне бетерүне һәм тулысынча ныгытуны бер чылбыр буларак контрольдә тоту аша, чишелеш консистенцияне, җитештерүчәнлекне һәм масштабланучанлыкны яхшырта.

SiC Орлык Каплау–Япкычлау–Бәйләү Интегральләштерелгән Чишелеш 1

Конфигурация вариантлары

A. Ярым автоматик линия
SiC сиптергеч каплау машинасы → SiC бәйләү машинасы → SiC агломерация миче

B. Тулысынча автоматик линия
Автоматик сиптергеч каплау һәм бәйләү машинасы → SiC агломерация миче
Өстәмә интеграцияләр: робот ярдәмендә эшкәртү, калибрлау/тигезләү, ID уку, күбекләрне ачыклау

SiC Орлык Каплау-Яптыру-Бәйләү-Беләштерү Интегральләштерелгән Чишелеш 2

Төп өстенлекләр

• Кабатланучанлыкны яхшырту өчен ябыштыргыч катлам калынлыгы һәм каплавы контрольдә тотыла
• Тоташу һәм басым бүленешен тәэмин итү өчен үзәкне тигезләү һәм һава мендәрен басу
• Ябыштыргыч катлам эчендәге күбекләрне/бушлыкларны киметү өчен вакуум ярдәмендә күбекләрне чистарту
• Соңгы бәйләнешне тотрыклыландыру өчен көйләнергә мөмкин температура/басымлы карбонизация консолидациясе
• Тотрыклы цикл вакыты, күзәтүчәнлек һәм сыйфат контроле өчен автоматизация вариантлары

Принцип

Ни өчен традицион ысуллар кыенлыклар тудыра
Орлык бәйләнеше эшчәнлеге гадәттә өч бәйләнгән үзгәрүчән белән чикләнә:

Ябыштыргыч катламның консистенциясе (калынлыгы һәм бер төрлелеге)
Күбек/бушлыкны контрольдә тоту (ябыштыргыч катламда һава тоткарланган)
Катырганнан/карбонизациядән соң бәйләнештән соңгы тотрыклылык

Кул белән каплау гадәттә калынлык тотрыксызлыгына, күбекләрне чистартуда кыенлыкларга, эчке бушлыклар куркынычының артуына, графит өслекләренең тырналуына һәм күпләп җитештерү өчен начар масштаблануга китерә.

Спиннинг каплавы ябыштыргыч агымы, өслек тартылуы һәм үзәктән качу көче аркасында тотрыксыз калынлык тудырырга мөмкин. Ул шулай ук ян пычрану һәм графит кәгазь/пластиналарда фиксация чикләүләре белән очрашырга мөмкин, һәм каты эчтәлекле ябыштыргычларның тигез каплануы кыен булырга мөмкин.

SiC Орлык Каплау-Яптыру-Бәйләү-Беләштерү Интегральләштерелгән Чишелеш 3

Интегральләштерелгән ысул ничек эшли

Каплау: Спрей белән каплау максатлы өслекләрдә (орлык/пластина, графит кәгазе/пластина) контрольдә тотылырлык ябыштыргыч катлам калынлыгын һәм каплавын барлыкка китерә.

Ябыштыру: Үзәкне тигезләү + һава мендәрен басу даими контактны тәэмин итә; вакуум ярдәмендә күбекләрне чистарту ябыштыргыч катламда тотылган һаваны, күбекләрне һәм бушлыкларны киметә.

Пломбалаштыру/Камбурлаштыру: Көйләнешле температура һәм басым белән югары температуралы консолидация соңгы бәйләнгән интерфейсны тотрыклыландыра, күбексез һәм тигез пресслау нәтиҗәләренә ирешүгә юнәлтелгән.

Эш нәтиҗәләре турындагы белешмә
Карбонизация бәйләнеше уңышы 90%+ ка җитәргә мөмкин (процесска сылтама). Гадәти бәйләнеш уңышы сылтамалары "Классик очраклар" бүлегендә күрсәтелгән.

Процесс

A. Ярым-автоматик эш процессы

1 нче адым — Спрей белән каплау (каплау)
Тотрыклы калынлык һәм тигез каплау алу өчен, максатчан өслекләргә сиптергеч каплау ярдәмендә җилем сөртегез.

2 нче адым — Тигезләү һәм берләштерү (берләштерү)
Үзәкне тигезләгез, һава мендәрен басыгыз һәм ябыштыргыч катламдагы һаваны чыгару өчен вакуумлы чистарту кулланыгыз.

3 нче адым — Карбонлаштыруны консолидацияләү (Белопластика/Карбонлаштыру)
Беркетелгән детальләрне блендеровка миченә күчерегез һәм соңгы бәйләнешне тотрыклыландыру өчен температура һәм басымны көйләп була торган югары температуралы карбонизация консолидациясен эшләгез.

B. Тулысынча автоматик эш процессы

Автоматик сиптергеч каплау һәм тоташтыру машинасы каплау һәм тоташтыру гамәлләрен берләштерә һәм роботлаштыру һәм калибрлауны үз эченә ала. Онлайн вариантларга ID уку һәм күзәтү мөмкинлеге һәм сыйфатны контрольдә тоту өчен күбекләрне ачыклау керә ала. Аннары детальләр карбонлаштыру өчен агломерация миченә җибәрелә.

