LT Литий Танталаты (LiTaO3) Кристалы 2 дюйм/3 дюйм/4 дюйм/6 дюйм Ориентаитон Y-42°/36°/108° Калынлыгы 250-500 мкм
Техник параметрлар
| Исем | Оптик класслы LiTaO3 | Тавыш таблицасы дәрәҗәсе LiTaO3 |
| Күчәрле | Z кисем + / - 0.2 ° | 36 ° Y кисү / 42 ° Y кисү / X кисү(+ / - 0,2 °) |
| Диаметр | 76.2 мм + / - 0.3 мм/100±0.2 мм | 76.2 мм + /-0.3 мм100 мм + /-0.3 мм 0р 150±0.5 мм |
| Дата яссылыгы | 22 мм + / - 2 мм | 22 мм + /-2 мм32 мм + /-2 мм |
| Калынлыгы | 500 мкм + /-5 мм1000 мкм + /-5 мм | 500 мкм + /-20 мм350 мкм + /-20 мм |
| TTV | ≤ 10 мкм | ≤ 10 мкм |
| Кюри температурасы | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA ысулы) | 605 °C + / -3 °C (DTA методы |
| Өслек сыйфаты | Ике яклы полировка | Ике яклы полировка |
| Кыек кырыйлар | кырыйларны түгәрәкләү | кырыйларны түгәрәкләү |
Төп үзенчәлекләр
1. Кристалл структурасы һәм электр эшчәнлеге
· Кристаллографик тотрыклылык: 100% 4H-SiC политип доминантлыгы, нуль күп кристалллы катнашмалар (мәсәлән, 6H/15R), тулы киңлектәге XRD тирбәнү кәкресе ярты максимумда (FWHM) ≤32,7 арка сек.
· Югары йөртүче мобильлеге: Электроннарның мобильлеге 5400 см²/V·s (4H-SiC) һәм тишекләрнең мобильлеге 380 см²/V·s, бу югары ешлыклы җайланмалар конструкцияләрен булдыру мөмкинлеген бирә.
·Радиация катылыгы: 1 МэВ нейтрон нурланышына чыдам, күчү зыяны бусагасы 1×10¹⁵ н/см², аэрокосмик һәм атом куллану өчен идеаль.
2. Җылылык һәм механик үзлекләр
· Гаҗәеп җылылык үткәрүчәнлеге: 4,9 Вт/см·К (4H-SiC), кремнийныкыннан өч тапкыр артыграк, 200°C тан югары температурада эшләүне хуплый.
· Түбән җылылык киңәю коэффициенты: CTE 4.0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C), кремний нигезендәге төргәк белән туры килүчәнлекне тәэмин итә һәм җылылык киеренкелеген минимальләштерә.
3. Дефектларны контрольдә тоту һәм эшкәртү төгәллеге
?
· Микроторба тыгызлыгы: <0.3 см⁻² (8 дюймлы пластиналар), дислокация тыгызлыгы <1000 см⁻² (KOH гравюрасы ярдәмендә расланган).
· Өслек сыйфаты: Ra <0,2 нм кадәр CMP белән ялтыратылган, EUV литография дәрәҗәсендәге яссылык таләпләренә туры килә.
Төп кушымталар
| Домен | Кушымта сценарийлары | Техник өстенлекләр |
| Оптик элемтә | 100G/400G лазерлары, кремний фотоникасының гибрид модульләре | InP орлык субстратлары туры тасма аралыгын (1,34 эВ) һәм Si нигезендәге гетероэпитаксияне мөмкин итә, оптик тоташу югалтуларын киметә. |
| Яңа энергияле транспорт чаралары | 800В югары вольтлы инверторлар, борт зарядка җайланмалары (OBC) | 4H-SiC субстратлары >1200 В көчәнешкә чыдам, үткәрүчәнлек югалтуларын 50% ка һәм система күләмен 40% ка киметә. |
| 5G элемтәсе | Миллиметр дулкынлы RF җайланмалары (PA/LNA), база станциясе көчәйткечләре | Ярымизоляцияле SiC субстратлары (каршылык >10⁵ Ω·см) югары ешлыклы (60 ГГц+) пассив интеграцияне мөмкин итә. |
| Сәнәгать җиһазлары | Югары температура датчиклары, ток трансформаторлары, атом реакторы мониторлары | InSb орлык субстратлары (0,17 эВ зона аралыгы) 10 Т диапазонында 300% кадәр магнит сизгерлеге бирә. |
LiTaO₃ пластиналары - төп үзенчәлекләре
1. Югары пьезоэлектрик эшчәнлек
· Югары пьезоэлектрик коэффициентлар (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) 5G RF фильтрлары өчен кертү югалтуы <1.5dB булган югары ешлыклы SAW/BAW җайланмаларын кулланырга мөмкинлек бирә
· Бик яхшы электромеханик тоташтыру 6 ГГцтан түбән һәм мм дулкыннар өчен киң полосалы (≥5%) фильтр конструкцияләрен хуплый.
