5G/6G элемтәсе өчен LiTaO3 пластинасы 2 дюйм-8 дюйм 10x10x0.5 мм 1sp 2sp
Техник параметрлар
| Исем | Оптик класслы LiTaO3 | Тавыш таблицасы дәрәҗәсе LiTaO3 |
| Күчәрле | Z кисем + / - 0.2 ° | 36 ° Y кисү / 42 ° Y кисү / X кисү (+ / - 0,2 °) |
| Диаметр | 76.2 мм + / - 0.3 мм/ 100±0.2 мм | 76.2 мм + /-0.3 мм 100 мм + /-0.3 мм 0р 150±0.5 мм |
| Дата яссылыгы | 22 мм + / - 2 мм | 22 мм + /-2 мм 32 мм + /-2 мм |
| Калынлыгы | 500 мкм + /-5 мм 1000 мкм + /-5 мм | 500 мкм + /-20 мм 350 мкм + /-20 мм |
| TTV | ≤ 10 мкм | ≤ 10 мкм |
| Кюри температурасы | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA ысулы) | 605 °C + / -3 °C (DTA методы |
| Өслек сыйфаты | Ике яклы полировка | Ике яклы полировка |
| Кыек кырыйлар | кырыйларны түгәрәкләү | кырыйларны түгәрәкләү |
Төп үзенчәлекләр
1. Электр һәм оптик эшчәнлек
· Электро-оптик коэффициент: r33 30 pm/V (X-кисем) га җитә, бу LiNbO3 га караганда 1,5 тапкыр югарырак, бу ультракиң полосалы электро-оптик модуляцияне (>40 ГГц полоса киңлеге) мөмкин итә.
· Киң спектрлы җавап: Тапшыру диапазоны 0,4–5,0 мкм (8 мм калынлык), ультрафиолет сеңдерү кырые 280 нм кадәр, ультрафиолет лазерлары һәм квант ноктасы җайланмалары өчен идеаль.
· Түбән пироэлектрик коэффициент: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(м²·K), югары температуралы инфракызыл сенсорларда тотрыклылыкны тәэмин итә.
2. Җылылык һәм механик үзлекләр
· Югары җылылык үткәрүчәнлеге: 4,6 Вт/м·К (X-кисем), кварцныкыннан дүрт тапкыр артыграк, -200–500°C җылылык циклын саклый.
· Түбән җылылык киңәю коэффициенты: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), җылылык көчәнешен минимальләштерү өчен кремний төргәге белән туры килә.
3. Дефектларны контрольдә тоту һәм эшкәртү төгәллеге
· Микроторба тыгызлыгы: <0.1 см⁻² (8 дюймлы пластиналар), дислокация тыгызлыгы <500 см⁻² (KOH гравюрасы ярдәмендә расланган).
· Өслек сыйфаты: Ra <0,5 нм кадәр CMP белән ялтыратылган, EUV литография дәрәҗәсендәге яссылык таләпләренә туры килә.
Төп кушымталар
| Домен | Кушымта сценарийлары | Техник өстенлекләр |
| Оптик элемтә | 100G/400G DWDM лазерлары, кремний фотоникасының гибрид модульләре | LiTaO3 пластинасының киң спектрлы үткәрүчәнлеге һәм түбән дулкынүткәргеч югалтуы (α <0.1 дБ/см2) C-диапазонын киңәйтүгә мөмкинлек бирә. |
| 5G/6G элемтәсе | SAW фильтрлары (1.8–3.5 ГГц), BAW-SMR фильтрлары | 42°Y кисемле пластиналар Kt² >15% ка җитә, бу түбән кертү югалтуын (<1,5 дБ) һәм югары тәгәрмәчләнүне (>30 дБ) тәэмин итә. |
| Квант технологияләре | Бер фотонлы детекторлар, параметрик түбәнәю чыганаклары | Югары сызыклы булмаган коэффициент (χ(2)=40 pm/V) һәм түбән караңгы санау тизлеге (<100 санау/с) квант төгәллеген арттыра. |
| Сәнәгать сенсоры | Югары температуралы басым датчиклары, ток трансформаторлары | LiTaO3 пластинасының пьезоэлектрик җавабы (g33 >20 мВ/м) һәм югары температурага түземлелеге (>400°C) экстремаль мохиткә туры килә. |
XXKH хезмәтләре
1. Вафли ясау
· Зурлыгы һәм кисү: X/Y/Z кисүле, 42°Y кисүле һәм махсус почмаклы кисүле 2–8 дюймлы пластиналар (±0.01° түземлелек).
· Допинг контроле: Электроптик коэффициентларны һәм җылылык тотрыклылыгын оптимальләштерү өчен Чохральски ысулы белән Fe, Mg легирлау (концентрация диапазоны 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³).
2. Алдынгы процесс технологияләре
?
· Периодик полирлау (PPLT): LTOI пластиналары өчен Smart-Cut технологиясе, ±10 нм домен периоды төгәллегенә һәм квазифаза белән туры килгән (QPM) ешлык конверсиясенә ирешә.
· Гетероген интеграция: югары ешлыклы SAW фильтрлары өчен калынлык контроле (300–600 нм) һәм җылылык үткәрүчәнлеге 8,78 Вт/м·К кадәр булган Si нигезендәге LiTaO3 композит пластиналары (POI).
3. Сыйфат белән идарә итү системалары
?
· Өчтән-өчкә сынау: Раман спектроскопиясе (политип тикшерү), XRD (кристалллык), AFM (өслек морфологиясе) һәм оптик бердәмлекне сынау (Δn <5×10⁻⁵).
4. Глобаль тәэмин итү чылбыры ярдәме
?
· Җитештерү куәте: Айлык җитештерү >5000 пластина (8 дюйм: 70%), 48 сәгать эчендә ашыгыч китерү белән.
· Логистика челтәре: Европа, Төньяк Америка һәм Азия-Тын океан төбәгендә температураны контрольдә тотучы төргәк белән һава/диңгез йөк ташу аша йөк ташу.