Процесс маршрутының сыгылмалылыгы
Интерфейс материалларына һәм өстенлекле практикага карап, система төрле каплау эзлеклелеген һәм бер яклы яки ике яклы сиптерү маршрутларын хуплый ала, шул ук вакытта бер үк максатны саклый: тотрыклы ябыштыргыч катлам → нәтиҗәле күбекләрне чистарту → бердәм ныгыту.

SiC Орлык Каплау–Япкычлау–Бәйләү Интегральләштерелгән Чишелеш 4

Кушымталар

Төп кушымта
SiC кристалл үсеше, агымга каршы орлык бәйләнеше: орлыкны/пластинаны графит кәгазе/графит пластинасына һәм аңа бәйле чикләргә бәйләнеш, аннары карбонизацияне ныгыту.

Зурлык сценарийлары
Конфигурация сайлау һәм расланган процесс маршрутизациясе аша 6/8/12 дюймлы тоташтыру кушымталарын хуплый.

Гадәти туры килү күрсәткечләре
• Кул белән каплау калынлыкның үзгәрүчәнлегенә, күбекләр/бушлыклар, тырналуларга һәм тотрыксыз агып чыгуга китерә
• Графит кәгазендә/пластиналарында спининг каплау калынлыгы тотрыксыз яки авыр; ян пычрану/фиксация чикләүләре бар
• Сезгә кабатланучанлыгы кимегән һәм операторга бәйлелеге түбәнрәк булган масштаблы җитештерү кирәк
• Сезгә автоматизация, күзәтү мөмкинлеге һәм онлайн QC вариантлары (ID + күбекне ачыклау) кирәк

Классик очраклар (Гадәти нәтиҗәләр)

Искәрмә: Түбәндә типик белешмә мәгълүматлары / процесс сылтамалары китерелгән. Чынбарлыктагы эшчәнлек ябыштыру системасына, кергән материал шартларына, расланган процесс тәрәзәсенә һәм тикшерү стандартларына бәйле.

1 нче очрак — 6/8 дюймлы орлыкларны бәйләү (Уңышлылык һәм уңыш турында белешмә)
Графит пластинасы юк: көненә 6 данә/берәмлек
Графит пластинасы белән: көненә 2,5 данә/берәмлек
Бәйләү нәтиҗәсе: ≥95%

2 нче очрак — 12 дюймлы орлыкларны бәйләү (Уңышлылык һәм уңыш турында белешмә)
Графит пластинасы юк: көненә 5 данә/берәмлек
Графит пластинасы белән: көненә 2 данә/берәмлек
Бәйләү нәтиҗәсе: ≥95%

3 нче очрак — Карбонизация консолидациясенең нәтиҗәсе турында белешмә
Карбонизация бәйләнеше: 90%+ (процесс буенча белешмә)
Максатчан нәтиҗә: күбексез һәм бердәм басу нәтиҗәләре (валидация һәм тикшерү критерийларына буйсына)

SiC Орлык Каплау–Яптыру–Бәйләү–Яптыру Интегральләштерелгән Чишелеш 5

еш бирелә торган сораулар

1 нче сорау: Бу чишелешнең төп проблемасы нинди?
A: Ул ябыштыргыч калынлыгын/каплавын контрольдә тоту, күбекләрне чистарту нәтиҗәлелеген һәм ябыштырудан соңгы ныгыту ярдәмендә орлыкларның бәйләнешен тотрыклыландыра - осталыкка бәйле адымны кабатланырлык җитештерү процессына әйләндерә.

2 нче сорау: Ни өчен кул белән каплау еш кына күбекләр/бушлыклар барлыкка китерә?
A: Кул белән эшләү ысуллары калынлыкны даими саклап калуда кыенлыклар тудыра, бу күбекләрне чистартуны катлауландыра һәм һавада тотылу куркынычын арттыра. Алар шулай ук графит өслекләрен тырнап алырга мөмкин һәм күләм буенча стандартлаштыру авыр.

3 нче сорау: Ни өчен бу куллану өчен спиннинг каплавы тотрыксыз булырга мөмкин?
A: Калынлык ябыштыргыч агымына, өслек тартылуына һәм үзәктән тайпылу көченә сизгер. Графит кәгазь/пластина каплавы фиксация һәм ян пычрану куркынычы белән чикләнергә мөмкин, ә каты эчтәлекле ябыштыргычларны тигез әйләндерү кыен булырга мөмкин.

Безнең турында

XKH махсус оптик пыяла һәм яңа кристалл материалларын югары технологияләр белән эшләү, җитештерү һәм сату белән шөгыльләнә. Безнең продуктлар оптик электроника, кулланучы электроникасы һәм хәрби хезмәтләр күрсәтә. Без сапфир оптик компонентлары, мобиль телефон линзалары каплагычлары, керамика, LT, кремний карбиды SIC, кварц һәм ярымүткәргеч кристалл пластиналары тәкъдим итәбез. Осталык һәм алдынгы җиһазлар белән без стандарт булмаган продуктларны эшкәртүдә алдынгы булып торабыз, югары технологияле оптоэлектрон материаллар җитештерүче алдынгы предприятие булырга омтылабыз.