2. Оптик үзлекләр
· 40 ГГцтан артык үткәрүчәнлеккә ирешү өчен электро-оптик модуляторлар өчен киң полосалы үтә күренмәлелек (400-5000 нм аралыгы >70% тапшыру)
· Көчле сызыклы булмаган оптик сизгерлек (χ⁽²⁾~30pm/V) лазер системаларында икенче гармоник генерацияне (SHG) нәтиҗәле итә
3. Әйләнә-тирә мохит тотрыклылыгы
· Югары Кюри температурасы (600°C) автомобиль классындагы (-40°C - 150°C) мохиттә пьезоэлектрик җавапны саклый
· Кислоталарга/селтеләргә каршы химик инертлык (рН1-13) сәнәгать сенсорлары кулланылышында ышанычлылыкны тәэмин итә
4. Үзгәртү мөмкинлекләре
· Ориентация инженериясе: махсуслаштырылган пьезоэлектрик җаваплар өчен X-кисем (51°), Y-кисем (0°), Z-кисем (36°)
· Допинг вариантлары: Mg белән легирланган (оптик зыянга каршы торучанлык), Zn белән легирланган (көчәйтелгән d₃₃)
· Өслек эшкәртү: Эпитаксиаль әзер полировка (Ra <0.5 нм), ITO/Au металлизациясе
LiTaO₃ пластиналары - төп кулланылышлар
1. Радиоелемтәләр өчен алгы модульләр
· 5G NR SAW фильтрлары (n77/n79 диапазоны), ешлыкның температура коэффициенты (TCF) <|-15ppm/°C|
· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) өчен ультра киң полосалы BAW резонаторлары
2. Интегральләштерелгән Фотоника
· Когерент оптик элемтә өчен югары тизлекле Mach-Zehnder модуляторлары (>100Gbps)
· 3-14 мкм дулкын озынлыгын көйләү мөмкинлеге булган QWIP инфракызыл детекторлары
3. Автомобиль электроникасы
· 200 кГц эш ешлыгы булган ультратавыш парковка датчиклары
· TPMS пьезоэлектрик датчиклары -40°C тан 125°C га кадәр җылылык циклында яши
4. Оборона системалары
· >60дБ диапазоннан тыш кире кагу белән EW кабул итүче фильтрлар
· Ракета эзләүче инфракызыл тәрәзәләр 3-5 мкм MWIR нурланышын тапшыра
5. Яңа технологияләр
· Микродулкынлыдан оптикага үзгәртү өчен оптомеханик квант үзгәрткечләре
· Медицина УЗИ тикшерүе өчен PMUT массивлары (>20 МГц чишелеш)
LiTaO₃ Вафлилары - XKH хезмәтләре
1. Тәэмин итү чылбыры белән идарә итү
· Стандарт спецификацияләр өчен 4 атналык вакыт эчендә бульдан пластинага эшкәртү
· Чыгымнарны оптимальләштерү конкурентларга караганда 10-15% бәя өстенлеге бирә
2. Махсус чишелешләр
· Ориентациягә бәйле вафли: оптималь пычкы эшләве өчен 36°±0.5° Y-кисем
· Легирланган составлар: оптик куллану өчен MgO (5 моль%) легирлау
Металлизация хезмәтләре: Cr/Au (100/1000Å) электрод үрнәкләре
3. Техник ярдәм
· Материал характеристикасы: XRD тирбәлү кәкреләре (FWHM<0.01°), AFM өслек анализы
· Җайланма симуляциясе: SAW фильтрын проектлауны оптимальләштерү өчен FEM модельләштерү
Йомгак
LiTaO₃ пластиналары радиоешлык элемтәсе, интеграцияләнгән фотоника һәм каты мохит сенсорлары өлкәсендә технологик алгарышны тәэмин итүне дәвам итә. XKH компаниясенең материаллар өлкәсендәге тәҗрибәсе, җитештерү төгәллеге һәм кушымталар инженериясе ярдәме клиентларга киләсе буын электрон системаларындагы дизайн кыенлыкларын җиңәргә ярдәм итә.









